JP5287813B2 - 圧力センサ、及び、その製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、センサ素子とターミナルとが固定された第１ハウジングと、メタルダイアフラムが固定された第２ハウジングとが組み合わされて成る圧力センサ、及び、その製造方法に関するものである。

従来、例えば特許文献１に示されるように、先端に凹部が形成された第１のケースと中空を有する第２のケースとが一体に組み付けられてなるケーシングと、第１のケースの先端と第２のケースにおける第１のケースの先端との対向部位との間に設けられたメタルダイアフラムと、該メタルダイアフラムと第１のケースの凹部との間に構成された圧力検出室と、圧力検出室に設けられたセンサ素子と、圧力検出室内に充填された圧力伝達媒体と、センサ素子と電気的に接続されたターミナルと、該ターミナルとセンサ素子とを電気的に接続するワイヤと、を有する圧力センサが提案されている。この圧力センサでは、メタルダイアフラムに作用した圧力が、圧力伝達媒体を介してセンサ素子に伝達されるようになっている。また、第１のケースの先端には、上記した凹部を囲む、環状の溝が形成されており、この溝に設けられたＯリングによって、上記した圧力検出室がシール（気密封止）されている。

特開２０１０−８５３０７号公報

特許文献１に記載の圧力センサを製造するには、先ず、第１のケースの先端を鉛直上方に向けた状態で、第１のケースの凹部に、圧力伝達媒体を注入する。次に、凹部に圧力伝達媒体が満たされた状態で、第１のケースの先端を第２のケースの中空に挿入することで、圧力検出室を構成すると共に、圧力検出室をＯリングによって囲む。最後に、第２のケースの一部をかしめることで、第１のケースと第２のケースとを固定して、圧力検出室をＯリングによてシールする。

このように、特許文献１に記載の圧力センサを製造するには、圧力伝達媒体が注入された状態で、第１のケースを第２のケースに挿入しなくてはならない。したがって、第１のケースを第２のケースの中空に挿入する際においては、第１のケースと第２のケースとの接触によって、圧力伝達媒体がこぼれることを避けるために、鉛直方向に交差する方向において、第１のケースと第２のケースとの間に隙間を形成し、非接触状態で挿入することが望まれる。なお、この隙間は、第２のケースをかしめることによって、ある程度なくなるが、全てなくなるわけではない。

特許文献１の技術的な特徴点は、上記した隙間と外部とを連通する貫通穴が、第２のケースにおける第１のケースとの対向部位に形成された点である。この貫通穴がない場合、上記した隙間にある気体が、外部温度の変動によって膨張する。この膨張による圧力は、Ｏリングを介して圧力伝達媒体に伝達され、これによって、圧力の検出精度が低下する虞がある。更に言えば、膨張した気体が、Ｏリングを介して圧力検出室に流入した結果、圧力検出室に気泡が生じ、これによって、圧力の検出精度が低下する虞がある。これに対して、特許文献１に記載の圧力センサのように、貫通穴がある場合、上記した隙間にある気体の圧力と、外部雰囲気の気体の圧力とが同一となるので、Ｏリング（圧力伝達媒体）に、余分な圧力が伝達されることが抑制され、圧力検出室に気泡が生じることが抑制される。これにより、圧力の検出精度の低下が抑制される。

ところで、上記したように、特許文献１に示される圧力センサでは、第２のケースに貫通穴が形成されている。この構成の場合、貫通穴と上記した隙間とを介して、Ｏリングが外部環境に晒されるので、Ｏリングが劣化する虞がある。Ｏリングが劣化すると、圧力検出室のシール性が低下し、圧力伝達媒体が外部に漏れ、その結果、圧力の検出精度が低下する虞がある。

そこで、本発明は上記問題点に鑑み、圧力の検出精度の低下が抑制された圧力センサ、及び、その製造方法を提供することを目的とする。

上記した目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、センサ素子とターミナルとが固定された第１ハウジングと、メタルダイアフラムを有する第２ハウジングとが組み合わされて成る圧力センサであって、第２ハウジングは筒状を成し、その中空が、メタルダイアフラムによって、第１ハウジングを収容する収容空間と、被検出対象である圧力流体を導入する導入空間とに区切られており、第１ハウジングは柱状を成し、メタルダイアフラム側の端部に、センサ素子とターミナルの一部とが設けられた第１の溝と、環状のシール部材が設けられた第２の溝とが形成され、第１の溝の全周囲が、第２の溝によって囲まれており、第１の溝及びメタルダイアフラムによって圧力検出室が構成され、圧力検出室は、メタルダイアフラムに作用する圧力流体の圧力をセンサ素子に伝達する圧力媒体で満たされており、第２ハウジングにおける収容空間側の端部は、第１ハウジングに対してかしめられており、該かしめられた部位によって、第１ハウジングがシール部材を介して前記第２ハウジングにおける前記メタルダイアフラムの固定部位に押し付けられており、第２ハウジングにおける収容空間を区画する部位であって、第１ハウジングの側面と対向する対向部位に、収容空間と外部とを連通する貫通孔が少なくとも１つ形成され、収容空間の一部であって、シール部材によって圧力検出室と区切られた、第１ハウジングの側面と第２ハウジングの対向部位との間の隙間には、貫通孔を介して注入された樹脂が満たされていることを特徴とする。

このように本発明によれば、第１ハウジングの側面と第２ハウジングの対向部位との間の隙間が、樹脂によって満たされている。したがって、環状のシール部材が外部環境に晒されないので、シール部材の劣化が抑制され、圧力媒体の漏れが抑制される。また、隙間が気体によって満たされた構成とは異なり、外部温度の上昇による気体の膨張によって、圧力検出室の圧力が上昇することが抑制される。更に言えば、外部温度の変動によって、膨張した隙間の気体が、シール部材を介して圧力検出室に流入した結果、圧力検出室に気泡が生じることが抑制される。以上、示したように、本発明によれば、シール部材の劣化による圧力媒体の漏れ、気体の膨張による圧力検出室の圧力の上昇、及び、気体の圧力検出室への流入による圧力検出室での気泡の発生が抑制され、これらに起因する圧力の検出精度の低下が抑制される。

なお、外部温度が上昇した場合、樹脂も気体と同様に膨張する。しかしながら、樹脂は、第１ハウジングの側面と第２ハウジングの対向部位との間に位置しており、圧力検出室をシールするシール部材は、第１ハウジングにおけるメタルダイアフラム側の端部に位置している。これによれば、樹脂とシール部材とは隣接していないので、樹脂が膨張したとしても、その膨張による圧力がシール部材に印加され難く、したがって、圧力検出室に印加され難い。このように、本発明では、樹脂が膨張したとしても、圧力検出室の圧力が変動し難くなっている。

請求項２に記載のように、貫通孔は第２ハウジングに複数形成されており、複数の貫通孔の少なくとも１つは、隙間に樹脂を注入するための貫通孔であり、複数の貫通孔の他の少なくとも１つは、隙間から気体を抜くための貫通孔である構成が好適である。これによれば、貫通孔が１つである構成と比べて、第１ハウジングと第２ハウジングとの間の隙間への樹脂の充填が容易となる。何故ならば、上記した隙間は非常に体積が小さいために、樹脂が周り難いが、貫通孔が複数であれば、複数の貫通孔から樹脂を注入することができ、樹脂の充填が容易となるからである。また、複数の貫通孔の内、少なくとも１つの貫通孔を、樹脂を注入するための貫通孔とし、少なくとも他の１つの貫通孔を、隙間にある気体を抜くための貫通孔とすれば、更に樹脂が回り易くなり、充填が容易となる。

請求項３に記載のように、複数の貫通孔は、第２ハウジングの中心軸の周方向に沿って、等間隔に形成された構成が好ましい。

例えば、周方向における、貫通孔の隣接間隔が不定の場合、局所的に、隣接間隔の長い場所が生じる。この場合、隣接間隔の長い場所の両端に位置する２つの貫通孔から注入された樹脂が、その隣接間隔の中間（貫通孔を介して注入された樹脂が流れ着く最も遠い場所）に流れ着くことが困難となり、その中間に位置する、第１ハウジングと第２ハウジングとの隙間への樹脂の充填が困難となる。

これに対して、請求項３に記載の発明によれば、周方向における、貫通孔の隣接間隔が一定となっているので、その隣接間隔の中間と貫通孔との距離も一定となっている。これによれば、貫通孔から注入された樹脂の隣接間隔の中間への流動が困難となることが抑制され、その中間に位置する、第１ハウジングと第２ハウジングとの隙間への樹脂の充填が困難となることが抑制される。

請求項４に記載のように、第１ハウジングの側面には、第１ハウジングの中心軸を囲む環状の第３の溝が形成されており、第３の溝と貫通孔とが連通した構成が好適である。

第３の溝がない場合、樹脂の注入圧力は、第１ハウジングの中心軸の周方向、及び、その周方向に交差する交差方向に位置する隙間に樹脂を注入する程度となる。この場合、樹脂の注入圧力が強くなり、予期しない場所に樹脂が流動する虞がある。

これに対して、請求項４に記載の構成によれば、樹脂の注入圧力を強めなくとも、第３の溝に沿って、第１ハウジング側面の全周に、樹脂を充填することができる。したがって、樹脂の注入圧力を、環状を成す第３の溝に交差する方向に位置する隙間に樹脂を注入する程度とすることができる。これにより、第３の溝がない構成と比べて、樹脂の注入圧力が低くなるので、予期しない場所に樹脂が流動することが抑制される。

第１ハウジングの具体的な構成、及び、かしめの具体的な構成としては、請求項５に記載のように、第１ハウジングは、第２ハウジングの中空に設けられる第１柱部と、第１柱部における、メタルダイアフラムから離れた端部に連結され、第２ハウジングから露出した第２柱部と、を有し、第１柱部の径は、第２柱部の径よりも長くなっており、第２ハウジングにおける第１ハウジング側の端部が、第１柱部におけるメタルダイアフラムから離れた端部側に折れ曲がるように、かしめられた構成を採用することができる。

請求項６に記載の発明の作用効果は、請求項１に記載の発明の作用効果と同等なので、その記載を省略する。

請求項７に記載のように、組み付け工程は、第１ハウジングを第２ハウジングの中空に挿入する挿入工程と、該挿入工程後、第２ハウジングにおける第１ハウジング側の端部をかしめるかしめ工程と、を有するのが好ましい。このように、樹脂を注入する前に、第１ハウジングと第２ハウジングとを固定しておくことで、樹脂の注入圧力によって、第１ハウジングと第２ハウジングとの固定位置がずれたり、圧力媒体が漏れる、などの不具合が生じることが抑制される。

請求項８に記載のように、注入工程後、固定された第１ハウジングと第２ハウジングとを真空室に入れることで、樹脂に混入したガスを抜くガス抜き工程を有するのが良い。これによれば、樹脂に混入したガスが膨張収縮した結果、圧力検出室に余分な圧力が印加されることが抑制される。

また、請求項７に記載の構成とは異なり、請求項９に記載のように、組み付け工程は、第１ハウジングを第２ハウジングの中空に挿入する挿入工程であっても良い。そして、請求項１０に記載のように、注入工程後、第２ハウジングにおける第１ハウジング側の端部をかしめるかしめ工程を実施し、かしめ工程後、固定された第１ハウジングと第２ハウジングとを真空室に入れることで、樹脂に混入したガスを抜くガス抜き工程を実施しても良い。

第１実施形態に係る圧力センサの概略構成を示す正面図である。 図１のＩＩ−ＩＩ線に沿う断面図である。 第３の溝を説明するための正面図である。

以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係る圧力センサの概略構成を示す正面図である。図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線に沿う断面図である。図３は、第３の溝を説明するための正面図である。以下においては、第１ハウジング１０とメタルダイアフラム６０とが並ぶ方向において、第１ハウジング１０の中心を通る線を、中心線と示す。本実施形態では、第２ハウジング５０の中心も、この中心線上に位置している。この中心線は、特許請求の範囲に記載の第第１ハウジング及び第２ハウジングそれぞれの中心軸と一致している。

図１及び図２に示すように、圧力センサ１００は、柱状の第１ハウジング１０と、筒状の第２ハウジング５０とが組みつけられて成る。第１ハウジング１０には、センサ素子２０とターミナル３０とが固定されており、第２ハウジング５０には、メタルダイアフラム６０とリングウェルド６１とが固定されている。第２ハウジング５０の中空は、メタルダイアフラム６０によって、第１ハウジング１０を収容するための収容空間と、被検出対象である圧力流体を導入するための導入空間とに区切られている。第２ハウジング５０の一部は、圧力流体が流れるパイプ内に設けられ、その圧力流体が、上記した導入空間に流入し、流入した圧力流体の圧力が、メタルダイアフラム６０に作用するようになっている。

第１ハウジング１０は、ＰＰＳやＰＢＴなどの樹脂材料によって形成され、第１柱部１１と第２柱部１２とが一体的に連結されている。第１柱部１１の径は、第２柱部１２の径よりも長くなっており、第１柱部１１は第２ハウジング５０の収容空間内に配置され、第２柱部１２は外部に配置されている。

第１柱部１１における、メタルダイアフラム６０側の端部１１ａには、センサ素子２０とターミナル３０の一部を設けるための第１の溝１３と、Ｏリング６２を設けるための第２の溝１４とが形成されている。第２の溝１４は環状を成しており、第１の溝１３が第２の溝１４によって囲まれている。図２に示すように、第１の溝１３とメタルダイアフラム６０とによって、圧力検出室１５が形成されており、この圧力検出室１５は、圧力媒体１６によって満たされている。これにより、メタルダイアフラム６０に作用した圧力流体の圧力が、圧力媒体１６を介して、センサ素子２０に作用されるようになっている。

本実施形態では、第１柱部１１の側面１１ｂに、第３の溝１７が形成されている。図３に示すように、第３の溝１７は、中心線を囲む環状を成している。

センサ素子２０は、半導体基板２１と、該半導体基板２１における局所的に厚さの薄くなった薄肉部２２上に形成されたゲージ抵抗（図示略）と、台座２３とから成る。台座２３はガラスから成り、台座２３と半導体基板２１とが陽極接合されている。そして、台座２３は、接着剤（図示略）を介して、第１の溝１３の壁面に固定されている。センサ素子２０は、薄肉部２２に作用した圧力を電気信号に変換する機能を果たす。

ターミナル３０は、第１ハウジング１０にインサート成形されており、一方の端部３０ａ側の一部が第１の溝１３から露出され、他方の端部３０ｂが、第２柱部１２における第１柱部１１との連結端とは反対側の端部１２ａから露出している。ターミナル３０における第１の溝１３に設けられた部位に、ワイヤ３１が接続され、このワイヤ３１を介して、ターミナル３０とセンサ素子２０とが電気的に接続されている。これにより、センサ素子２０の電気信号が、ワイヤ３１とターミナル３０とを介して外部に出力される。なお、ターミナル３０における第１の溝１３から露出された部位は、シール樹脂３２によって被覆されており、他方の端部３０ｂは、図２に示すように、第２柱部１２の端部１２ａに連結された囲み部１８によって囲まれている。この囲み部１８と端部３０ｂとによってコネクタが構成されている。

第２ハウジング５０は、アルミニウムなどの金属材料によって形成され、第１筒部５１と第２筒部５２とが連結されて成る。第１筒部５１の内径が、第２筒部５２の内径よりも長くなっており、第１筒部５１と第２筒部５２の中空は、メタルダイアフラム６０によって区切られている。第１筒部５１の中空が、第１ハウジング１０の第１柱部１１を収納する機能を果たし、第２筒部５２の中空が、圧力流体を導入する機能を果たすようになっている。

図２に示すように、第１筒部５１の内径は一定と成っており、第２筒部５２の内径は、メタルダイアフラム６０から離れるにしたがって徐々に短くなった後、一定となっている。第２筒部５２における、内径が一定と成っている部位の外壁には、パイプに設けられたねじ孔に固定するためのねじ溝５３が形成されている。そして、第２筒部５２における第１筒部５１との連結端には、メタルダイアフラム６０を固定するための、環状の固定面５２ａが設けられている。この固定面５２ａと第１柱部１１の端部１１ａとがメタルダイアフラム６０とリングウェルド６１とを介して対向している。なお、第２筒部５２における第１筒部５１との連結端が、特許請求の範囲に記載の、第２ハウジングにおけるメタルダイアフラムの固定部位に相当する。

第１筒部５１における第２筒部５２から離れた端部は、かしめられて、第１柱部１１における第２柱部１２との連結端側に折れ曲がっており、このかしめられて折れ曲がった部位（以下、かしめ部５４と示す）によって、第１柱部１１（第１ハウジング１０）が固定面５２ａ側に押し付けられている。

図１及び図２に示すように、第１筒部５１における、第１柱部１１の側面１１ｂとの対向部位５５には、貫通孔５６が形成されており、この貫通孔５６が、第１柱部１１の側面１１ｂと対向部位５５との間の隙間（以下、単に隙間と示す）と連通されている。本実施形態では、２つの貫通孔５６が対向部位５５に形成されており、これら２つの貫通孔５６は、中心線の周方向に、等間隔で形成されている。別の表現を用いれば、２つの貫通孔５６は、図２に示すように、中心線を介して互いに対向するように形成されている。また、貫通孔５６の形成位置と第３の溝１７の形成位置とが、同一平面状に位置しており、貫通孔５６と第３の溝１７とが互いに対向している。これにより、貫通孔５６と第３の溝１７とが連通している。上記した、貫通孔５６、隙間、及び、第３の溝１７それぞれは、樹脂５７によって満たされている。樹脂５７はシリコーン樹脂から成り、第１柱部１１の側面１１ｂと第１筒部５１の対向部位５５との間に位置する。

メタルダイアフラム６０は、圧力流体の圧力を、圧力媒体１６を介してセンサ素子２０に伝達する機能を果たす。メタルダイアフラム６０は、円盤状を成し、その平面が波打った形状（コルゲート形状）を成している。メタルダイアフラム６０の端部における、固定面５２ａとの対向面の全周囲は、環状の固定面５２ａに溶接接合されており、これによって、圧力流体が外部に漏れることが抑制されている。

リングウェルド６１は、環状を成し、その表面が平らになっている。この平らな表面と、第２の溝１４を構成する壁面との間に、Ｏリング６２が挟持されている。この構成により、圧力検出室１５がＯリング６２によってシール（気密封止）されている。なお、Ｏリング６２は、特許請求の範囲に記載の環状のシール部材に相当する。

次に、本実施形態に係る圧力センサ１００の製造方法を説明する。先ず、センサ素子２０が固定され、センサ素子２０とターミナル３０とが電気的に接続された第１ハウジング１０、及び、メタルダイアフラム６０とリングウェルド６１とが溶接接合された第２ハウジング５０を用意する。以上が準備工程である。

準備工程後、第１ハウジング１０（第１柱部１１）の端部１１ａを鉛直上方に向けた状態で、第１の溝１３に圧力媒体１６を注入し、第２の溝１４にＯリング６２を設ける。以上が設置工程である。

設置工程後、第１柱部１１を第１筒部５１の中空に挿入することで、圧力検出室１５を構成すると共に、圧力検出室１５をＯリング６２によって囲む。以上が挿入工程である。

挿入工程後、第１筒部５１における第２筒部５２とは反対側の端部を、第１柱部１１における第２柱部１２との連結端側に折れ曲がるようにかしめて、かしめ部５４を形成する。これによって、第１ハウジング１０の第１柱部１１が固定面５２ａ側に押し付けられ、第１ハウジング１０と第２ハウジング５０とが固定される。また、Ｏリング６２が、リングウェルド６１と、第２の溝１４を構成する壁面との間に挟持され、圧力検出室１５がＯリング６２によってシールされる。以上が、かしめ工程である。

かしめ工程後、貫通孔５６を介して、隙間に樹脂５７を注入する。注入された樹脂５７は、先ず、第３の溝１７に沿って、第１柱部１１の全周に流れる。その後、樹脂５７は、環状を成す第３の溝１７に交差する方向に位置する隙間に流れ込む。これにより、隙間が樹脂５７によって満たされ、Ｏリング６２が外部環境に晒されなくなる。以上が、注入工程である。

注入工程後、組み付けられた第１ハウジング１０と第２ハウジング５０とを真空室に入れることで、樹脂５７に混入したガスを抜く。以上が、ガス抜き工程である。

ガス抜き工程後、樹脂５７を固化する。以上が、固化工程である。上記各工程を経ることで、本実施形態に係る圧力センサ１００が製造される。なお、上記した挿入工程と、かしめ工程とが、特許請求の範囲に記載の組み付け工程に含まれる。

次に、本実施形態に係る圧力センサ１００の作用効果を説明する。上記したように、貫通孔５６、側面１１ｂと対向部位５５との間の隙間、及び、第３の溝１７それぞれは、樹脂５７によって満たされている。したがって、Ｏリング６２が外部環境に晒されないので、Ｏリング６２の劣化が抑制され、圧力媒体１６の漏れが抑制される。また、上記した隙間が気体によって満たされた構成とは異なり、外部温度の上昇による気体の膨張によって、圧力検出室１５の圧力が上昇することが抑制される。更に言えば、外部温度の変動によって、膨張した隙間の気体が、Ｏリング６２を介して圧力検出室１５に流入した結果、圧力検出室１５に気泡が生じることが抑制される。以上、示したように、本実施形態に係る圧力センサ１００によれば、Ｏリング６２の劣化による圧力媒体１６の漏れ、気体の膨張による圧力検出室１５の圧力の上昇、及び、気体の圧力検出室１５への流入による圧力検出室１５での気泡の発生が抑制され、これらに起因する圧力の検出精度の低下が抑制される。

なお、外部温度が上昇した場合、樹脂５７も気体と同様に膨張する。しかしながら、樹脂５７は、第１柱部１１の側面１１ｂと第１筒部５１の対向部位５５との間に位置しており、圧力検出室１５をシールするＯリング６２は、第１柱部１１の端部１１ａに形成された第２の溝１４に位置している。これによれば、樹脂５７とＯリング６２とは隣接していないので、樹脂５７が膨張したとしても、その膨張による圧力がＯリング６２に印加され難く、したがって、圧力検出室１５に印加され難い。このように、本実施形態では、樹脂５７が膨張したとしても、圧力検出室１５の圧力が変動し難くなっている。

本実施形態では、対向部位５５に、２つの貫通孔５６が形成されている。これによれば、対向部位に１つの貫通孔が形成された構成と比べて、隙間への樹脂５７の充填が容易となる。

本実施形態では、２つの貫通孔５６は、中心線の周方向に、等間隔で形成されている。例えば、周方向における、貫通孔の隣接間隔が不定の場合、局所的に、隣接間隔の長い場所が生じる。この場合、隣接間隔の長い場所の両端に位置する２つの貫通孔から注入された樹脂が、その隣接間隔の中間（貫通孔を介して注入された樹脂が流れ着く最も遠い場所）に流れ着くことが困難となり、その中間に位置する、第１ハウジングと第２ハウジングとの隙間への樹脂の充填が困難となる。

これに対して、本実施形態では、周方向における、貫通孔５６の隣接間隔が一定となっているので、その隣接間隔の中間と貫通孔５６との距離も一定となっている。これによれば、貫通孔５６から注入された樹脂５７の隣接間隔の中間への流動が困難となることが抑制され、その中間に位置する隙間への樹脂５７の充填が困難となることが抑制される。

本実施形態では、第１柱部１１の側面１１ｂには、中心線を囲むように、環状を成す第３の溝１７が形成されており、第３の溝１７と貫通孔５６とが連通している。これによれば、樹脂５７の注入圧力を強めなくとも、第３の溝１７に沿って、側面１１ｂの全周に、樹脂５７を充填することができる。したがって、樹脂５７の注入圧力を、第３の溝１７に交差する方向に位置する隙間に樹脂５７を注入する程度とすることができる。これに対して、第３の溝がない場合、樹脂の注入圧力は、中心線の周方向、及び、その周方向に交差する交差方向に位置する隙間に樹脂を注入する程度となる。このように、本実施形態の構成の場合、第３の溝がない構成と比べて、樹脂５７の注入圧力が低くなるので、予期しない場所に樹脂５７が流動することが抑制される。

本実施形態では、かしめ工程後に、注入工程を実施している。このように、樹脂５７を注入する前に、第１ハウジング１０と第２ハウジング５０とを固定しておくことで、樹脂５７の注入圧力によって、第１ハウジング１０と第２ハウジング５０との固定位置がずれたり、圧力媒体１６が漏れる、などの不具合が生じることが抑制される。

本実施形態では、注入工程後に、ガス抜き工程を実施している。これによれば、樹脂５７に混入したガスが膨張収縮した結果、圧力検出室１５に余分な圧力が印加されることが抑制される。

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上記した実施形態になんら制限されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々変形して実施することが可能である。

本実施形態では、２つの貫通孔５６が対向部位５５に形成された例を示した。しかしながら、貫通孔５６の数としては上記例に限定されず、例えば、６つの貫通孔５６が対向部位５５に形成された構成を採用することもできる。この構成の場合、例えば、３つの貫通孔５６を、樹脂５７を注入するための貫通孔とし、残り３つの貫通孔５６を、隙間にある気体を抜くための貫通孔とすることで、樹脂５７が回り易くなり、充填が容易となる。ただ、上記変形例の場合においても、貫通孔５６は、中心線の周方向に等間隔に形成された構成が好ましい。

本実施形態では、かしめ工程後に注入工程を実施した例を示した。しかしながら、挿入工程後に注入工程を実施し、注入工程後にかしめ工程を実施しても良い。

なお、具体的な構成は省略するが、樹脂５７に混合したガスを抜くためのガス抜き穴を第１柱部１１に形成しても良い。

１０・・・第１ハウジング
１７・・・第３の溝
２０・・・センサ素子
３０・・・ターミナル
５０・・・第２ハウジング
５６・・・貫通孔
５７・・・樹脂
１００・・・圧力センサ

Claims (10)

1. センサ素子とターミナルとが固定された第１ハウジングと、メタルダイアフラムを有する第２ハウジングとが組み合わされて成る圧力センサであって、
   前記第２ハウジングは筒状を成し、その中空が、前記メタルダイアフラムによって、前記第１ハウジングを収容する収容空間と、被検出対象である圧力流体を導入する導入空間とに区切られており、
   前記第１ハウジングは柱状を成し、前記メタルダイアフラム側の端部に、前記センサ素子と前記ターミナルの一部とが設けられた第１の溝と、環状のシール部材が設けられた第２の溝とが形成され、前記第１の溝の全周囲が、前記第２の溝によって囲まれており、
   前記第１の溝及び前記メタルダイアフラムによって圧力検出室が構成され、
   前記圧力検出室は、前記メタルダイアフラムに作用する前記圧力流体の圧力を前記センサ素子に伝達する圧力媒体で満たされており、
   前記第２ハウジングにおける前記収容空間側の端部は、前記第１ハウジングに対してかしめられており、該かしめられた部位によって、前記第１ハウジングが前記シール部材を介して前記第２ハウジングにおける前記メタルダイアフラムの固定部位に押し付けられており、
   前記第２ハウジングにおける前記収容空間を区画する部位であって、前記第１ハウジングの側面と対向する対向部位に、前記収容空間と外部とを連通する貫通孔が少なくとも１つ形成され、
   前記収容空間の一部であって、前記シール部材によって前記圧力検出室と区切られた、前記第１ハウジングの側面と前記第２ハウジングの対向部位との間の隙間には、前記貫通孔を介して注入された樹脂が満たされていることを特徴とする圧力センサ。
2. 前記貫通孔は前記第２ハウジングに複数形成されており、
   複数の前記貫通孔の少なくとも１つは、前記隙間に樹脂を注入するための貫通孔であり、
   複数の前記貫通孔の他の少なくとも１つは、前記隙間から気体を抜くための貫通孔であることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
3. 複数の前記貫通孔は、前記第２ハウジングの中心軸の周方向に沿って、等間隔に形成されていることを特徴とする請求項２に記載の圧力センサ。
4. 前記第１ハウジングの側面には、前記第１ハウジングの中心軸を囲む環状の第３の溝が形成されており、
   前記第３の溝と前記貫通孔とが連通していることを特徴とする請求項１〜３いずれか１項に記載の圧力センサ。
5. 前記第１ハウジングは、前記第２ハウジングの中空に設けられる第１柱部と、前記第１柱部における、前記メタルダイアフラムから離れた端部に連結され、前記第２ハウジングから露出した第２柱部と、を有し、
   前記第１柱部の径は、前記第２柱部の径よりも長くなっており、
   前記第２ハウジングにおける第１ハウジング側の端部が、前記第１柱部における前記メタルダイアフラムから離れた端部側に折れ曲がるようにかしめられていることを特徴とする請求項１〜４いずれか１項に記載の圧力センサ。
6. 請求項１〜５いずれか１項に記載の圧力センサの製造方法であって、
   前記第１ハウジングと前記第２ハウジングとを組み付ける組み付け工程と、
   該組み付け工程後、前記貫通孔を介して、前記第１ハウジングの側面と前記第２ハウジングの対向部位との間の隙間に樹脂を注入することで、前記隙間を前記樹脂によって充填する注入工程と、を有することを特徴とする圧力センサの製造方法。
7. 前記組み付け工程は、前記第１ハウジングを前記第２ハウジングの中空に挿入する挿入工程と、該挿入工程後、前記第２ハウジングにおける前記第１ハウジング側の端部をかしめるかしめ工程と、を有することを特徴とする請求項６に記載の圧力センサの製造方法。
8. 前記注入工程後、固定された前記第１ハウジングと前記第２ハウジングとを真空室に入れることで、前記樹脂に混入したガスを抜くガス抜き工程を有することを特徴とする請求項７に記載の圧力センサの製造方法。
9. 前記組み付け工程は、前記第１ハウジングを前記第２ハウジングの中空に挿入する挿入工程であることを特徴とする請求項６に記載の圧力センサの製造方法。
10. 前記注入工程後、前記第２ハウジングにおける前記第１ハウジング側の端部をかしめるかしめ工程を実施し、
    前記かしめ工程後、固定された前記第１ハウジングと前記第２ハウジングとを真空室に入れることで、前記樹脂に混入したガスを抜くガス抜き工程を有することを特徴とする請求項９に記載の圧力センサの製造方法。

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