JP2012256675A5 - - Google Patents
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Description
本半導体装置は、配線基板と、前記配線基板と電気的に接続された半導体チップと、を備え、前記配線基板は、一方の面から他方の面に貫通する開口部を有するガラス板と、前記開口部内に形成された樹脂部と、前記樹脂部を前記一方の面側から前記他方の面側に貫通し、前記一方の面側に形成された配線層と前記他方の面側に形成された配線層とを電気的に接続する貫通配線と、を有し、前記半導体チップ、及び、前記貫通配線は、前記開口部内に収容され、前記樹脂部は、前記開口部の内側面と前記半導体チップの側面とが形成する空隙部を充填するように形成され、前記空隙部を充填する前記樹脂部に複数の前記貫通配線が形成されていることを要件とする。
本半導体装置の製造方法は、配線基板を製造する工程と、前記配線基板と半導体チップとを電気的に接続する工程と、を含む半導体装置の製造方法であって、前記配線基板を製造する工程は、ガラス板に一方の面から他方の面に貫通する開口部を形成する第1工程と、前記開口部内に樹脂部を形成する第2工程と、前記樹脂部を前記一方の面側から前記他方の面側に貫通する貫通孔を複数形成する第3工程と、それぞれの前記貫通孔内に貫通配線を形成する第4工程と、前記一方の面側及び前記他方の面側に、それぞれ前記貫通配線と電気的に接続される配線層を形成する第5工程と、を有することを要件とする。
Claims (9)
- 配線基板と、
前記配線基板と電気的に接続された半導体チップと、を備え、
前記配線基板は、一方の面から他方の面に貫通する開口部を有するガラス板と、
前記開口部内に形成された樹脂部と、
前記樹脂部を前記一方の面側から前記他方の面側に貫通し、前記一方の面側に形成された配線層と前記他方の面側に形成された配線層とを電気的に接続する貫通配線と、を有し、
前記半導体チップ、及び、前記貫通配線は、前記開口部内に収容され、
前記樹脂部は、前記開口部の内側面と前記半導体チップの側面とが形成する空隙部を充填するように形成され、
前記空隙部を充填する前記樹脂部に複数の前記貫通配線が形成されている半導体装置。 - 配線基板と、
前記配線基板と電気的に接続された半導体チップと、を備え、
前記配線基板は、一方の面から他方の面に貫通する開口部、及び、前記一方の面から前記他方の面に貫通する他の開口部、を有するガラス板と、
前記開口部内、及び、前記他の開口部内に形成された樹脂部と、
前記他の開口部内に形成された樹脂部を前記一方の面側から前記他方の面側に貫通し、前記一方の面側に形成された配線層と前記他方の面側に形成された配線層とを電気的に接続する貫通配線と、を有し、
前記半導体チップは、前記開口部内に収容され、
前記開口部内に形成された樹脂部は、前記開口部の内側面と前記半導体チップの側面とが形成する空隙部を充填するように形成され、
前記他の開口部は、前記樹脂部で充填されており、
前記他の開口部を充填する前記樹脂部に複数の前記貫通配線が形成されている半導体装置。 - 前記半導体チップの厚さは、前記ガラス板の厚さと同一である請求項1又は2記載の半導体装置。
- 前記開口部の内側面は、テーパー状である請求項1乃至3の何れか一項記載の半導体装置。
- 前記他の開口部を充填する前記樹脂部の一部は、前記ガラス板の側面から露出している請求項2記載の半導体装置。
- 前記貫通配線は、信号伝送部と、絶縁材料を介して前記信号伝送部の周囲を囲む遮蔽部とを含む請求項1乃至5の何れか一項記載の半導体装置。
- 一方の面から他方の面に貫通する開口部を有するガラス板と、
前記開口部内に形成された樹脂部と、
前記樹脂部を前記一方の面側から前記他方の面側に貫通し、前記一方の面側に形成された配線層と前記他方の面側に形成された配線層とを電気的に接続する貫通配線と、を有する配線基板。 - 配線基板を製造する工程と、前記配線基板と半導体チップとを電気的に接続する工程と、を含む半導体装置の製造方法であって、
前記配線基板を製造する工程は、ガラス板に一方の面から他方の面に貫通する開口部を形成する第1工程と、
前記開口部内に樹脂部を形成する第2工程と、
前記樹脂部を前記一方の面側から前記他方の面側に貫通する貫通孔を複数形成する第3工程と、
それぞれの前記貫通孔内に貫通配線を形成する第4工程と、
前記一方の面側及び前記他方の面側に、それぞれ前記貫通配線と電気的に接続される配線層を形成する第5工程と、を有する半導体装置の製造方法。 - 前記第1工程と前記第2工程との間に、前記開口部内に前記半導体チップを収容する工程を更に有し、
前記第2工程では、前記開口部の内側面と前記半導体チップの側面とが形成する空隙部を充填するように樹脂部を形成する請求項8記載の半導体装置の製造方法。
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