JP2012068105A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カバー60内が圧力検出部100で区切られて形成されている第1空間51の内部には半導体圧力検出素子41のリードピン43及びリード線47が収容されているが、第1接着剤71により封入されているので、第1空間51内に外部の水分等の液体が侵入することを阻止することができる。また、圧力検出部110の流管接続部材である受け部材2側とカバー60との間に形成される第2空間52も接着剤により封入されている。カバー60の圧力検出部110側から第2空間52を通じて水分等の液体が侵入しようとしても、第2空間52内に封入されている第2接着剤72によって阻止される。
【選択図】図1
Description
本発明の目的は、気密性を維持しつつ、構造の簡略化を図ることができる圧力センサを提供することである。
1b 天壁 1c 環状角部
1d 外周面
2 受け部材(流管接続部材) 2a 鍔部
2b 開口 2c 環状下面
2d 外側テーパ周面
3 ダイアフラム 3a 外周縁部
4 レーザー溶接
11 流体流入管 12 加圧空間(圧力導入空間)
20 充填孔 21 ボール
31 受圧空間
41 半導体圧力検出素子 42 貫通孔
43 リードピン 44 ハーメチックシール
45 基板 46 コネクタ
47 リード線
51 第1空間 52 第2空間
60 カバー 61 小径端部
62 突出部 63 大径端部
63a 筒状内周面 63b 傾斜端面
64 環状段部 65 環状隙間
66 筒状内周面
71 第1接着剤 72 第2接着剤
100 圧力センサ
110 圧力検出部 120 コネクタ接続部
Claims (7)
- ダイアフラムと、
前記ダイアフラムとの間でオイルが封入された受圧空間が形成されており前記受圧空間内に半導体圧力検出素子が設けられているベースと、
前記ダイアフラムを挟んで前記ベースと対向して設けられ且つ流体流入管と接続されており前記ダイアフラムとの間に前記流体流入管を通じて圧力が導入される圧力導入空間が形成されている流管接続部材と、
前記ベースの背後より引き出された前記半導体圧力検出素子のリードピン及び該リードピンに接続されたリード線とを具備し、
前記ダイアフラム、前記ベース及び前記流管接続部材が溶接により圧力検出部として一体的に連結されている圧力センサにおいて、
前記圧力検出部を収容するカバーを更に備え、
前記カバー内が前記圧力検出部で区切られて形成され且つ前記リードピン及び前記リード線を収容する第1空間、及び前記圧力検出部の前記流管接続部材側と前記カバーとの間に形成される第2空間には、接着剤が封入されていることを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1記載の圧力センサにおいて、
前記第1空間を封入する第1接着剤は、前記カバー及び前記リード線との密着性が高く、且つ弾性に富んだ材質であり、
前記第2空間を封入する第2接着剤は、前記圧力検出部と密着性が高く、且つ弾性に富んだ材質であること、
を特徴とする圧力センサ。 - 請求項1又は2記載の圧力センサにおいて、
前記カバーには前記ベースの外径とほぼ同径の段状部が形成され、前記ベースはその外径角部において前記段状部に載置されていること、
を特徴とする圧力センサ。 - 請求項3記載の圧力センサにおいて、
前記ベースは前記段状部に接着されていること
を特徴とする圧力センサ。 - 請求項1〜4のいずれか一項記載の圧力センサにおいて、
前記第2空間は、前記カバーの内周面と前記圧力検出部の外周面との間に前記第2接着剤が流入される環状隙間を含んでいること、
を特徴とする圧力センサ。 - 請求項1〜5のいずれか一項記載の圧力センサにおいて、
前記カバーは、前記第1空間において内周に突出する突出部が形成されていること、
を特徴とする圧力センサ。 - 請求項1〜6のいずれか一項記載の圧力センサにおいて、
前記リードピンと前記リード線の接続は、基板を介して行われること、
を特徴とする圧力センサ。
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