JP5564171B2 - めっき装置及びめっき方法 - Google Patents
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Description
バブルの供給量は、一般的には0.1〜10L/minであるが、1〜5L/minであることが好ましい。
この通孔の直径は、例えば0.1〜2.0mmである。
多孔質体としては、多孔質プラスチックや多孔質セラミック等が挙げられ、多孔質体を使用することで、構造の簡素化を図ることができる。
めっき装置170には、めっき時に陽極が導線を介してアノード212に、陰極が導線を介して基板Wにそれぞれ接続されるめっき電源230が備えられている。
一方、第2搬送ロボット174aにあっては、めっき処理後の基板を装着しストッカ164に戻した基板ホルダ160を2基同時に把持し、前記と同様にして、基板脱着台162上に載置する。
穴径20μm、深さ50μmの穴(ビアホール)を有するシリコンウェーハ基材上に、PVD法によりバリア層としてTiを100nm成膜し、次いで同法により銅シード層を500nm成膜し、導電化したものを試験片として用意した。そして、図3に示すめっき装置を使用し、下記の組成の硫酸銅めっき液を使用して、下記のめっき条件で試験片(基材)の表面に電解銅めっきを行った。
・硫酸銅五水和物:200g/L
・硫 酸 :50g/L
・塩 素 :60mg/L
・イオウ化合物、高分子化合物及び窒素化合物等を含む添加剤
・電流密度 :5mA/cm2
・めっき時間 :30分
・パドル撹拌速度:平均速度200mm/sec
・パドル本数 :5本
・循環流量 :2L/min
・バブル供給 :中空管タイプに0.5mmの通孔を多数開けたものからエアーを2L/minで供給した。
図8及び図9に示す多孔質体(多孔質セラミック)からなるバブル供給部を使用して、多孔質セラミックから150ml/minでエアーを供給し、それ以外の条件を実施例1と同じにして、電解めっきを行った。
実施例1と同様の試験片を用意し、実施例1と同様な組成のめっき液を用い、電解めっきを行う際のめっき条件として、パドル撹拌を行わず、それ以外のめっき条件は実施例1と同様として電解めっきを行った。
実施例1と同様の試験片を用意し、実施例1と同様な組成のめっき液を用い、電解めっきを行う際のめっき条件として、パドル撹拌を行わず、エアバブルを150ml/minで供給し、それ以外のめっき条件は実施例1と同様にして電解めっきを行った。
116 めっき空間
124 洗浄・乾燥装置
126 前処理装置
160 基板ホルダ
162 基板脱着台
164 ストッカ
166 活性化処理装置
168a,168b 水洗装置
170 めっき装置
172 ブロー装置
180 アーム
182 基板ホルダ保持部
183 活性化処理槽
184a,184b 水洗槽
186 めっき槽
200 オーバーフロー槽
202 ポンプ
204 循環配管
206 恒温ユニット
208 フィルタ
212 アノード
214 アノードホルダ
218 調整板
220 パドル(めっき液攪拌部)
222 バブル供給部
224 中空管
224a 通孔
226 多孔質体
230 めっき電源
Claims (6)
- めっき液を保持するめっき槽と、
前記めっき槽内のめっき液に浸漬させて配置されるアノードと、
被めっき材を保持して該被めっき材に通電し、被めっき材を前記アノードと対向する位置にめっき液に浸漬させて配置するホルダと、
前記アノードと前記ホルダで保持した被めっき材との間に配置され、前記めっき槽内のめっき液を攪拌するめっき液攪拌部と、
前記ホルダで保持してめっき液中に浸漬させて配置した被めっき材の被めっき面に面するめっき液中にバブルを供給するバブル供給部と、
前記被めっき材と前記アノードとの間に電圧を印加するめっき電源とを有し、
前記バブル供給部は、前記めっき液攪拌部と前記被めっき材との間に位置して、前記めっき槽の底部に沿って配置されていることを特徴とするめっき装置。 - 前記バブルの供給量は、0.1〜10L/minであることを特徴とする請求項1記載のめっき装置。
- 前記バブル供給部は、下半分の領域に、複数の通孔を一列または複数列に亘って所定のピッチで設けた中空管からなることを特徴とする請求項1または2に記載のめっき装置。
- 前記バブル供給部は、多孔質体からなることを特徴とする請求項1または2に記載のめっき装置。
- めっき槽内のめっき液中に被めっき材とアノードとを互いに対峙させて配置し、
前記被めっき材と前記アノードとの間に電圧を印加し、
前記被めっき材と前記アノードとの間のめっき液をめっき液攪拌部で攪拌しながら、前記めっき液攪拌部と前記被めっき材で挟まれた領域に、前記めっき槽の底部からバブルを供給することを特徴とするめっき方法。 - 前記バブルの供給量は、0.1〜10L/minであることを特徴とする請求項5記載のめっき方法。
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