JP2009100480A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6349622B2 (ja) 2013-03-14 2018-07-04 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
US9257959B2 (en) * 2013-03-29 2016-02-09 Seiko Epson Corporation Resonator element, resonator, oscillator, electronic apparatus, sensor, and moving object
JP2014200051A (ja) * 2013-03-29 2014-10-23 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
JP2015002548A (ja) * 2013-06-18 2015-01-05 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
JP6614227B2 (ja) * 2017-11-15 2019-12-04 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
JP6521148B2 (ja) * 2018-06-05 2019-05-29 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
JP6816805B2 (ja) * 2019-10-25 2021-01-20 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2467487A1 (fr) * 1979-10-15 1981-04-17 Ebauches Sa Resonateur piezoelectrique
JP2756559B2 (ja) * 1987-11-11 1998-05-25 セイコーインスツルメンツ株式会社 圧電振動子の製造方法
JPH10294631A (ja) * 1997-04-18 1998-11-04 Seiko Epson Corp 振動子片の構造
JP2000004138A (ja) * 1998-03-31 2000-01-07 Seiko Epson Corp 振動子の製造方法及び電子機器
JP3475928B2 (ja) * 1998-07-24 2003-12-10 セイコーエプソン株式会社 圧電振動子およびその製造方法
JP4852195B2 (ja) * 1999-01-20 2012-01-11 セイコーエプソン株式会社 音叉型水晶振動子
JP3433728B2 (ja) * 2000-08-11 2003-08-04 セイコーエプソン株式会社 圧電デバイス
JP2002261575A (ja) * 2000-12-25 2002-09-13 Seiko Epson Corp 振動片、振動子、発振器及び電子機器
JP3975681B2 (ja) * 2001-03-02 2007-09-12 セイコーエプソン株式会社 振動片の製造方法、振動片、振動子、発振器及び携帯用電話装置
JP3975696B2 (ja) * 2001-06-25 2007-09-12 セイコーエプソン株式会社 圧電振動子の製造方法および圧電振動子

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