WO2019093054A1 - 圧力センサ - Google Patents

Abstract

本発明は、大気側のＯリングやパッキングを使用することなく、防水性及び気密性を高めるために封止接着剤（１３６）を使用し、更にこの封止接着剤（１３６）の封入する方向を一方向とし、作業性を改善することができる圧力センサ（１００）を提供することを目的とする。圧力センサ（１００）において、継手（１１１）、ロアカバー（１１２）、圧力検出部（１２０）、及び、ケース部（１３５）のいずれかの組み合わせにより、保護カバーが構成される。保護カバーは、外周を形成する側壁と、側壁の圧力室側に底部とを有し、保護カバーの底部に対向する側の開口部（１３５Ａ）には封止接着剤（１３６）が封入され、信号送出部（１３０）の防水性及び気密性を維持する。

Description

圧力センサ

　本発明は、圧力センサに関し、特に防水性及び気密性が要求される圧力センサに関する。

　流体圧検出用の圧力センサとして、冷凍、冷蔵、空調機器用の冷媒用圧力センサ等のように、防水性及び気密性が要求される圧力センサが従来から知られている。

　このような圧力センサとして、従来から、図９に示すオイル封入型圧力センサ９００、及び、図１０に示す静電容量検出型圧力センサ１０００が知られている。以下、これら従来の圧力センサ９００、１０００について説明する。

　図９において、従来のオイル封入型圧力センサ９００は、圧力導入部９１０と、圧力検出部９２０と、信号送出部９３０とを備える。

　圧力導入部９１０は、配管に接続され、圧力検出されるべき冷媒などの流体を導入する継手９１１と、継手９１１に接続され、お椀形状を有するロアカバー９１２と、継手９１１、ロアカバー９１２、及び、後述するダイヤフラム９２３により区画される圧力室９１３とを備える。

　圧力検出部９２０は、主に、半導体センサチップ９２１と、液封室９２２と、ダイヤフラム９２３と、金属製のハウジング９２４等を備える。圧力検出部９２０では、配管から継手９１１を介して圧力室９１３に導入された冷媒等の流体の圧力を、ダイヤフラム９２３及び液封室９２２を介して、半導体センサチップ９２１により検出する。圧力検出部９２０の詳細な説明は、当業者に周知なため省略する。

　信号送出部９３０は、半導体センサチップ９２１に電気的に接続される接続基板９３１と、接続基板９３１に接続される結線材及びコンタクトピン等９３２と、接続基板９３１及びコンタクトピン等９３２を絶縁して保持する本体９３３と、圧力検出部９２０と接続基板９３１との間の絶縁を確保するスペーサ９３４と、圧力検出部９２０及び本体９３３の外周を固定するケース９３５と、本体９３３とケース９３５との間に挟まれ防水性を確保する大気側Ｏリング９３６とを備える。

　次に、図１０において、従来の静電容量検出型圧力センサ１０００は、圧力導入部１０１０と、圧力検出部１０２０と、信号送出部１０３０とを備える。

　圧力導入部１０１０は、保護カバー１０１１と、冷媒等の流体の圧力を受けるＯリング１０１２と、圧力室１０１３とを備える。保護カバー１０１１は、継手部１０１１ａ、圧力室凹部１０１１ｂ、ケース部１０１１ｃ、及び、かしめ部１０１１ｄを有するように一体として成形されるが、これには限定されず、継手部１０１１ａ、圧力室凹部１０１１ｂ、及び、ケース部１０１１ｃをそれぞれ別々に、又は、いずれかの組み合わせとして成形して、接着剤又は溶接等により接続してもよい。圧力室１０１３は、後述するセンサエレメント１０２１と保護カバー１０１１の圧力室凹部１０１１ｂとの間に形成される。

　圧力検出部１０２０は、静電容量検出式のセンサエレメント１０２１と、絶縁材で形成され、保護カバー１０１１のケース部１０１１ｃに配置されるスペーサ１０２２とを備える。センサエレメント１０２１では、圧力室１０１３に導入された冷媒等の流体の圧力を、電極の変動による電極間の静電容量の変化として読み取り、圧力信号として外部に送出する。センサエレメント１０２１は、主に、２枚の電極、２枚の電極間に配置される絶縁体、２枚の電極に接続されるリード線、接着剤、電極間のギャップを確保する部材などから構成されるが、詳細な説明は当業者に周知であるため省略する。

　信号送出部１０３０は、センサエレメント１０２１に電気的に接続される接続基板１０３１と、接続基板１０３１に接続される結線材及びコンタクトピン等１０３２と、接続基板１０３１及びコンタクトピン等１０３２を絶縁して保持する本体１０３３と、本体１０３３と保護カバー１０１１のケース部１０１１ｃとの間に挟まれ防水性を確保する大気側Ｏリング１０３６とを備える。

　このような従来の圧力センサ９００、１０００では、防水性及び気密性を達成するために、上述のように大気側Ｏリング９３６、１０３６、又は、その他のパッキングが使用されていた。しかしながらＯリングやパッキングによる気密構造では、水中ヒートショック、及び、凍結／解凍を繰り返すことにより、Ｏリングやパッキングの材質が収縮・膨張し、隙間が生じ水分が内部に侵入し不具合が生じるという問題があった。

特開２０１２－６８１０５号公報 特開２０１４－１６３３４号公報 特開平６－１２９９２８号公報

　特許文献１には、上述の問題を解決するために、大気側のＯリングやパッキングを使用せずに、圧力センサの開口部に第１接着剤と第２接着剤を封入して、高い気密性を維持する発明が開示されているが、第１接着剤を封入する開口部と、第２接着剤を封入する開口部の開口する方向が相対するため作業性に問題があった。

　従って、本発明は、大気側のＯリングやパッキングを使用することなく、防水性及び気密性を高めるために封止接着剤を使用し、更にこの封止接着剤の封入する方向を一方向とし、作業性を改善することができる圧力センサを提供することを目的とする。

　上述の課題を解決するために、本発明の圧力センサは、配管から流体が導入される流路、及び、圧力室が形成される継手部と、前記圧力室に導入された前記流体の圧力を検出する圧力検出部と、前記圧力検出部の前記圧力室に対向する側に配置された筒形状を有するケースと、前記ケースの内部に配置され、外部に圧力信号を送出するケーブルを含む信号送出部と、を備える圧力センサにおいて、前記継手部、前記圧力検出部、及び、前記ケースのいずれかの組み合わせにより保護カバーが構成され、前記保護カバーは外周を形成する側壁と、当該側壁の前記圧力室側に底部と、前記底部に対向する側に開口部とを有し、前記保護カバーの前記開口部には封止接着剤が封入されることを特徴とする。

　また、前記圧力検出部には、金属製のハウジングが含まれ、前記ケースが金属材料で形成され、前記ハウジングと前記ケースは略同一の外径を有し、前記圧力検出部の前記ハウジングと、前記ケースは溶接により接続されるものとしてもよい。

　また、前記保護カバーの前記開口部の端部には、ストレート構造が形成されるものとしてもよい。

　また、前記保護カバーの前記開口部の端部には、側面が内側に縮小された縮小部が形成されるものとしてもよい。

　また、前記保護カバーの前記開口部の端部には、側面が外側に拡大された拡大部が形成されるものとしてもよい。

　また、前記保護カバーは、前記継手部、及び、前記ケースが一体として金属材料で成形されるものとしてもよい。

　また、前記ケースの内側には、中央に開口を有する円環形状に形成されるかしめ用スペーサが更に設けられ、前記保護カバーを構成する前記ケースの前記封止接着剤の導入口側の端部には、内側に屈曲して、前記かしめ用スペーサに固定されるかしめ部が形成されるものとしてもよい。

　また、前記信号送出部は、前記圧力検出部にコネクタ接続、または、半田接続により接続されるものとしてもよい。

　本発明の圧力センサによれば、大気側のＯリングやパッキングを使用せずに、封止接着剤を使用して防水性及び気密性を高め、更に接着剤の封入する方向を一方向とし、作業性を改善することができる。

本発明の第１の実施形態の圧力センサとしてオイル封入型圧力センサを示す縦断面図である。 本発明の第２の実施形態の圧力センサとしてオイル封入型圧力センサを示す縦断面図である。 本発明の第３の実施形態の圧力センサとしてオイル封入型圧力センサを示す縦断面図である。 本発明の第４の実施形態の圧力センサとしてオイル封入型圧力センサを示す縦断面図である。 本発明の第５の実施形態の圧力センサとして静電容量検出型圧力センサを示す縦断面図である。 本発明の第６の実施形態の圧力センサとして静電容量検出型圧力センサを示す縦断面図である。 本発明の第７の実施形態の圧力センサとしてオイル封入型圧力センサを示す縦断面図である。 本発明の第８の実施形態の圧力センサとしてオイル封入型圧力センサを示す縦断面図である。 従来のオイル封入型圧力センサを示す縦断面図である。 従来の静電容量検出型圧力センサを示す縦断面図である。

　以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。

　尚、以下の説明における上下方向、又は、左右方向の概念は、添付の図面における上下左右に対応しており、各部材の相対的な位置関係を示すものであって、絶対的な位置関係を示すものではない。

　まず、本発明の第１の実施形態について説明する。

　図１は、本発明の第１の実施形態の圧力センサとしてオイル封入型圧力センサ１００を示す縦断面図である。

　図１において、圧力センサ１００は、圧力導入部１１０と、圧力検出部１２０と、信号送出部１３０とを備える。

　圧力導入部１１０は、配管に接続され、圧力検出されるべき冷媒等の流体を導入し、例えば真鍮等の金属材料で成形される継手１１１と、継手１１１に接続され、お椀形状を有し、例えばステンレス等の金属材料で成形されるロアカバー１１２と、継手１１１、ロアカバー１１２、及び、後述するダイヤフラム１２３により区画される圧力室１１３とを備える。ロアカバー１１２は、ここでは、後述する圧力検出部１２０の金属製のハウジング１２４と溶接等により接続されるのが望ましいが、これには限定されない。なお、継手部は、継手１１１と、ロアカバー１１２とから構成される。

　圧力検出部１２０は、主に、半導体センサチップ１２１と、オイル等が充填された液封室１２２と、上述の圧力室１１３を区画するダイヤフラム１２３と、金属製のハウジング１２４等を備える。圧力検出部１２０では、圧力室１１３に導入された冷媒等の流体の圧力を、ダイヤフラム１２３を介して、オイル等が充填された液封室１２２に配置された半導体センサチップ１２１により検出する。オイル封入型の圧力センサ１００の圧力検出部１２０の詳細な動作については、当業者に周知であり、例えば特許文献２等の記載を参照し、詳細な説明を省略する。

　信号送出部１３０は、接続基板１３１と、電気コネクタ１３２と、ケーブル１３３と、スペーサ１３４と、ケース１３５と、封止接着剤１３６とを備える。

　接続基板１３１は、圧力検出部１２０の半導体センサチップ１２１とリードピン及びワイヤボンディング等を介して電気的に接続され、電気コネクタ１３２及びケーブル１３３を介して外部に圧力検出信号を送出する。なお、接続基板１３１を特に用意せずに、半導体センサチップ１２１に内蔵されているものとしてもよい。

　電気コネクタ１３２は、接続基板１３１に実装されるレセプタクルと、ケーブル１３３に接続されレセプタクルに挿抜可能に配置されるプラグとから構成される。

　ケーブル１３３は、接続基板１３１から３本（ＶＣＣ、ＧＮＤ、ＶＯＵＴ）が外部に引き出され、半導体センサチップ１２１で検出した圧力検出信号を外部に送信する。

　スペーサ１３４は、例えば樹脂等の絶縁材で形成され、圧力検出部１２０と接続基板１３１との間に配置され接続基板１３１等の絶縁を確保する。

　ケース１３５は、円柱形状を有し圧力検出部１２０の圧力室１１３に対向する側に配置される。ケース１３５の材質としては、金属材料が使用され、金属製のハウジング１２４に溶接されるのが望ましく、特に後述する封止接着剤１３６との接着性のよい、真鍮、銅、鉄ニッケルが望ましい。ケース１３５の材料として、例えば樹脂材料等の絶縁材が使用され、圧力検出部１２０に接着剤等他の方法で固定されるものとしてもよい。ケース１３５は、圧力検出部１２０と共に、外周を形成する側壁と、側壁の圧力室側に底部と、底部に対向する側に開口部１３５Ａとを有する保護カバーを構成する。

　さらに、ケース１３５と金属製のハウジング１２４との溶接、及び、金属製のハウジング１２４とロアカバー１１２との溶接を確実にするために、溶接部に突起（プロジェクション）を全周に設けてもよい。また、上記溶接を確実に行うために、ケース１３５と金属製のハウジング１２４の外径は同一であることが望ましいが、多少の段差があっても、隣り合う部材を横方向から溶接できればよい。従来技術、例えば特許文献２に示す圧力センサでは、ハウジングとロアキャップを溶接した後、ケースを被せる工程が必要であった。この場合、継手側からの溶接において、継手の形状により溶接のトーチが溶接部に届かず、全周均一に溶接することが難しいという問題があった。また、側面から溶接した場合には、ケースを貫通してロアキャップまで溶けさせるには、溶け込みが浅くて、高圧に耐えられず、気密性を確保できないという問題もあった。上述の本発明の構造では、上述の従来技術の問題を解消できる。

　封止接着剤１３６は、ケース１３５の図１に示す上部の開口部１３５Ａから封入される。このように、封止接着剤１３６の封止方向を一方向にしたことにより、防水性及び気密性を維持しつつ、作業性を改善することができる。封止接着剤１３６の材質としては、シリコーン系、エポキシ系、ウレタン系、フッ素系、アクリル系の接着剤を使用することができる。なお、本実施形態では、ケース１３５の開口部１３５Ａの端部がストレートであり、封止接着剤１３６は、防水・気密性が維持できる程度の封止量、好ましくは、開口部１３５Ａの端部まで封入される。

　なお、本実施形態では、外装を構成する部品として、全て別部材である継手１１１、ロアカバー１１２、圧力検出部１２０のハウジング１２４、及び、ケース１３５が用意され、これらが溶接等により一体とされるものとしたが、これには限定されず、後述する図５に示すように、これら全ての形状を有し、真鍮等の金属材料で一体として成形された保護カバー５１１等を使用するものとしてもよい。

　以上のように、本発明の第１の実施形態の圧力センサ１００によれば、Ｏリングやパッキングを使用せず、防水性及び気密性を高めるために、封止接着剤１３６を使用し、更にケース１３５及び圧力検出部１２０から構成された、外周を形成する側壁と、側壁の圧力室側に底部とを有する保護カバーの開口部１３５Ａのみから、封止接着剤１３６を封入することにより、作業性を改善することができる。

　また、ハウジングとロアキャップを溶接した後にケースを被せる工程がなくなり、側面から溶接できる構造としたことにより、溶接装置の簡易化、溶接工程の時間短縮、溶接部の気密性の安定化等更に作業性を改善することができる。

　次に、本発明の第２の実施形態について説明する。

　図２は、本発明の第２の実施形態の圧力センサとしてオイル封入型圧力センサ２００を示す縦断面図である。

　図２において、圧力センサ２００は、図１に示す圧力センサ１００と比較して、信号送出部２３０のケース２３５の図２に示す上側の端部には、側面が内側に縮小された縮小部２３５ａが形成される点が異なり、その他の点は圧力センサ１００と同じである。なお、縮小部２３５ａは円柱形状には限定されず、四角柱や楕円柱等他の形状としてもよい。同様の構成要素には、同様の符号を付し、説明を省略する。

　以上のように、本発明の第２の実施形態の圧力センサ２００によれば、第１の実施形態の圧力センサ１００と同様の作用効果を奏することができる。さらに、ケース２３５内部に封入される封止接着剤１３６の量を低減することができる。

　次に、本発明の第３の実施形態について説明する。

　図３は、本発明の第３の実施形態の圧力センサとしてオイル封入型圧力センサ３００を示す縦断面図である。

　図３において、圧力センサ３００は、図１に示す圧力センサ１００と比較して、信号送出部３３０のケース３３５の図３に示す上側の端部には、側面が外側に拡大された拡大部３３５ａが形成される点が異なり、その他の点は圧力センサ１００と同じである。なお、拡大部３３５ａは円柱形状には限定されず、四角柱や楕円柱等他の形状としてもよく、一部又は複数に突起を有し、ケーブルが引っかけられる構造等としてもよい。同様の構成要素には、同様の符号を付し、説明を省略する。

　以上のように、本発明の第３の実施形態の圧力センサ３００によれば、第１の実施形態の圧力センサ１００と同様の作用効果を奏することができる。さらに、ケース３３５に結束バンド等を取り付ける場合の取付性を改善することができる。

　次に、本発明の第４の実施形態について説明する。

　図４は、本発明の第４の実施形態の圧力センサとしてオイル封入型圧力センサ４００を示す縦断面図である。

　図４において、圧力センサ４００は、図１に示す圧力センサ１００と比較して、信号送出部４３０の接続基板４３１にケーブル４３３の半田接続部４３３ａにより半田接続される点が異なり、その他の点は圧力センサ１００と同じである。同様の構成要素には、同様の符号を付し、説明を省略する。

　以上のように、本発明の第４の実施形態の圧力センサ４００によれば、第１の実施形態の圧力センサ１００と同様の作用効果を奏することができる。さらに、電気コネクタ１３２を取り除くことができ、コストダウンができる。

　次に、本発明の第５の実施形態について説明する。

　図５は、本発明の第５の実施形態の圧力センサとして静電容量検出型圧力センサ５００を示す縦断面図である。

　図５において、圧力センサ５００は、圧力導入部５１０と、圧力検出部５２０と、信号送出部５３０とを備える。

　圧力導入部５１０は、保護カバー５１１と、Ｏリング５１２と、圧力室５１３とを備える。保護カバー５１１は、ここでは、継手部５１１ａ、圧力室凹部５１１ｂ、ケース部５１１ｃ、及び、かしめ部５１１ｄを有するように一体として例えば真鍮等の金属材料で成形されるが、これには限定されず、継手部５１１ａ、圧力室凹部５１１ｂに対応するロアカバー部、及び、ケース部５１１ｃをそれぞれ別々に、又は、いずれかの組み合わせとして成形して、接着剤又は溶接等により接続してもよい。圧力室５１３は、ここでは後述するセンサエレメント５２１と保護カバー５１１の圧力室凹部５１１ｂとの間に形成される。また、Ｏリング５１２は、冷媒などのシールのために使用されるため、水中ヒートショック、及び、凍結／解凍を繰り返すなどの従来の問題は生じない。

　圧力検出部５２０は、静電容量検出式のセンサエレメント５２１と、絶縁材で形成されＯリング５１２を保持するために保護カバー５１１のケース部５１１ｃに挿入される絶縁スペーサ５２２とを備える。センサエレメント５２１では、圧力室５１３に導入された冷媒等の流体の圧力を、電極の変動による電極間の静電容量の変化として読み取り、圧力信号として外部に送出する。センサエレメント５２１は、主に、２枚の電極、２枚の電極間に配置される絶縁体、２枚の電極に接続されるリード線、接着剤、電極間のギャップを確保する部材などから構成される。静電容量検出型の圧力センサ５００の圧力検出部５２０の詳細な動作については、当業者に周知であり、例えば特許文献３等の記載を参照し、詳細な説明を省略する。

　信号送出部５３０は、接続基板５３１と、電気コネクタ５３２と、ケーブル５３３と、かしめ用スペーサ５３４と、封止接着剤５３６とを備える。

　接続基板５３１は、圧力検出部５２０のセンサエレメント５２１とリード線等を介して電気的に接続され、電気コネクタ５３２及びケーブル５３３を介して外部に圧力検出信号を送出する。

　電気コネクタ５３２は、接続基板５３１に実装されるレセプタクルと、ケーブル５３３に接続されレセプタクルに挿抜可能に配置されるプラグとから構成される。

　ケーブル５３３は、ここでは、接続基板５３１から３本（ＶＣＣ、ＧＮＤ、ＶＯＵＴ）が外部に引き出され、センサエレメント５２１で検出した圧力検出信号を外部に送信する。

　かしめ用スペーサ５３４は、保護カバー５１１のケース部５１１ｃの内側に配置され、中央に開口を有する円環形状を有するように、例えば樹脂等の絶縁材で形成される。保護カバー５１１のケース部５１１ｃの図５に示す上側の端部には、内側に屈曲したかしめ部５１１ｄが形成され、このかしめ用スペーサ５３４に固定される。このかしめ部５１１ｄのかしめ加工により絶縁スペーサ５２２及びセンサエレメント５２１を固定し、Ｏリング５１２のシール性を確実なものとさせている。

　封止接着剤５３６は、保護カバー５１１の図５に示す上部の開口部５１１Ａから封入される。このように、封止接着剤５３６の封止方向を一方向にしたことにより、防水性及び気密性を維持しつつ、作業性を改善することができる。封止接着剤５３６の材質としては、シリコーン系、エポキシ系、ウレタン系、フッ素系、アクリル系の接着剤を使用することができる。

　なお、本実施形態では、継手部５１１ａ、圧力室凹部５１１ｂ、ケース部５１１ｃ、及び、かしめ部５１１ｄを有し、一体として例えば真鍮等の金属材料で成形された保護カバー５１１を使用するものとしたが、これには限定されず、図１に示すように各部を全て別部材とし、これを溶接等により一体と形成するものとしてもよい。

　以上のように、本発明の第５の実施形態の圧力センサ５００によれば、大気側のＯリングやパッキングを使用せず、防水性及び気密性を高めるために、封止接着剤５３６を使用し、更に継手部５１１ａ、ケース部５１１ｃ等から構成された、外周を形成する側壁と、側壁の圧力室側に底部とを有する保護カバー５１１の開口部５１１Ａのみから、封止接着剤５３６を封入することにより、作業性を改善することができる。

　次に、本発明の第６の実施形態について説明する。

　図６は、本発明の第６の実施形態の圧力センサとして静電容量検出型圧力センサ６００を示す縦断面図である。

　図６において、圧力センサ６００は、図５に示す圧力センサ５００と比較して、保護カバー６１１のケース部６１１ｂの内部に、かしめ用スペーサ５３４がなく、このため、保護カバー６１１にかしめ部も形成されない点が異なり、その他の点は圧力センサ５００と同じである。同様の構成要素には、同様の符号を付し、説明を省略する。

　静電容量検出型の圧力検出部６２０は、静電容量検出式のセンサエレメント５２１と、絶縁材で形成され、Ｏリング５１２を保持するために保護カバー６１１のケース部６１１ｃに圧入される絶縁スペーサ６２２とを備える。なお、本実施形態の絶縁スペーサ６２２は、図５に示す実施形態とは異なり、かしめ用スペーサ５３４及び保護カバー５１１のかしめ部５１１ｄにより固定されることがないため、圧入により固定される。

　以上のように、本発明の第６の実施形態の圧力センサ６００によれば、第５の実施形態の圧力センサ５００と同様の作用効果を奏することができる。さらに、絶縁スペーサ６２２を保護カバー６１１のケース部６１１ｃに圧入することによりかしめ用スペーサ５３４を取り除くことができ、コストダウンができる。

　次に、本発明の第７の実施形態について説明する。

　図７は、本発明の第７の実施形態の圧力センサとしてオイル封入型圧力センサ７００を示す縦断面図である。

　図７において、圧力センサ７００は、図４に示す圧力センサ４００と比較して、ケース７３５の内部に、インナーキャップ７３８が設けられ、その内部に封止接着剤１３６が充填される点が異なり、その他の点は圧力センサ４００と同じである。同様の構成要素には、同様の符号を付し、説明を省略する。

　インナーキャップ７３８は、ケース１３５の内部に配置され、例えば樹脂等の絶縁材で形成される。インナーキャップ７３８には、圧力検出部１２０側に形成された内部空洞７３８ａと、内部空洞７３８ａと外部との間に設けられた開口部７３８ｂとが形成される。内部空洞７３８ａには、信号送出部７３０のケーブル４３３、接続基板７３１等の導電性の通電部品が配置され、開口部７３８ｂには信号送出部７３０のケーブル４３３が貫通配置される。また、インナーキャップ７３８は、図７に示すように、ケース７３５のかしめ部７３５ａによりかしめ加工で固定されるが、この形状及びこの固定方法には限定されない。

　インナーキャップ７３８の内部空洞７３８ａ及び開口部７３８ｂには封止接着剤１３６が封入される。さらに、封止接着剤７３７が、インナーキャップ７３８の外周とケース７３５のかしめ部７３５ａの内周との間の全周に亘り封入され、防水機能を維持している。なお、封止接着剤７３７は、インナーキャップ７３８の内部に配置された封止接着剤１３６と同じ材質のものを使用してもよいし、別の材質を選択してもよい。

　以上のように、本発明の第７の実施形態の圧力センサ７００によれば、第４の実施形態の圧力センサ４００と同様の作用効果を奏することができる。さらに、インナーキャップ７３８を設け、インナーキャップ７３８の内部に封止接着剤１３６を封入することにより、更に防水機能を高めることができる。

　次に、本発明の第８の実施形態について説明する。

　図８は、本発明の第８の実施形態の圧力センサとしてオイル封入型圧力センサ８００を示す縦断面図である。

　図８において、圧力センサ８００は、図１に示す圧力センサ１００と比較して、ロアカバー１１２と、圧力検出部１２０の周囲を覆う形状のケース８３５が設けられている点が異なり、その他の点は圧力センサ１００と同じである。同様の構成要素には、同様の符号を付し、説明を省略する。

　ケース８３５は、金属材料で略円柱形状に形成され、圧力導入部１１０側の端部には、内周側に屈曲されたフランジ部８３５ａが形成される。ケース８３５は、ロアカバー１１２と、金属製のハウジング１２４とが溶接により固定された後、ロアカバー１１２にフランジ部８３５ａが接触するように配置され、封止接着剤１３６の垂れ防止のため圧入により固定される。

　以上のように、本発明の第８の実施形態の圧力センサ８００によれば、第１の実施形態の圧力センサ１００と同様の作用効果を奏することができる。さらに、ロアカバー１１２と、圧力検出部１２０の周囲を覆う形状のケース８３５を設けることにより作業工数を上げることなく防水性能を高めることができる。

　以上説明したように、本発明の圧力センサによれば、大気側のＯリングやパッキングを使用せず、防水性及び気密性を高めるために、封止接着剤を使用し、更に外周を形成する側壁と、側壁の圧力室側に底部とを有する保護カバーの一方向である開口部から、封止接着剤を封入することにより、作業性を改善することができる。

　１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００　圧力センサ
　１１０、５１０、６１０　圧力導入部
　１１１　継手
　１１２　ロアカバー
　１１３、５１３、６１３　圧力室
　１２０、５２０、６２０　圧力検出部
　１２１　半導体センサチップ
　１２２　液封室
　１２３　ダイヤフラム
　１２４　ハウジング
　１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０　信号送出部
　１３１、５３１、７３１、８３１　接続基板
　１３２、５３２　電気コネクタ
　１３３、４３３、５３３　ケーブル
　１３４　スペーサ
　１３５、２３５、３３５、７３５、８３５　ケース
　１３５Ａ、２３５Ａ、３３５Ａ、５１１Ａ、６１１Ａ、７３８ｂ、８３５Ａ　開口部
　１３６、５３６、７３７　封止接着剤
　２３５ａ　縮小部
　３３５ａ　拡大部
　４３３ａ　半田接続部
　５１１、６１１　保護カバー
　５１１ａ、６１１ａ　継手部
　５１１ｂ、６１１ｂ　圧力室凹部
　５１１ｃ、６１１ｃ　ケース部
　５１１ｄ　かしめ部
　５１２、６１２　Ｏリング
　５２１、６２１　センサエレメント
　５２２、６２２　絶縁スペーサ
　５３４　かしめ用スペーサ
　７３５ａ　かしめ部
　７３８　インナーキャップ
　７３８ａ　内部空洞
　８３５ａ　フランジ部

Claims (8)

1. 　配管から流体が導入される流路、及び、圧力室が形成される継手部と、
   　前記圧力室に導入された前記流体の圧力を検出する圧力検出部と、
   　前記圧力検出部の前記圧力室に対向する側に配置された筒形状を有するケースと、
   　前記ケースの内部に配置され、外部に圧力信号を送出するケーブルを含む信号送出部と、
   　を備える圧力センサにおいて、
   　前記継手部、前記圧力検出部、及び、前記ケースのいずれかの組み合わせにより保護カバーが構成され、前記保護カバーは外周を形成する側壁と、当該側壁の前記圧力室側に底部と、前記底部に対向する側に開口部とを有し、
   　前記保護カバーの前記開口部には封止接着剤が封入されることを特徴とする圧力センサ。
2. 　前記圧力検出部には、金属製のハウジングが含まれ、
   　前記ケースが金属材料で形成され、
   　前記ハウジングと前記ケースは略同一の外径を有し、
   　前記圧力検出部の前記ハウジングと、前記ケースは溶接により接続されることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
3. 　前記保護カバーの前記開口部の端部には、ストレート構造が形成されることを特徴とする請求項２に記載の圧力センサ。
4. 　前記保護カバーの前記開口部の端部には、側面が内側に縮小された縮小部が形成されることを特徴とする請求項２に記載の圧力センサ。
5. 　前記保護カバーの前記開口部の端部には、側面が外側に拡大された拡大部が形成されることを特徴とする請求項２に記載の圧力センサ。
6. 　前記保護カバーは、前記継手部、及び、前記ケースが一体として金属材料で成形されることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
7. 　前記ケースの内側には、中央に開口を有する円環形状に形成されるかしめ用スペーサが更に設けられ、
   　前記保護カバーを構成する前記ケースの前記封止接着剤の導入口側の端部には、内側に屈曲して、前記かしめ用スペーサに固定されるかしめ部が形成されることを特徴とする請求項６に記載の圧力センサ。
8. 　前記信号送出部は、前記圧力検出部にコネクタ接続、または、半田接続により接続されることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の圧力センサ。

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