JP2014081271A - 圧力センサ - Google Patents

Abstract

【課題】圧力検出室内に水蒸気が浸入することを抑制できる圧力センサを提供する。
【解決手段】メタルダイヤフラム７１とコネクタケース１０の一面１０ａとの間にコネクタケース１０の一面１０ａのうち溝１４を取り囲む領域と接触する状態で配置され、Ｏリング８０よりも水蒸気の透過性が低い閉塞部材９０を配置する。そして、Ｏリング８０をコネクタケース１０とハウジング５０とのかしめによるかしめ圧で押し潰すことで圧力検出室１００を封止し、閉塞部材９０のうちコネクタケース１０の一面１０ａにおける溝１４を取り囲む領域と接触する領域をコネクタケース１０とハウジング５０とのかしめによるかしめ圧で押し潰すことにより、コネクタケース１０のうち収容凹部５１に収容される部分と収容凹部５１を構成する壁面との間に形成された空間６０に対して、溝１４を仕切る。
【選択図】図１

Description

本発明は、圧力検出室に圧力伝達媒体が充填されてなる圧力センサに関するものである。

従来より、センサ部を搭載したコネクタケースとハウジングとがかしめ固定によって一体に組みつけられてなる圧力センサが提案されている。

この圧力センサでは、コネクタケースの一面に形成された凹部にセンサ部が搭載されており、ハウジングには収容凹部が形成されている。そして、コネクタケースとハウジングとは、ハウジングの収容凹部にコネクタケースの一面側が挿入され、収容凹部の開口端部がコネクタケースにかしめられることで一体に組みつけられている。

コネクタケースの一面とハウジングとの間には、センサ部が測定媒体に直接曝されないようにメタルダイヤフラムが備えられており、当該メタルダイヤフラムとコネクタケースに形成された凹部とによって囲まれる空間にて圧力検出室が構成されている。そして、この圧力検出室内には、センサ部を覆うように圧力伝達媒体としてのオイルが充填されている。

また、コネクタケースの一面には凹部を囲むように環状の溝が形成されており、この溝に耐オイル性を有するＯリングが配置されている。そして、このＯリングがコネクタケースとハウジングとのかしめによるかしめ圧で押し潰されることで圧力検出室が封止されている。

しかしながら、このような圧力センサでは、コネクタケースとハウジングとはかしめにより一体化されているために、コネクタケースのうち収容凹部に収容されている部分の側面とハウジングの収容凹部の側面との間には空間が形成される。そして、この空間がコネクタケースとハウジングにおける収容凹部の開口端部との間の隙間を介して外部と連通される。このため、外部から隙間を介してＯリングに水蒸気が達してしまうことがある。この場合、Ｏリングは水蒸気の透過性が高いために圧力検出室内に水蒸気が浸入し、圧力検出室の内圧が変動して検出精度が低下してしまう。

この問題を解決するため、例えば、特許文献１には、コネクタケースとハウジングの開口端部との隙間を封止するシール剤を備える圧力センサが提案されている。

特開２００９−１９２３６２号公報

しかしながら、上記特許文献１の圧力センサでは、次のような問題がある。すなわち、ハウジングの開口端部をかしめる際には、通常、治具を用いて行うが、治具の油が開口端部やコネクタケースに付着することがある。この場合、治具の油によってシール剤の密着力が低下し、シール剤が剥離してしまうことがあるという問題がある。

また、ハウジングの開口端部をかしめる際に、開口端部やコネクタケースに塵等の異物が付着すると、この異物によってシール剤の塗布ムラが発生する可能性がある。つまり、コネクタケースと開口端部とを確実に封止することができない場合がある。

さらに、シール剤は外部環境に曝されるため、使用環境によってはシール剤が破壊されてしまう可能性もある。

本発明は上記点に鑑みて、圧力検出室内に水蒸気が浸入することを抑制できる圧力センサを提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、測定媒体の圧力に応じたセンサ信号を出力するセンサ部（２０）と、一面（１０ａ）に凹部（１１）が形成され、凹部にセンサ部が備えられるコネクタケース（１０）と、コネクタケースの一面に凹部を囲む状態で形成された枠状の溝（１４）に配置されたＯリング（８０）と、収容凹部（５１）が形成され、収容凹部にコネクタケースの一面側が挿入されて収容凹部における開口端部がコネクタケースにかしめられることにより、コネクタケースと一体に組み付けられるハウジング（５０）と、コネクタケースの一面とハウジングにおける収容凹部の底面との間に配置され、測定媒体の圧力が印加されるメタルダイヤフラム（７１）と、メタルダイヤフラムとコネクタケースの一面との間にコネクタケースの一面のうち溝を取り囲む領域と接触する状態で配置され、Ｏリングよりも水蒸気の透過性が低い閉塞部材（９０）と、凹部を含む空間を圧力検出室（１００）としたとき、圧力検出室内に充填される圧力伝達媒体（１０１）と、センサ部と電気的に接続され、外部への電気的な接続を行うターミナル（１３）と、ターミナルとセンサ部とを電気的に接続するワイヤ（４０）と、を備え、以下の点を特徴としている。

すなわち、圧力検出室は、Ｏリングがコネクタケースとハウジングとのかしめによるかしめ圧で押し潰されることで封止されており、溝は、閉塞部材のうちコネクタケースの一面における溝を取り囲む領域と接触する領域がコネクタケースとハウジングとのかしめによるかしめ圧で押し潰されることにより、コネクタケースのうち収容凹部に収容される部分と収容凹部を構成する壁面との間に形成された空間（６０）に対して仕切られていることを特徴としている。

これによれば、閉塞部材は、Ｏリングより水蒸気の透過性が低くされているため、水蒸気が溝（Ｏリング）に達することを抑制でき、圧力検出室内に水蒸気が浸入することを抑制できる。このため、圧力検出室の内圧が変動することを抑制でき、検出精度が低下することを抑制できる。

この場合、請求項２に記載の発明のように、閉塞部材は、絶縁性フィルムで構成され、凹部および溝を閉塞する状態でメタルダイヤフラムとコネクタケースの一面との間に配置されており、閉塞部材とメタルダイヤフラムとの間の空間と、圧力検出室とが区画されているものとすることができる。

これによれば、ワイヤがメタルダイヤフラムと接触してショートすることを抑制できる。

また、請求項４に記載の発明では、測定媒体の圧力に応じたセンサ信号を出力するセンサ部（２０）と、一面（１０ａ）に凹部（１１）が形成され、凹部にセンサ部が備えられるコネクタケース（１０）と、収容凹部（５１）が形成され、収容凹部にコネクタケースの一面側が挿入されて収容凹部における開口端部がコネクタケースにかしめられることにより、コネクタケースと一体に組み付けられるハウジング（５０）と、コネクタケースの一面とハウジングにおける収容凹部の底面との間に配置され、測定媒体の圧力が印加されるメタルダイヤフラム（７１）と、収容凹部の底面上にメタルダイヤフラムを介して配置され、メタルダイヤフラムの外縁部と共にハウジングに接合される環状のリングウェルドと、凹部およびメタルダイヤフラムで囲まれる空間を圧力検出室（１００）としたとき、圧力検出室内に充填される圧力伝達媒体（１０１）と、センサ部と電気的に接続され、外部への電気的な接続を行うターミナル（１３）と、ターミナルとセンサ部とを電気的に接続するワイヤ（４０）と、を備え、以下の点を特徴としている。

すなわち、コネクタケースの一面とリングウェルドとの間には、金属で構成され、リングウェルドとの間でメタルタッチシールされるメタルリング（１１０）が配置されており、メタルリングとコネクタケースとの間の界面は、シール剤（３０）にて覆われていることを特徴としている。

このように、メタルリングを用いて圧力検出室を封止しても、メタルリングは金属で構成されていてリングよりも水蒸気の透過性が低いため、圧力検出室内に水蒸気が浸入することを抑制できる。そして、圧力検出室の内圧が変動することを抑制でき、検出精度が低下することを抑制できる。

なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。

本発明の第１実施形態における圧力センサの断面構成を示す図である。 本発明の第２実施形態における圧力センサの断面構成を示す図である。 図２中のメタルリングの斜視図であり、（ａ）はコネクタケース側の斜視図、（ｂ）はハウジング側の斜視図である。 本発明の第３実施形態における圧力センサの断面構成を示す図である。

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付して説明を行う。

（第１実施形態）
本発明の第１実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、本実施形態の圧力センサは、例えば、燃料供給パイプ内の圧力の検出に用いられると好適である。

図１に示されるように、圧力センサにはコネクタケース１０が備えられており、このコネクタケース１０は、例えば、耐熱樹脂材料であるＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等の樹脂を型成形することにより作られている。そして、このコネクタケース１０には、一端部の一面１０ａに凹部１１が形成され、他端部に開口部１２が形成されている。

凹部１１には、図示しないシリコーン系接着剤等を介してセンサ部２０が備えられている。このセンサ部２０は、センサチップ２１とガラス等で構成される台座２２とを有し、これらセンサチップ２１と台座２２とが陽極接合されて構成されている。

センサチップ２１は、例えば、ダイヤフラム２１ａが形成され、このダイヤフラム２１ａに図示しないブリッジ回路を構成するようにゲージ抵抗が形成された周知のものが用いられる。すなわち、センサチップ２１は、ダイヤフラム２１ａに圧力が印加されるとゲージ抵抗の抵抗値が変化してブリッジ回路の電圧が変化し、この電圧の変化に応じてセンサ信号を出力する半導体ダイヤフラム式のものである。

また、コネクタケース１０には、本実施形態では、センサ部２０（センサチップ２１）と外部回路等とを電気的に接続するための３本の金属製棒状のターミナル１３が備えられており（図１中では２本のみ図示）、各ターミナル１３はインサートモールドによりコネクタケース１０と一体に成形されることによってコネクタケース１０内に保持されている。

具体的には、各ターミナル１３はコネクタケース１０を貫通するように保持されており、各ターミナル１３のうち一端部はコネクタケース１０から凹部１１内に突出し、他端部はコネクタケース１０から開口部１２内に突出している。そして、凹部１１には、凹部１１に突出しているターミナル１３とコネクタケース１０との隙間を封止するシリコーン系樹脂等で構成されるシール剤３０が配置されている。

凹部１１内に突出する各ターミナル１３の一端部は、ボンディングワイヤ４０を介してセンサ部２０（センサチップ２１）と電気的に接続されている。また、開口部１２内に突出している各ターミナル１３の他端部は、図示しないワイヤハーネス等の外部配線部材を介して外部回路と電気的に接続されるようになっている。

そして、このコネクタケース１０にハウジング５０が組みつけられている。具体的には、ハウジング５０には収容凹部５１が形成されており、この収容凹部５１内にコネクタケース１０の一端部が挿入されている。そして、ハウジング５０の開口端部５２がコネクタケース１０の一端部にかしめられることでコネクタケース１０とハウジング５０とが組みつけられている。

なお、コネクタケース１０のうち収容凹部５１に収容されている部分の側面と、ハウジング５０のうち収容凹部５１の側面との間には、空間６０が形成されている。そして、この空間６０は、コネクタケース１０とハウジング５０の開口端部５２との間の隙間を介して外部と連通される。つまり、空間６０に外部から水蒸気が浸入することが可能となっている。

ハウジング５０は、例えば、ＳＵＳ等の金属材料よりなるものであり、測定媒体を導入するための圧力導入孔５３が形成されている。また、ハウジング５０には、圧力センサを測定対象物に固定するためのネジ部５４が圧力導入孔５３の外周壁面に形成されている。

コネクタケース１０の一面１０ａと、収容凹部５１の底面との間には、ＳＵＳ等からなる円形のメタルダイヤフラム７１とメタルダイヤフラム７１の外縁部分に配置されるＳＵＳ等からなる環状のリングウェルド７２とが備えられている。

具体的には、メタルダイヤフラム７１およびリングウェルド７２は、ハウジング５０に対してレーザ溶接等されて固定されている。そして、収容凹部５１の底面には、ハウジング５０、メタルダイヤフラム７１およびリングウェルド７２が溶け合った溶接部７３が形成されている。

なお、メタルダイヤフラム７１のうち外縁部分はリングウェルド７２と共にハウジング５０に対して固定される部分であり、メタルダイヤフラム７１の内縁部分は測定媒体の圧力に応じて変位するダイヤフラム部として機能する部分である。

また、コネクタケース１０の一面１０ａには、凹部１１を囲むように環状の溝１４が形成されており、この環状の溝１４には、例えば、シリコーンゴム等からなるＯリング８０が備えられている。このＯリング８０は、コネクタケース１０とハウジング５０とのかしめによるかしめ圧で押し潰される。

そして、コネクタケース１０の一面１０ａとリングウェルド７２との間には、凹部１１および溝１４を閉塞する円形の閉塞部材９０が配置されており、凹部１１および閉塞部材９０にて囲まれる空間にて圧力検出室１００が構成される。そして、この圧力検出室１００にはフッ素オイル等の圧力伝達媒体１０１が充填されている。また、閉塞部材９０は、コネクタケース１０の一面１０ａにおける溝１４を取り囲む領域と接触する領域がかしめ圧で押し潰されている。言い換えると、閉塞部材９０は、溝１４（Ｏリング８０）と対向する領域よりも外縁側の領域がコネクタケース１０とハウジング５０とのかしめによるかしめ圧で押し潰されている。

つまり、圧力検出室１００は、Ｏリング８０がかしめ圧で押し潰されることで封止されている。そして、溝１４は、閉塞部材９０のうちコネクタケース１０の一面１０ａにおける溝１４を取り囲む領域と接触する領域がかしめ圧で押し潰されることにより、空間６０に対して仕切られている。言い換えると、溝１４と空間６０とが連通されていない。

この閉塞部材９０は、Ｏリング８０より水蒸気の透過性が低いもので構成され、本実施形態では、さらに絶縁性であるポリイミド等の絶縁フィルムを用いて構成されている。また、メタルダイヤフラム７１と閉塞部材９０との間の空間は圧力検出室１００と区画されており、真空圧とされている。

以上が本実施形態における圧力センサの構成である。次に上記圧力センサの製造方法について説明する。

まず、ターミナル１３がインサート成形されると共に上記構成のコネクタケース１０を用意する。そして、コネクタケース１０の凹部１１に接着剤等を介してセンサ部２０を搭載する。

次に、コネクタケース１０のうち凹部１１が形成された一面１０ａを上に向けた状態で凹部１１内へシール剤３０を注入し、シール剤３０を凹部１１の底面に行き渡らせた後に硬化する。このとき、シール剤３０がセンサ部２０（センサチップ２１）の表面に付着しないように注入量を調整する。

その後、ワイヤボンディングを行い、センサ部２０（センサチップ２１）と各ターミナル１３の一端部とをボンディングワイヤ４０を介して電気的に接続する。次に、溝１４にＯリング８０を配置する。

また、メタルダイヤフラム７１をハウジング５０の収容凹部５１の底面に配置すると共にリングウェルド７２を収容凹部５１に圧入する。次に、リングウェルド７２の上方から溶接等を行うことにより、リングウェルド７２とメタルダイヤフラム７１とハウジング５０とを接合する。

続いて、圧力伝達媒体１０１をディスペンサ等によって凹部１１内へ注入する。そして、この状態のものを真空室にいれて、凹部１１内の余分な空気を除去する。次に、凹部１１および溝１４が閉塞されるように、コネクタケース１０の一面１０ａに閉塞部材９０を配置する。

そして、真空室内でハウジング５０を上から水平に保ったままハウジング５０の収容凹部５１にコネクタケース１０が嵌合するように降ろす。このとき、コネクタケース１０の一面１０ａと閉塞部材９０とが十分接するまで押さえる。これにより、凹部１１および閉塞部材９０で囲まれる空間にて圧力検出室１００が構成され、圧力検出室１００に圧力伝達媒体１０１が充填された構造となる。なお、メタルダイヤフラム７１と閉塞部材９０との間の空間は真空圧となる。

その後、ハウジング５０の開口端部５２をコネクタケース１０にかしめることにより、コネクタケース１０とハウジング５０とを一体化する。以上説明したようにして本実施形態の圧力センサが製造される。

次に、上記圧力センサの検出作動について簡単に説明する。

上記圧力センサは、例えば、ハウジング５０に形成されたネジ部５４を介して、上述のように車両における燃料供給パイプ等に取り付けられる。そして、燃料供給パイプ内の圧力がハウジング５０の圧力導入孔５３から圧力センサ内に導入される。

これにより、導入された圧力がメタルダイヤフラム７１から圧力検出室１００内の圧力伝達媒体１０１を介して、センサ部２０に印加され、センサ部２０から圧力に応じたセンサ信号が出力される。そして、このセンサ信号がボンディングワイヤ４０、ターミナル１３を介して、外部回路へ伝達されることにより、圧力の検出が行われる。

以上説明したように、本実施形態では、閉塞部材９０のうちコネクタケース１０の一面１０ａにおける溝１４を取り囲む領域と接触する領域がかしめ圧で押し潰されており、溝１４と空間６０とが完全に仕切られている。そして、閉塞部材９０は、Ｏリング８０より水蒸気の透過性が低いもので構成されている。このため、溝１４（Ｏリング８０）に水蒸気が達することを抑制でき、圧力検出室１００内に水蒸気が浸入することを抑制できる。したがって、圧力検出室１００の内圧が変動することを抑制でき、検出精度が低下することを抑制できる。

また、従来の圧力センサでは、ボンディングワイヤ４０がメタルダイヤフラム７１と接触してショートする懸念があったが、本実施形態では、閉塞部材９０は、絶縁性フィルムで構成されており、メタルダイヤフラム７１とボンディングワイヤ４０との間に配置されている。このため、ボンディングワイヤ４０がメタルダイヤフラム７１と接触してショートすることを抑制できる。なお、閉塞部材９０は、絶縁性フィルムで構成されているため、ボンディングワイヤ４０が閉塞部材９０に接触しても特に問題はない。

さらに、メタルダイヤフラム７１は、圧力が印加されるとコネクタケース１０側に変位するが、従来の圧力センサと比較して、閉塞部材９０と接触するために変位し難くなっている。つまり、上記圧力センサでは、メタルダイヤフラム７１がコネクタケース１０側に変位し難くなるため、検出レンジを広くすることができ、高い圧力を検出するのに利用することも可能である。

（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態は、上記第１実施形態に対して、Ｏリング８０および閉塞部材９０の代わりに、メタルリングにて圧力検出室１００を封止するものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。

図２に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、コネクタケース１０とリングウェルド７２との間にメタルリング１１０が配置されている。そして、コネクタケース１０には、一面１０ａに溝１４が形成されておらず、Ｏリング８０も配置されていない。なお、本実施形態では、このメタルリング１１０は、インサートモールドによりコネクタケース１０と一体に成形されることによってコネクタケース１０に保持されている。

メタルリング１１０は、ＳＵＳ材等の金属を用いて構成されており、Ｏリング８０よりも水蒸気の透過性が低い。そして、図２および図３に示されるように、コネクタケース１０の一面１０ａと対向する一面１１１ａおよびリングウェルド７２と対向する他面１１１ｂを有し、中央部に貫通孔１１１ｃが形成された環状の円板部１１１と、この円板部１１１の一面１１１ａに備えられ、貫通孔１１１ｃを囲んで一面１１１ａの法線方向に突出し、内径が貫通孔１１１ｃの直径と等しくされた円筒状の上面凸部１１２と、円板部１１１の他面１１１ｂに備えられ、他面１１１ｂの法線方向に突出する円筒状の下面凸部１１３とを有している。なお、本実施形態では、円板部１１１が本発明の板状部材に相当している。

そして、上面凸部１１２が凹部１１の側壁に沿って配置されており、凹部１１内において上面凸部１１２の先端とコネクタケース１０との間の界面（隙間）がシール剤３０によって覆われている。また、下面凸部１１３は、リングウェルド７２とメタルタッチシールされている。このようにして本実施形態では、圧力検出室１００が封止されている。

なお、本実施形態では、圧力検出室１００は凹部１１およびメタルダイヤフラム７１で囲まれる空間にて構成されている。

以上説明したように、メタルリング１１０を用いて圧力検出室１００を封止してなる圧力センサとしても、メタルリング１１０はＯリング８０よりも水蒸気の透過性が低いため、圧力検出室１００に水蒸気が浸入することを抑制できる。

（第３実施形態）
本発明の第３実施形態について説明する。本実施形態は、上記第２実施形態に対して、メタルリング１１０の構成を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。

図４に示されるように、本実施形態では、メタルリング１１０は、貫通孔１１１ｃが第２実施形態より大きくされており、上面凸部１１２が形成されていない。そして、メタルリング１１０とコネクタケース１０との間の界面は、収容凹部５１に挿入されているコネクタケース１０の側面において、シール剤３０にて覆われている。

このような圧力センサとしても、圧力検出室１００が封止されるため、上記第２実施形態と同様の効果を得ることができる。

なお、このような圧力センサでは、コネクタケース１０と収容凹部５１の開口端部５２との間の隙間を介して、コネクタケース１０の側面に配置されたシール剤３０が外部環境に曝される。しかしながら、シール剤３０は収容凹部５１内に配置されているため、従来のコネクタケースとハウジングの開口端部との隙間を封止するシール剤を備える圧力センサと比較して、シール剤３０は破壊され難い。

（他の実施形態）
上記第１実施形態において、閉塞部材９０は、Ｏリング８０と対向する領域の膜厚に対して当該領域より外縁側の領域の膜厚が厚くされているものとしてもよい。これによれば、閉塞部材９０は、Ｏリング８０と対向する領域より外縁側の領域が確実に押し潰されるため、より溝１４と空間６０とを仕切ることができる。

そして、上記第１実施形態において、閉塞部材９０には、メタルダイヤフラム７１と閉塞部材９０との間の空間と、凹部１１と閉塞部材９０との間の空間が連通するように、貫通孔が形成されていてもよい。つまり、閉塞部材９０は、コネクタケース１０の一面１０ａのうち溝１４を取り囲む領域と接触する状態で配置され、この領域と接触する部分がかしめ圧で押し潰されるものであればよい。また、閉塞部材９０は、絶縁性のものでなくてもよい。これらのような圧力センサとしても、溝１４が空間６０に対して仕切られていることにより、圧力検出室１００内に水蒸気が浸入することを抑制できる。

また、上記第２実施形態において、メタルリング１１０をコネクタケース１０と一体に成形せず、メタルリング１１０の上面凸部１１２を圧入によりコネクタケース１０に備えるようにしてもよい。

１０ コネクタケース
１１ 凹部
１３ ターミナル
１４ 溝
２０ センサ部
５０ ハウジング
５１ 収容凹部
５２ 開口端部
７１ メタルダイヤフラム
７２ リングウェルド
８０ Ｏリング
９０ 閉塞部材
１００ 圧力検出室
１０１ 圧力伝達媒体

Claims (7)

1. 測定媒体の圧力に応じたセンサ信号を出力するセンサ部（２０）と、
   一面（１０ａ）に凹部（１１）が形成され、前記凹部に前記センサ部が備えられるコネクタケース（１０）と、
   前記コネクタケースの一面に前記凹部を囲む状態で形成された枠状の溝（１４）に配置されたＯリング（８０）と、
   収容凹部（５１）が形成され、前記収容凹部に前記コネクタケースの一面側が挿入されて前記収容凹部における開口端部が前記コネクタケースにかしめられることにより、前記コネクタケースと一体に組み付けられるハウジング（５０）と、
   前記コネクタケースの一面と前記ハウジングにおける前記収容凹部の底面との間に配置され、前記測定媒体の圧力が印加されるメタルダイヤフラム（７１）と、
   前記メタルダイヤフラムと前記コネクタケースの一面との間に前記コネクタケースの一面のうち前記溝を取り囲む領域と接触する状態で配置され、前記Ｏリングよりも水蒸気の透過性が低い閉塞部材（９０）と、
   前記凹部を含む空間を圧力検出室（１００）としたとき、前記圧力検出室内に充填される圧力伝達媒体（１０１）と、
   前記センサ部と電気的に接続され、外部への電気的な接続を行うターミナル（１３）と、
   前記ターミナルと前記センサ部とを電気的に接続するワイヤ（４０）と、を備え、
   前記圧力検出室は、前記Ｏリングが前記コネクタケースと前記ハウジングとのかしめによるかしめ圧で押し潰されることで封止されており、
   前記溝は、前記閉塞部材のうち前記コネクタケースの一面における前記溝を取り囲む領域と接触する領域が前記コネクタケースと前記ハウジングとのかしめによるかしめ圧で押し潰されることにより、前記コネクタケースのうち前記収容凹部に収容される部分と前記収容凹部を構成する壁面との間に形成された空間（６０）に対して仕切られていることを特徴とする圧力センサ。
2. 前記閉塞部材は、絶縁性フィルムで構成され、前記凹部および前記溝を閉塞する状態で前記メタルダイヤフラムと前記コネクタケースの一面との間に配置されており、
   前記閉塞部材と前記メタルダイヤフラムとの間の空間と、前記圧力検出室とが区画されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
3. 前記閉塞部材は、前記Ｏリングと対向する領域の膜厚に対して当該領域より外縁側の領域の膜厚が厚くされていることを特徴とする請求項２に記載の圧力センサ。
4. 測定媒体の圧力に応じたセンサ信号を出力するセンサ部（２０）と、
   一面（１０ａ）に凹部（１１）が形成され、前記凹部に前記センサ部が備えられるコネクタケース（１０）と、
   収容凹部（５１）が形成され、前記収容凹部に前記コネクタケースの一面側が挿入されて前記収容凹部における開口端部が前記コネクタケースにかしめられることにより、前記コネクタケースと一体に組み付けられるハウジング（５０）と、
   前記コネクタケースの一面と前記ハウジングにおける前記収容凹部の底面との間に配置され、前記測定媒体の圧力が印加されるメタルダイヤフラム（７１）と、
   前記収容凹部の底面上に前記メタルダイヤフラムを介して配置され、前記メタルダイヤフラムの外縁部と共に前記ハウジングに接合される環状のリングウェルドと、
   前記凹部および前記メタルダイヤフラムで囲まれる空間を圧力検出室（１００）としたとき、前記圧力検出室内に充填される圧力伝達媒体（１０１）と、
   前記センサ部と電気的に接続され、外部への電気的な接続を行うターミナル（１３）と、
   前記ターミナルと前記センサ部とを電気的に接続するワイヤ（４０）と、を備え、
   前記コネクタケースの一面と前記リングウェルドとの間には、金属で構成され、前記リングウェルドとの間でメタルタッチシールされるメタルリング（１１０）が配置されており、
   前記メタルリングと前記コネクタケースとの間の界面は、シール剤（３０）にて覆われていることを特徴とする圧力センサ。
5. 前記メタルリングは、前記コネクタケースの一面と前記リングウェルドとの間に配置される環状の板状部材（１１１）と、前記板状部材に備えられ、前記凹部の側壁に沿った上面凸部（１１２）と、を有しており、前記凹部内において、前記コネクタケースとの間の界面が前記シール剤にて覆われていることを特徴とする請求項４に記載の圧力センサ。
6. 前記メタルリングは、前記収容凹部内に挿入されている前記コネクタケースの側面において、前記コネクタケースとの間の界面が前記シール剤にて覆われていることを特徴とする請求項５に記載の圧力センサ。
7. 前記メタルリングは、前記リングウェルドと対向する一面に当該一面の法線方向に突出する下面凸部（１１３）を有し、前記下面凸部が前記リングウェルドとの間で押し潰されることでメタルタッチシールされていることを特徴とする請求項４ないし６のいずれか１つに記載の圧力センサ。
   
   

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