JP7252055B2 - 圧力センサ - Google Patents
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Description
以下、本発明に係る圧力センサの一実施の形態を図1および図2を参照して詳細に説明する。図1の中央部に図示されている圧力センサ1は、絶対圧発信器2のボディ3の中に設けられている。ボディ3は、図1において最も下に位置するベースボディ4と、ベースボディ4に接合されたカバーボディ5とから構成されている。ベースボディ4とカバーボディ5は、それぞれステンレス鋼によって形成されている。
このため、接着剤22が導圧パイプ21の先端に達することはないから、導圧パイプ21が接着剤22で塞がれることはない。
したがって、この実施の形態によれば、導圧路の確保と高強度接着構造とを両立させることが可能な圧力センサを提供することができる。
本発明に係る圧力センサは図3に示すように差圧発信器に搭載することができる。図3おいて最も上に位置する圧力センサ41は、差圧センサで、接着剤42を介して差圧発信器43のダイアフラムベース44に搭載されている。この実施の形態による圧力センサ41の通路形成部材45は、センサダイアフラム46によって閉塞される第1の凹部47および第2の凹部48と、これらの第1の凹部47と第2の凹部48とを連通する連通孔49とを有している。これらの第1の凹部47および第2の凹部48と、連通孔49の中は、圧力伝達媒体50で満たされている。圧力伝達媒体50は、連通孔49に接続された封入孔51から注入される。封入孔51は、通路形成部材45の一端面45aに開口し、封止材52によって閉塞されている。
したがって、この実施の形態によれば、導圧路の確保と高強度接着構造とを両立させることが可能な圧力センサ(差圧センサ)を提供することができる。
導圧パイプの周囲に毛細管現象が生じることがない広さの空間を形成するためには、図4~図9に示すように構成することができる。図4~図9において、図1および図2によって説明したものと同等の部材については、同一符号を付し、詳細は説明は省略する。
Claims (6)
- 板状に形成され、圧力を受けることにより変位するセンサダイアフラムと、
前記センサダイアフラムに接合される圧力室形成部材に設けられ、前記センサダイアフラムによって開口部が閉塞される凹部および前記凹部に開口する孔と、
一端部が前記凹部に露出するように前記孔に挿入されて接着剤によって接着され、前記センサダイアフラムへ圧力を伝達する導圧路として機能する導圧パイプと、
前記凹部内と前記導圧パイプ内とに充填され、圧力を伝達する圧力伝達媒体とを備え、
前記導圧パイプの前記一端部の周囲に空間が設けられ、
前記空間は、前記孔の開口部に形成された座繰り部によって構成され、
前記導圧パイプの前記一端部には、前記接着剤が存在しないことを特徴とする圧力センサ。 - 前記座繰り部は、前記導圧パイプの長手方向と平行に延びるように形成されていることを特徴とする、請求項1記載の圧力センサ。
- 前記圧力室形成部材は、
前記凹部と前記座繰り部とが形成された第1の部材と、
前記孔の前記座繰り部より孔径が小さい孔部が形成されて前記第1の部材に接合された第2の部材とを備えていることを特徴とする、請求項2記載の圧力センサ。 - 前記第1の部材と前記第2の部材とが異なる材料によって形成されていることを特徴とする、請求項3記載の圧力センサ。
- 前記孔の開口部は、前記凹部に向かうにしたがって内径が次第に大きくなるテーパー状に形成され、
前記空間は、前記孔の開口部と前記導圧パイプとの間に形成されていることを特徴とする、請求項1記載の圧力センサ。 - 前記導圧パイプの前記一端部は、他端側の部分より相対的に細く形成されていることを特徴とする、請求項1記載の圧力センサ。
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