JP2009192362A - 圧力センサ - Google Patents

Abstract

【課題】水蒸気が圧力検出室内に侵入することを抑制し、センサ素子からのセンサ出力が変動することを防止する。
【解決手段】かしめ部３６とコネクタケース１０との間に、ハウジング３０とコネクタケース１０との間の隙間を通じて水分が浸入することを防止するための防水・防湿構造体３７を備える。これにより、水蒸気が圧力検出室４０内に侵入することを抑制できる。このため、センサ素子２０からのセンサ出力が変動してしまうことを防止することが可能となる。
【選択図】図１

Description

本発明は、センサ素子を収納する圧力検出室をコネクタケースとハウジングとを組み付けることにより形成し、この圧力検出室をコネクタケースとハウジングとにより挟まれた部材で気密封止するようにした圧力センサに関するものである。

従来より、センサ素子を搭載したコネクタケースをハウジングに形成した凹部に収容し、ハウジングの凹部の開口端をかしめることで、コネクタケースとハウジングとを一体に組みつけた圧力センサが開示されている（例えば、特許文献１参照）。この圧力センサでは、センサ素子が直接測定媒体に曝されないように、メタルダイアフラムで覆われた圧力検出室内にセンサ素子を収容し、メタルダイアフラムに加えられた圧力がセンサ素子に伝達されるように、圧力検出室内を圧力伝達部材となるオイルで充填させている。そして、圧力検出室内に充填されたオイルがコネクタケースとメタルダイアフラムとの間の隙間を通じて漏れないように、これらの間に圧力検出室を囲むように耐オイル性を有するシリコーンゴム等で構成されたＯリングを配置し、圧力検出室を気密封止している。

このような圧力センサでは、メタルダイヤフラムに圧力が印加されると、圧力検出室内を充填するオイルを介してセンサ素子に圧力が印加され、センサ素子が圧力に応じたセンサ信号を出力することで圧力の検出が行われる。
特開２０００−３２９６３３号公報

しかしながら、上記した圧力センサでは、ハウジングのうちコネクタケースが収容される凹部の開口端をかしめることにより、ハウジングとコネクタケースとを一体に組付けているため、コネクタケースとハウジングとの間の隙間等による空気室が形成されることになる。このため、この空気室内に水が浸入することがある。例えば、圧力センサの使用環境が高温から常温に変化したときに結露水が発生すると、空気室内の圧力がセンサ外部よりも低くなっているため、容易に空気室に吸い込まれることになる。そして、圧力センサの使用環境が再び常温から高温に変化すると、空気室内に引き込まれた水滴が水蒸気へと変化する。このとき、圧力検出室の圧力が空気室の圧力より低いと、オイル封止のみを考慮したＯリングの水蒸気透過性が高いため、空気室内の水蒸気が圧力検出室に侵入し、圧力検出室内の圧力を変動させ、センサ素子からのセンサ出力を変動させてしまうという問題がある。

本発明は上記点に鑑みて、水蒸気が圧力検出室内に侵入することを抑制し、センサ素子からのセンサ出力が変動してしまうことを防止できる圧力センサを提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、第１のケース（１０）には、先端面（１０ａ）と対向する面であって、第２のケース（３０）との固定を行うための固定面（１０ｂ）が備えられ、第２のケース（３０）には第１のケース（１０）を先端面（１０ａ）側から収容し、底面が一面（３０ｂ）とされた収容凹部（３０ａ）が備えられ、該収容凹部（３０ａ）の端部が固定面（１０ｂ）側にかしめられたかしめ部（３６）により、第２のケース（３０）と第１のケース（１０）とが一体的に固定され、かしめ部（３６）と固定面（１０ｂ）との間に、第１のケース（１０）と第２のケース（３０）との間の隙間を通じて水分が浸入することを防止するための防水・防湿構造体（３７）が備えられていることを特徴としている。

このように、かしめ部（３６）と固定面（１０ｂ）との間に、第１のケース（１０）と第２のケース（３０）との間の隙間を通じて水分が浸入することを防止するための防水・防湿構造体（３７）を備えてある。このため、水蒸気が圧力検出室（４０）内に侵入することを抑制できる。これにより、センサ素子（２０）からのセンサ出力が変動してしまうことを防止することが可能となる。

例えば、請求項２に示されるように、防水・防湿構造体（３７）は円環状で構成され、かしめ部（３６）と固定面（１０ｂ）との間においてかしめ部（３６）にて押し潰されて固定される。

このような防水・防湿構造体（３７）としては、請求項３に示すように、固定面（１０ｂ）側が該固定面（１０ｂ）から離れる側よりも径が大きくされた段付き形状のものを用いることができる。この場合、請求項４に示すように、防水・防湿構造体（３７）のうち大径の部分の外径を収容凹部（３０ａ）の内径と等しくし、防水・防湿構造体（３７）のうち小径の部分の外径をかしめ部（３６）の端部の内径と等しくすることができる。

また、請求項５に示すように、防水・防湿構造体（３７）を断面四角形の円環状とすることもできる。この場合、請求項６に示すように、かしめ部（３６）が第１のケース（１０）を第２のケース（３０）に収容する方向に対して傾斜した状態とされていても良い。

請求項７に記載の発明では、防水・防湿構造体（３７）は、かしめ部（３６）の開口部側に位置する第１層（３７ａ）と、第１層（３７ａ）よりも固定面（１０ｂ）側に位置する第２層（３７ｂ）と、第２層（３７ｂ）よりも固定面（１０ｂ）側に位置する第３層（３７ｃ）とを有する積層構造にて構成され、第１〜第３層（３７ａ〜３７ｂ）がそれぞれ異なる材質にて構成されていることを特徴としている。このように、防水・防湿構造体（３７）を複数層の積層構造にて構成することができる。

この場合において、請求項８〜１０に示すように、第１層（３７ａ）が気体のみを通過する材質、第２層（３７ｂ）が水を吸収する材質、第３層（３７ｃ）が気体を透過しない材質にて構成されるようにすると好ましい。

このような構造とすれば、第１層（３７ａ）にて水の侵入を防止すると共に、第２層（３７ｂ）にて仮に水が浸入したとしてもそれを吸収し、さらに第２層（３７ｂ）にて吸収された水が蒸発しても、第３層（３７ｃ）にて圧力検出室（４０）側に浸入することを防止しつつ、第１層（３７ａ）を透過してセンサ外に放出させることが可能となる。これにより、かしめ部（３６）と固定面（１０ｂ）との間の隙間を通じて圧力検出室（４０）内に水や水蒸気が浸入することを更に防止でき、より一層上記効果を得ることが可能となる。

なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。

（第１実施形態）
本発明の一実施形態が適用された圧力センサについて説明する。図１に、本実施形態にかかる圧力センサＳ１の断面図を示し、この図に基づいて説明する。なお、この圧力センサＳ１は、例えば、自動車に搭載され自動車のエアコンの冷媒配管内の冷媒圧力やディーゼル車の排気洗浄フィルタであるＤＰＦの差圧計測等の検出に用いられる。

図１に示されるように、第１のケースとしてのコネクタケース１０は、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）やＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）等の樹脂を型成形することにより作られ、本実施形態では略円柱状をなしている。この樹脂ケースとしてのコネクタケース１０の一端部（図１中、下方側の端部）には、円形状の凹部１１が形成されている。この凹部１１の中心位置の底面には、圧力検出用のセンシング部としてのセンサ素子２０が配設されている。

センサ素子２０は、その表面に受圧面としてのダイアフラム２０ａを有し、このダイアフラム２０ａの表面に形成されたゲージ抵抗により、ダイアフラム２０ａが受けた圧力を電気信号に変換し、この電気信号をセンサ信号として出力する半導体ダイアフラム式のものである。そして、センサ素子２０は、ガラス等よりなる台座２１に陽極接合等により一体化されており、この台座２１を凹部１１の底面に接着することで、センサ素子２０はコネクタケース１０に搭載されている。

また、コネクタケース１０には、センサ素子２０と外部の回路等とを電気的に接続するための複数個の金属製棒状のターミナル１２が貫通している。本実施形態では、ターミナル１２は黄銅（真鍮）にメッキ処理（例えばＮｉメッキ）を施した材料よりなり、インサートモールドによりコネクタケース１０と一体に成形されることによってコネクタケース１０内にて保持されている。

各ターミナル１２の一端側（図１中、下方端側）の端部は、センサ素子２０の搭載領域の周囲において凹部１１の底面から突出して配置されている。一方、各ターミナル１２の他端側（図１中、上方端側）の端部は、コネクタケース１０の他端側の開口部１５内に露出している。この凹部１１内に突出する各ターミナル１２の一端部とセンサ素子２０とは、金やアルミニウム等のボンディングワイヤ１３により結線され電気的に接続されている。

また、凹部１１内にはシリコン系樹脂等からなるシール剤１４が設けられており、このシール剤１４によって、凹部１１に突出するターミナル１２の根元部とコネクタケース１０との隙間が封止されている。

一方、図１において、コネクタケース１０の他端部（図１中、上方側の端部）側は開口部１５となっており、この開口部１５は、ターミナル１２の他端側を例えばワイヤハーネス等の外部配線部材（図示せず）を介して上記外部回路（車両のＥＣＵ等）に電気的に接続するためのコネクタ部となっている。

つまり、開口部１５内に露出する各ターミナル１２の他端側は、このコネクタ部によって外部と電気的に接続が可能となっている。こうして、センサ素子２０と外部との間の信号の伝達は、ボンディングワイヤ１３およびターミナル１２を介して行われるようになっている。

また、図１に示されるように、コネクタケース１０の一端側には、第２のケースとしてのハウジング３０が組み付けられている。具体的には、ハウジング３０には収容凹部３０ａが形成されており、この収容凹部３０ａ内にコネクタケース１０の一端側が挿入されることで、コネクタケース１０にハウジング３０が組みつけられた構成となっている。これにより、第１のケースとしてのコネクタケース１０と第２のケースとしてのハウジング３０とが一体に組み付けられてなるケーシング１００が構成されており、このケーシング１００内にセンサ素子２０が設けられた形となっている。

このハウジング３０は、例えばアルミニウム（Ａｌ）等の金属材料よりなるものであり、測定対象物から測定媒体となる流体が導入される圧力導入孔３１と、圧力導入孔３１におけるセンサ素子２０側の端部が断面テーパ状（ラッパ形状）に広げられることで形成された部屋３２と、圧力センサＳ１を測定対象物に固定するためのネジ部３３とを有する。上述したように、測定対象物としては、たとえば自動車エアコンの冷媒配管などであり、測定媒体は、その冷媒配管内の冷媒などである。

さらに、コネクタケース１０の先端面１０ａとハウジング３０における収容凹部３０ａのうちコネクタケース１０の先端面１０ａと対向する一面３０ｂ、換言すれば収容凹部３０ａの底面との間に、薄い金属（たとえばＳＵＳ等）製のメタルダイアフラム３４と金属（たとえばＳＵＳ等）製のリングウェルド（押さえ部材）３５が配置されている。

ハウジング３０の一面３０ｂとリングウェルド３５は、全周にわたって例えば溶接等によって気密接合されている。リングウェルド３５はハウジング３０の内壁面の湾曲に沿って屈曲した形状を為している。リングウェルド３５とメタルダイアフラム３４は予め溶接によって、もしくは、リングウェルド３５をハウジング３０に溶接するときに、全周が気密接合された状態となっている。

そして、図１に示されるように、ハウジング３０のうち収容凹部３０ａ側の開口端がコネクタケース１０の一端部にかしめられることで、かしめ部３６が形成され、かしめ部３６がコネクタケース１０の固定面１０ｂを押さえ付けることによって、ハウジング３０とコネクタケース１０とが固定され一体化されている。このかしめ部３６とコネクタケース１０との間には、ハウジング３０とコネクタケース１０との間の隙間を通じて水分が浸入することを防止するための防水・防湿構造体３７が備えられている。

図２（ａ）、（ｂ）は、防水・防湿構造体３７の単体構造を示した拡大正面図および拡大断面図である。防水・防湿構造体３７は、図２（ａ）に示されるようにリング状で構成されており、図２（ｂ）に示されるように外径が変化させられた段付き形状とされている。具体的には、防水・防湿構造体３７のうちコネクタケース１０の固定面１０ｂと接する側は大径とされ、固定面１０ｂと同等径、つまりハウジング３０における収容凹部３０ａの内径と同等径とされている。そして、防水・防湿構造体３７のうちコネクタケース１０の固定面１０ｂと反対側が小径とされ、かしめ部３６の端部（収容凹部３０ａの開口端が折り曲げられた後の先端）の内径と同等サイズとされている。

この防水・防湿構造体３７は、例えば防水・防湿機能を有するシリカゲル等により構成されており、防水・防湿構造体３７にて撥水もしくは水分を吸収することにより、かしめ部３６と固定面１０ｂとの間の隙間を通じて水や水蒸気が浸入することを防止できるようになっている。

このようにして組み合わせられたコネクタケース１０とハウジング３０とにおいて、コネクタケース１０の凹部１１とハウジング３０のメタルダイアフラム３４との間で、圧力検出室４０が構成されている。

この圧力検出室４０には、圧力伝達媒体であり封入液であるオイル（フッ素オイル等）４１が充填され封入されている。このオイル４１により、凹部１１に配置されたセンサ素子２０及びワイヤ１３等の電気接続部分が覆われる。そして、オイル４１は、メタルダイアフラム３４により覆われて封止された形となる。

このような圧力検出室４０を構成することにより、圧力導入孔３１から導入された圧力は、メタルダイアフラム３４、オイル４１を介して、圧力検出室４０内のセンサ素子２０、ボンディングワイヤ１３、ターミナル１２に印加されることになる。

また、コネクタケース１０の先端面１０ａに、圧力検出室４０の外周を囲むように、環状の溝（Ｏリング溝）４２が形成され、この溝４２内には、圧力検出室４０を気密封止するためのＯリング４３が配設されている。このＯリング４３は例えばシリコンゴム等の弾性材料よりなり、コネクタケース１０とハウジング３０とにより挟まれて押圧されている。こうして、メタルダイアフラム３４とＯリング４３とにより圧力検出室４０が封止され閉塞される。以上のような構造により、本実施形態の圧力センサＳ１が構成されている。

次に、本実施形態の圧力センサＳ１の製造方法について、図３に示す圧力センサＳ１の製造工程図を参照して説明する。

〔図３（ａ）に示す工程〕
まず、ターミナル１２がインサート成形されたコネクタケース１０を用意し、先端面１０ａ側が上を向くように配置する。そして、シリコン系樹脂等よりなる接着剤を用いて、コネクタケース１０の凹部１１の中心位置にセンサ素子２０を台座２１を介し接着固定する。

次に、凹部１１内へシール剤１４を注入し、シール剤１４を、凹部１１の底面まで行き渡らせる。ここで、シール剤１４がセンサ素子２０の表面に付着しないように、注入量を調整する。この後、注入したシール剤１４を硬化させる。そして、ワイヤボンディングを行って、各ターミナル１２の一端部とセンサ素子２０とをボンディングワイヤ１３で結線し、電気的に接続する。また、コネクタケース１０の外周に防水・防湿構造体３７を嵌め込み、防水・防湿構造体３７を固定面１０ｂと接するように配置する。

その後、コネクタケース１０の上方から、ディスペンサ等によりフッ素オイル等よりなるオイル４１を、凹部１１へ一定量注入する。

〔図３（ｂ）に示す工程〕
続いて、メタルダイアフラム３４とリングウェルド３５をハウジング３０の一面３０ｂの上に設置したのち、リングウェルド３５の上方から溶接を行うことで、リングウェルド３５およびメタルダイアフラム３４とハウジング３０とを接合する。

次に、メタルダイアフラム３４およびリングウェルド３５と共にハウジング３０を上から水平を保ったまま、コネクタケース１０に嵌合するように降ろす。そして、この状態のものを真空室に入れて真空引きを行い圧力検出室４０内の余分な空気を除去する。

その後、コネクタケース１０の先端面とハウジング３０の一面３０ｂとが十分接するまで押さえることによって、メタルダイアフラム３４とＯリング４３によってシールされた圧力検出室４０が形成される。

〔図３（ｃ）に示す工程〕
最後に、ハウジング３０の端部をコネクタケース１０の一端側にかしめることにより、かしめ部３６を形成する。図４は、このときのかしめ部３６近傍の様子を示した部分拡大断面図である。この図に示されるように、かしめ部３６を形成する際のかしめにより、防水・防湿構造体３７を押し潰してかしめ部３６と防水・防湿構造体３７とが隙間無く密着させることができる。これにより、ハウジング３０のかしめ部３６とコネクタケース１０の固定面１０ｂとの間に防水・防湿構造体３７を挟み込むように固定でき、かつ、これらの間の隙間を防水・防湿構造体３７によって隙間無く埋め込む込むことが可能となる。こうして、ハウジング３０とコネクタケース１０とを一体化することにより、かしめ部３６によるコネクタケース１０とハウジング３０との組み付け固定がなされる。このようにして、図１に示される圧力センサＳ１が完成する。

かかる圧力センサＳ１の基本的な圧力検出動作について述べる。

圧力センサＳ１は、たとえば、ハウジング３０のネジ部３３を介して、車両におけるエアコンの冷媒配管系の適所に取り付けられる。そして、該配管内の圧力がハウジング３０の圧力導入孔３１より圧力センサＳ１内に導入される。すると、導入された圧力がメタルダイアフラム３４から圧力検出室４０内のオイル４１を介して、センサ素子２０の表面すなわち受圧面に印加される。そして、印加された圧力に応じた電気信号がセンサ信号として、センサ素子２０から出力される。

このセンサ信号は、センサ素子２０からワイヤ１３、ターミナル１２を介して、上記外部回路へ伝達され、冷媒配管の冷媒圧力が検出される。このようにして、圧力センサＳ１における圧力検出が行われる。

以上説明した本実施形態の圧力センサＳ１においては、かしめ部３６とコネクタケース１０との間に、ハウジング３０とコネクタケース１０との間の隙間を通じて水分が浸入することを防止するための防水・防湿構造体３７を備えてある。このため、水蒸気が圧力検出室４０内に侵入することを抑制できる。これにより、センサ素子２０からのセンサ出力が変動してしまうことを防止することが可能となる。

（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサＳ１は、第１実施形態に対して防水・防湿構造体３７の構造を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、異なる部分についてのみ説明する。

図５（ａ）、（ｂ）は、本実施形態の圧力センサＳ１における防水・防湿構造体３７の拡大正面図および拡大断面図である。本実施形態の圧力センサＳ１では、図５（ａ）、（ｂ）に示されるように、防水・防湿構造体３７の外形形状は第１実施形態と同様であるが、防水・防湿構造体３７を積層構造としてあるという点が異なっている。具体的には、防水・防湿構造体３７は第１〜第３層３７ａ〜３７ｃを有する３層構造とされている。

防水・防湿構造体３７のうち小径とされた部分、つまり、かしめ部３６の開口部側に位置する部分が第１層３７ａとされ、気体のみ透過する材質、例えばシリコーンゴム等で構成されている。また、防水・防湿構造体３７で大径とされた部分のうち固定面１０ｂと反対側（第１層３７ａよりも固定面１０ｂ側）に位置する部分が第２層３７ｂとされ、水を吸収する材質、例えばシリカゲル等で構成されている。さらに、防水・防湿構造体３７で大径とされた部分のうち固定面１０ｂ側（第２層３７ｂよりも固定面１０ｂ側）に位置する部分が第３層３７ｃとされ、気体を透過しない材質、例えばブチルゴム等で構成されている。

このような構造により、第１層３７ａにて水の侵入を防止すると共に、第２層３７ｂにて仮に水が浸入したとしてもそれを吸収し、さらに第２層３７ｂにて吸収された水が蒸発しても、第３層３７ｃにて圧力検出室４０側に浸入することを防止しつつ、第１層３７ａを透過してセンサ外に放出させることが可能となる。これにより、かしめ部３６と固定面１０ｂとの間の隙間を通じて圧力検出室４０内に水や水蒸気が浸入することを更に防止でき、第１実施形態と同様の効果をより一層得ることが可能となる。

（第３実施形態）
本発明の第３実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサＳ１も、第１実施形態に対して防水・防湿構造体３７の構造を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、異なる部分についてのみ説明する。

図６は、本実施形態にかかる圧力センサＳ１の断面図であり、図７（ａ）、（ｂ）は、本実施形態の圧力センサＳ１における防水・防湿構造体３７の拡大正面図および拡大断面図、図８は、ハウジング３０の端部をコネクタケース１０の一端側にかしめたときのかしめ部３６近傍の様子を示した部分拡大断面図である。

本実施形態の圧力センサＳ１では、図６に示すようにかしめ部３６が傾斜した状態となっており、この傾斜したかしめ部３６の内面とコネクタケース１０の固定面１０ｂとの間に防水・防湿構造体３７が固定されている。

図７（ａ）、（ｂ）に示されるように、防水・防湿構造体３７の外形形状を断面四角形となる円環状とし、第１実施形態のような段付き形状としていない。このため、かしめの際に、かしめ部３６にて防水・防湿構造体３７の外周上方端部を押し潰してかしめ部３６と防水・防湿構造体３７とが隙間無く密着させると、図８に示すように、かしめ部３６が傾斜した状態となる。

このように、防水・防湿構造体３７の外形形状を断面四角形となる円環状としても良く、このような構造としても第１実施形態と同様の効果を得ることができる。

（他の実施形態）
上記実施形態では、防水・防湿構造体３７の外形形状を段差形状としたり、断面四角形とする場合について説明したが、防水・防湿構造体３７が第３実施形態で示したかしめ部３６にて押し潰された後の形状、つまり防水・防湿構造体３７のうちかしめ部３６にて押し潰される部分が傾斜面となった形状であっても良い。

さらに、上記実施形態では、防水・防湿構造体３７を構成する材質の一例を挙げたが、防水・防湿機能を有する他の材質を採用しても構わない。また、第１のケースとなるコネクタケース１０や第２のケースとなるハウジング３０の材質などについても、それぞれ樹脂や金属というように限定されるものではなく、適宜変更可能である。

また、センサ素子２０は、上記したダイアフラムが受けた圧力を電気信号に変換し、この電気信号をセンサ信号として出力する半導体ダイヤフラム式のものに限定されるものではない。

本発明の第１実施形態にかかる圧力センサの断面図である。 （ａ）は、防水・防湿構造体の拡大正面図、（ｂ）は、防水・防湿構造体の拡大断面図である。 図１に示す圧力センサの製造工程図である。 ハウジングの端部をコネクタケースの一端側にかしめたときのかしめ部近傍の様子を示した部分拡大断面図である。 本発明の第２実施形態にかかる圧力センサに備えられる防水・防湿構造体を示した図であり、（ａ）は拡大正面図、（ｂ）は拡大断面図である。 本発明の第３実施形態にかかる圧力センサの断面図である。 （ａ）は、防水・防湿構造体の拡大正面図、（ｂ）は、防水・防湿構造体の拡大断面図である。 ハウジングの端部をコネクタケースの一端側にかしめたときのかしめ部３６近傍の様子を示した部分拡大断面図である。

符号の説明

１０ コネクタケース
１０ａ 先端面
１０ｂ 固定面
１１ 凹部
２０ センサ素子
３０ ハウジング
３１ 圧力導入孔
３４ メタルダイアフラム
３５ リングウェルド
３６ かしめ部
３７ 防水・防湿構造体
４０ 圧力検出室
４１ オイル
４２ 溝
４３ Ｏリング
Ｓ１ 圧力センサ

Claims (10)

1. 第１のケース（１０）と測定媒体が導入される圧力導入孔（３１）が形成された第２のケース（３０）とを一体に組み付けてなるケーシング（１００）と、
   該ケーシング（１００）内に備えられた圧力検出用のセンサ素子（２０）と、
   前記第１のケース（１０）の先端面（１０ａ）と前記第２のケース（３０）の一面（３０ｂ）との間に配置されたメタルダイアフラム（３４）と、
   前記ダイアフラム（３４）と前記第１のケース（１０）の間に形成される圧力検出室（４０）内に充填された流体からなる圧力伝達媒体（４１）と、
   前記センサ素子（２０）に電気的に接続されるターミナル（１２）と、
   前記センサ素子（２０）と前記ターミナル（１２）との電気的接続を行うワイヤ（１３）と、を有し、
   前記第２ケース（３０）の前記圧力導入孔（３１）を通じて前記測定媒体が導入されることで、前記測定媒体の圧力を前記メタルダイアフラム（３４）および前記圧力伝達媒体（４１）を介して前記センサ素子（２０）に伝え、圧力検出を行うように構成された圧力センサであって、
   前記第１のケース（１０）には、前記先端面（１０ａ）と対向する面であって、前記第２のケース（３０）との固定を行うための固定面（１０ｂ）が備えられ、
   前記第２のケース（３０）には前記第１のケース（１０）を前記先端面（１０ａ）側から収容し、底面が前記一面（３０ｂ）とされた収容凹部（３０ａ）が備えられ、該収容凹部（３０ａ）の端部が前記固定面（１０ｂ）側にかしめられたかしめ部（３６）により、前記第２のケース（３０）と前記第１のケース（１０）とが一体的に固定され、
   前記かしめ部（３６）と前記固定面（１０ｂ）との間に、前記第１のケース（１０）と前記第２のケース（３０）との間の隙間を通じて水分が浸入することを防止するための防水・防湿構造体（３７）が備えられていることを特徴とする圧力センサ。
2. 前記防水・防湿構造体（３７）は円環状で構成されており、前記かしめ部（３６）と前記固定面（１０ｂ）との間において前記かしめ部（３６）にて押し潰されて固定されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
3. 前記防水・防湿構造体（３７）は前記固定面（１０ｂ）側が該固定面（１０ｂ）から離れる側よりも径が大きくされた段付き形状とされていることを特徴とする請求項２に記載の圧力センサ。
4. 前記防水・防湿構造体（３７）のうち大径の部分の外径は前記収容凹部（３０ａ）の内径と等しくされており、前記防水・防湿構造体（３７）のうち小径の部分の外径が前記かしめ部（３６）の端部の内径と等しくされていることを特徴とする請求項３に記載の圧力センサ。
5. 前記防水・防湿構造体（３７）は断面四角形の円環状とされていることを特徴とする請求項２に記載の圧力センサ。
6. 前記かしめ部（３６）は前記第１のケース（１０）を前記第２のケース（３０）に収容する方向に対して傾斜していることを特徴とする請求項５に記載の圧力センサ。
7. 前記防水・防湿構造体（３７）は、前記かしめ部（３６）の開口部側に位置する第１層（３７ａ）と、前記第１層（３７ａ）よりも前記固定面（１０ｂ）側に位置する第２層（３７ｂ）と、前記第２層（３７ｂ）よりも前記固定面（１０ｂ）側に位置する第３層（３７ｃ）とを有する積層構造にて構成され、前記第１〜第３層（３７ａ〜３７ｂ）がそれぞれ異なる材質にて構成されていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１つに記載の圧力センサ。
8. 前記第１層（３７ａ）が気体のみを通過する材質にて構成されていることを特徴とする請求項７に記載の圧力センサ。
9. 前記第２層（３７ｂ）が水を吸収する材質にて構成されていることを特徴とする請求項７または８に記載の圧力センサ。
10. 前記第３層（３７ｃ）が気体を透過しない材質にて構成されていることを特徴とする請求項７ないし９のいずれか１つに記載の圧力センサ。

Images