JP5866246B2 - 圧力センサ - Google Patents
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Description
2 圧力検出部
3 コネクタ接続部
21 圧力検出素子
22 流体流入部
23 べース
23a 貫通孔
23b ハーメチックシール
24 受け部材
25 ダイアフラム
26 受圧空間
27 加圧空間
29 ワイヤ
31 配線基板
32 外部出力用リード線
33 出力用リードピン
34 コネクタ
35 カバー
35a 環状段部(カバー段差部)
35b 大径内周部
35c 凹凸部
36 リング状部材
36a 外周面
36b 交点
41、42 空間
46 リング状部材
46c 位置決め段差部
47 接続部
48 溶接部
56 リング状部材
56a 外周面
Claims (5)
- 圧力検出素子、受圧用のダイアフラム、該ダイアフラムに圧力を検出すべき流体を導入する加圧空間、オイルが充填されダイアフラムを介して圧力検出素子に圧力を伝達する受圧空間、及び圧力検出素子の出力信号を取り出すための出力用リードピンを備えた圧力検出部と、
前記圧力検出部を収容するカバーと、
前記圧力検出部の外周部に全周溶接され、前記カバー内部のカバー段差部に装着されたリング状部材と、
前記カバーの両端に充填された充填材とを備えることを特徴とする圧力センサ。 - 前記圧力検出部は、前記ダイアフラムを挟むように設けられたベース及び受け部材を備え、
前記圧力検出素子は前記ベースに設けられ、
該ベース及び前記ダイアフラムにより画定される領域に充填されて受圧空間を形成するオイルを備えることを特徴とする請求項1記載の圧力センサ。 - 前記リング状部材は、前記ベースの外周部に突き合わされていることを特徴とする請求項2記載の圧力センサ。
- 前記リング状部材は、厚肉部及び薄肉部を備え、
前記厚肉部及び薄肉部の間の位置決め段差部に前記ベースが当接することを特徴とする請求項2記載の圧力センサ。 - 前記カバーは、前記カバー段差部に隣接して大径内周部を備え、
該大径内周部には、少なくともその一部に凹凸部が形成されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の圧力センサ。
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- 2012-04-20 JP JP2012096148A patent/JP5866246B2/ja active Active
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