JP2012124677A5 - - Google Patents
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- 238000012888 cubic function Methods 0.000 claims description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 6
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims description 6
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 2
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010272914A JP5648908B2 (ja) | 2010-12-07 | 2010-12-07 | 振動デバイス、並びに発振器、および電子機器 |
| CN2011103994706A CN102545825A (zh) | 2010-12-07 | 2011-12-05 | 振动器件、振荡器以及电子设备 |
| US13/312,276 US8476984B2 (en) | 2010-12-07 | 2011-12-06 | Vibration device, oscillator, and electronic apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010272914A JP5648908B2 (ja) | 2010-12-07 | 2010-12-07 | 振動デバイス、並びに発振器、および電子機器 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012124677A JP2012124677A (ja) | 2012-06-28 |
| JP2012124677A5 true JP2012124677A5 (enExample) | 2014-02-06 |
| JP5648908B2 JP5648908B2 (ja) | 2015-01-07 |
Family
ID=46161683
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010272914A Expired - Fee Related JP5648908B2 (ja) | 2010-12-07 | 2010-12-07 | 振動デバイス、並びに発振器、および電子機器 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8476984B2 (enExample) |
| JP (1) | JP5648908B2 (enExample) |
| CN (1) | CN102545825A (enExample) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2403141B1 (en) | 2009-02-27 | 2018-10-24 | Seiko Epson Corporation | Surface acoustic wave resonator, surface acoustic wave oscillator, and electronic device |
| JP5678486B2 (ja) | 2010-06-17 | 2015-03-04 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および電子機器 |
| JP5934464B2 (ja) | 2010-08-26 | 2016-06-15 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波共振子、および弾性表面波発振器、ならびに電子機器 |
| JP2012060422A (ja) | 2010-09-09 | 2012-03-22 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置 |
| JP2012060420A (ja) * | 2010-09-09 | 2012-03-22 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置 |
| JP2012060419A (ja) | 2010-09-09 | 2012-03-22 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置 |
| JP2012060421A (ja) * | 2010-09-09 | 2012-03-22 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置 |
| JP2012060418A (ja) | 2010-09-09 | 2012-03-22 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置 |
| JP5880520B2 (ja) * | 2013-10-30 | 2016-03-09 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びその製造方法 |
| US20210111688A1 (en) * | 2019-10-10 | 2021-04-15 | Skyworks Solutions, Inc. | Surface acoustic wave device with multi-layer piezoelectric substrate |
Family Cites Families (55)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5479548A (en) * | 1977-12-08 | 1979-06-25 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Oscillation circuit using piezoelectic vibrator |
| JPS54156455A (en) | 1978-05-31 | 1979-12-10 | Toshiba Corp | Surface acoustic wave element and its trimming method |
| US4387355A (en) | 1980-06-13 | 1983-06-07 | Nippon Telegraph & Telephone Public Corporation | Surface acoustic wave resonator |
| JPS5799813A (en) | 1980-12-13 | 1982-06-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Surface acoustic wave resonator |
| JPS575418A (en) * | 1980-06-13 | 1982-01-12 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Cavity type surface elastic wave resonator |
| JPS5833309A (ja) | 1981-08-21 | 1983-02-26 | Toyo Commun Equip Co Ltd | すべり波共振器 |
| JPS6192011A (ja) | 1984-10-11 | 1986-05-10 | Nec Kansai Ltd | 弾性表面波素子の製造方法 |
| JPH0640610B2 (ja) | 1985-03-26 | 1994-05-25 | 和彦 山之内 | 弾性表面波共振子 |
| JPS61220513A (ja) | 1985-03-26 | 1986-09-30 | Kazuhiko Yamanouchi | 弾性表面波共振器 |
| JPH01231412A (ja) | 1988-03-11 | 1989-09-14 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波ディバイスの周波数特性調整方法 |
| JPH02189011A (ja) | 1989-01-18 | 1990-07-25 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波デバイスの製造方法 |
| JP2982208B2 (ja) | 1990-03-30 | 1999-11-22 | 富士通株式会社 | 弾性表面波素子 |
| CA2038474C (en) | 1990-03-19 | 1994-09-20 | Yoshio Satoh | Surface-acoustic-waver filter having a plurality of electrodes |
| JPH0590865A (ja) | 1991-09-30 | 1993-04-09 | Oki Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波フイルタの中心周波数調整方法 |
| JPH10270974A (ja) | 1997-03-25 | 1998-10-09 | Kenwood Corp | 表面弾性波素子 |
| JP3266846B2 (ja) | 1998-01-20 | 2002-03-18 | 東洋通信機株式会社 | 反射反転型弾性表面波変換器及びフィルタ |
| JP3301399B2 (ja) | 1998-02-16 | 2002-07-15 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置 |
| FR2779289B1 (fr) | 1998-05-29 | 2000-09-01 | Thomson Csf | Transducteur unidirectionnel grave a ondes acoustiques de surface |
| JP3840852B2 (ja) | 1998-10-15 | 2006-11-01 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波装置及び2ポート弾性表面波共振子 |
| JP2002100959A (ja) | 2000-09-25 | 2002-04-05 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 弾性表面波デバイス |
| JP3897229B2 (ja) | 2001-04-27 | 2007-03-22 | 株式会社村田製作所 | 表面波フィルタ |
| JP3724575B2 (ja) | 2001-08-09 | 2005-12-07 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波装置 |
| JP3622202B2 (ja) * | 2001-08-29 | 2005-02-23 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波装置の温度特性調整方法 |
| JP2003258601A (ja) | 2001-12-28 | 2003-09-12 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波装置およびそれを用いた通信機器 |
| JP2004274696A (ja) * | 2002-10-04 | 2004-09-30 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波装置および弾性表面波装置の温度特性調整方法 |
| JP2005012736A (ja) | 2003-06-17 | 2005-01-13 | Kazuhiko Yamanouchi | 弾性表面波変換器とこれを用いた電子装置 |
| US7135805B2 (en) | 2003-04-08 | 2006-11-14 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Surface acoustic wave transducer |
| ATE385065T1 (de) * | 2003-08-25 | 2008-02-15 | Tele Filter Gmbh | Oszillator mit akustischen oberflächenwellenresonatoren |
| JP2005204275A (ja) | 2003-12-12 | 2005-07-28 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子片およびその製造方法並びに弾性表面波装置 |
| JP2006074136A (ja) | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子片および弾性表面波装置 |
| JP2006148622A (ja) | 2004-11-22 | 2006-06-08 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波装置および電子機器 |
| EP1926210A3 (en) | 2004-12-03 | 2013-04-17 | Seiko Epson Corporation | Surface acoustic wave device |
| JP2006203408A (ja) | 2005-01-19 | 2006-08-03 | Epson Toyocom Corp | 弾性表面波デバイス |
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| JP2006186623A (ja) | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子、その製造方法、及び弾性表面波デバイス |
| JP2005137031A (ja) * | 2005-02-14 | 2005-05-26 | Seiko Epson Corp | Sawデバイス、発振回路の温度特性調整方法および発振器 |
| JP2006295311A (ja) | 2005-04-06 | 2006-10-26 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子片および弾性表面波装置 |
| JP3851336B1 (ja) | 2005-05-31 | 2006-11-29 | 隆彌 渡邊 | 弾性表面波装置 |
| US7868522B2 (en) * | 2005-09-09 | 2011-01-11 | Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Adjusted frequency temperature coefficient resonator |
| JP4569447B2 (ja) | 2005-11-18 | 2010-10-27 | エプソントヨコム株式会社 | 弾性表面波素子片および弾性表面波デバイス |
| JP4412292B2 (ja) | 2006-02-06 | 2010-02-10 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波装置および電子機器 |
| JP2007259414A (ja) | 2006-02-24 | 2007-10-04 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波装置の温度特性調整方法および弾性表面波装置の製造方法、弾性表面波装置 |
| JP2007267033A (ja) | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Epson Toyocom Corp | 弾性表面波素子及び弾性表面波デバイス |
| JP5141856B2 (ja) | 2006-04-04 | 2013-02-13 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波装置の製造方法、及び弾性表面波装置 |
| JP4968510B2 (ja) | 2006-04-27 | 2012-07-04 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波素子片の周波数温度特性調整方法、及び弾性表面波素子片、並びに弾性表面波デバイス |
| JP2007300287A (ja) | 2006-04-28 | 2007-11-15 | Epson Toyocom Corp | 弾性表面波素子および弾性表面波デバイス並びに電子機器 |
| DE102006027060B4 (de) * | 2006-06-08 | 2010-04-01 | Leibniz-Institut Für Festkörper- Und Werkstoffforschung Dresden E.V. | Oszillatorkreis mit akustischen Eintor-Oberflächenwellenresonatoren |
| JP2008078984A (ja) | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Epson Toyocom Corp | Sawデバイスおよび電子機器 |
| JP4645957B2 (ja) | 2006-09-29 | 2011-03-09 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波素子片および弾性表面波装置 |
| JP2008236295A (ja) | 2007-03-20 | 2008-10-02 | Seiko Epson Corp | Saw共振子 |
| JP4591800B2 (ja) | 2008-02-20 | 2010-12-01 | エプソントヨコム株式会社 | 弾性表面波デバイスおよび弾性表面波発振器 |
| DE102008001837A1 (de) * | 2008-05-17 | 2009-12-03 | Leibniz-Institut Für Festkörper- Und Werkstoffforschung Dresden E.V. | Temperaturstabiler Doppelresonator |
| JP4645923B2 (ja) | 2009-02-27 | 2011-03-09 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波共振子、および弾性表面波発振器 |
| EP2403141B1 (en) * | 2009-02-27 | 2018-10-24 | Seiko Epson Corporation | Surface acoustic wave resonator, surface acoustic wave oscillator, and electronic device |
| JP2012060420A (ja) * | 2010-09-09 | 2012-03-22 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置 |
-
2010
- 2010-12-07 JP JP2010272914A patent/JP5648908B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-12-05 CN CN2011103994706A patent/CN102545825A/zh active Pending
- 2011-12-06 US US13/312,276 patent/US8476984B2/en not_active Expired - Fee Related
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| JP2010187196A5 (enExample) | ||
| JP2013258452A5 (enExample) |