JP2012082498A - Cu−Ga合金スパッタリングターゲットの製造方法及びCu−Ga合金スパッタリングターゲット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少なくともガリウム及び銅を含有するCu−Ga合金粉末と、アルカリ金属含有有機物とを混合した混合粉末を焼結し、アルカリ金属を0.01〜5質量%含有したCu−Ga合金スパッタリングターゲットを製造する。
【選択図】なし
Description
実施例1では、ガリウム(Ga)を30質量%含有し、残部が銅(Cu)及び不可避不純物からなり、平均粒径が100μmであるCu−Ga合金粉末1000gに、焼結後、即ち製造されるCu−Ga合金スパッタリングターゲットにナトリウムが1.5質量%含有されるようにラウリル硫酸ナトリウムを188g混合し、原料粉末とした。
実施例2では、Cu−Ga合金粉末中のGa濃度を1質量%としたこと以外は、実施例1と同様の方法によりCu−Ga合金スパッタリングターゲットを作製した。
実施例3では、Cu−Ga合金粉末中のGa濃度を45質量%にしたこと以外は、実施例1と同様の方法によりCu−Ga合金スパッタリングターゲットを作製した。
実施例4では、ナトリウム濃度を0.01質量%にしたこと以外は、実施例1と同様の方法によりCu−Ga合金スパッタリングターゲットを作製した。Cu−Ga合金スパッタリングターゲットには、硫黄が0.01質量%含有されている。
実施例5では、アルカリ金属含有物にラルリル硫酸ナトリウムと脂肪酸ナトリウムを使用し、ナトリウムが5質量%、硫黄が5質量%含有されるようにしたこと以外は、実施例1と同様の方法によりCu−Ga合金スパッタリングターゲットを作製した。
実施例6では、アルカリ金属含有有機物にポリオキシエチレンラウリルエーテル硫酸ナトリウムを使用して、ナトリウムが0.5質量%含有されるようにしたこと以外は、実施例1と同様の方法によりCu−Ga合金スパッタリングターゲットを作製した。Cu−Ga合金スパッタリングターゲットには、硫黄が0.6質量%含有されている。
実施例7では、アルカリ金属含有有機物にジアルキルスルホコハク酸ナトリウムを使用して、ナトリウムが1.5質量%含有されるようにしたこと以外は実施例1と同様の方法によりCu−Ga合金スパッタリングターゲットを作製した。
実施例8では、アルカリ金属含有有機物にラウリル硫酸ナトリウムと脂肪酸ナトリウムを使用して、ナトリウムが1.5質量%、硫黄が0.01質量%含有されるようにしたこと以外は、実施例1と同様の方法によりCu−Ga合金スパッタリングターゲットを作製した。
実施例9では、アルカリ金属含有有機物にラウリル硫酸ナトリウムと脂肪酸ナトリウムを使用して、ナトリウムが5質量%、硫黄が0.01質量%含有されるようにしたこと以外は、実施例1と同様の方法によりCu−Ga合金スパッタリングターゲットを作製した。
実施例10では、アルカリ金属含有有機物に脂肪酸ナトリウムを使用して、ナトリウムが0.01質量%含有されるようにしたこと以外は、実施例1と同様の方法によりCu−Ga合金スパッタリングターゲットを作製した。なお、実施例10では、Cu−Ga合金スパッタリングターゲット中に硫黄は含有されていない。
実施例11では、アルカリ金属含有有機物に脂肪酸ナトリウムを使用して、ナトリウムが5質量%含有されるようにしたこと以外は、実施例1と同様の方法によりCu−Ga合金スパッタリングターゲットを作製した。なお、実施例11では、Cu−Ga合金スパッタリングターゲット中に硫黄は含有されていない。
比較例1では、Gaを30質量%含有し、残部がCuと不可避不純物からなり、平均粒径が100μmであるCu−Ga合金粉末に、焼結後、即ちCu−Ga合金スパッタリングターゲットにアルカリ金属が1.5質量%含有されるように金属ナトリウムを混合し原料粉末とした。
比較例2では、Gaを30質量%、金属ナトリウムが1.5質量%、残部がCu及び不可避不純物からなるようにそれぞれの原料を混合し溶解した。
比較例3では、ナトリウム、硫黄が6質量%含有されるようにしたこと以外は、実施例1と同様の方法によりCu−Ga合金スパッタリングターゲットを作製した。その結果、Cu−Ga合金スパッタリングターゲットが機械加工の段階で割れるという不具合が生じた。
Claims (7)
- アルカリ金属を含有したCu−Ga合金スパッタリングターゲットを製造する方法において、
上記Cu−Ga合金スパッタリングターゲット中に、上記アルカリ金属が0.01〜5質量%含有されるように、少なくともガリウム及び銅を含有するCu−Ga合金粉末と、アルカリ金属含有有機物とを混合した混合粉末を焼結することを特徴とするCu−Ga合金スパッタリングターゲットの製造方法。 - 上記アルカリ金属含有有機物は、ナトリウムを含有することを特徴とする請求項1記載のCu−Ga合金スパッタリングターゲットの製造方法。
- 上記アルカリ金属含有有機物は、硫黄を含有することを特徴とする請求項1又は請求項2記載のCu−Ga合金スパッタリングターゲットの製造方法。
- 上記アルカリ金属含有有機物は、アルキル硫酸エステル塩、ポリオキシレンエチレンアルキルエーテル硫酸エステル塩又はアルキルベンゼンスルフォン酸塩であることを特徴とする請求項3記載のCu−Ga合金スパッタリングターゲットの製造方法。
- 上記焼結は、上記混合粉末を300℃〜600℃で加熱した後、圧力40kg/cm2以上の加圧下で600℃〜900℃で焼結する請求項1乃至請求項4のいずれか1項記載のCu−Ga合金スパッタリングターゲットの製造方法。
- 少なくともアルカリ金属含有有機物と、ガリウム及び銅を含有するCu−Ga合金粉末とを混合した混合粉末を焼結して得られる少なくとも銅、ガリウム及び0.01〜5質量%のアルカリ金属を含有することを特徴とするCu−Ga合金スパッタリングターゲット。
- 上記アルカリ金属含有有機物は、ナトリウム及び硫黄を含有するものであり、
上記Cu−Ga合金粉末中のガリウム濃度が45質量%以下であり、上記ナトリウムの含有量が0.01〜5質量%であり、かつ硫黄の含有量が0.01〜5質量%であることを特徴とする請求項6記載のCu−Ga合金スパッタリングターゲット。
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