JP6786469B2 - 圧力センサのシールド構造、および、それを備える圧力センサ - Google Patents
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Description
入出力端子群に電気的に接続され、ダイヤフラムに対向し導電層からなる一方の端面と、センサハウジングの内周面に支持される絶縁層からなる他方の端面と、を有する平板状の導電板の一方の端面により支持されることにより、液封室内におけるセンサチップの一方の端面とダイヤフラムとの間に配され、センサチップの信号処理電子回路部に作用する電界を遮断する電界遮断部材と、を備えて構成される。導電板が、センサユニットを収容するセンサハウジングの内周面に配され入出力端子群に電気的に接続されてもよい。導電板は、センサチップの信号処理電子回路部と同一電位であってもよい。
14、65 ハーメチックガラス
16、66 センサチップ
17、64 シールド部材
17´、48 シールド板
18、18´ チップマウント部材
19、62 導電板
32、70 ダイヤフラム
40ai、52ai 入出力端子群
56 センサハウジング
Claims (11)
- 圧力を検出し検出出力信号を送出するセンサチップと、該センサチップを支持するチップマウント部材と、該センサチップおよびチップマウント部材が配される液封室と該液封室に向き合う圧力室とを仕切るダイヤフラムと、ハーメチックガラスに支持され該センサチップに電気的に接続される入出力端子群とを含んでなるセンサユニットと、
前記入出力端子群に電気的に接続され、前記ダイヤフラムに対向し導電層からなる一方の端面と、前記ハーメチックガラスに支持される絶縁層からなる他方の端面と、を有する平板状の導電板の一方の端面により支持されることにより、前記液封室内における前記センサチップの一方の端面と前記ダイヤフラムとの間に配され、該センサチップの信号処理電子回路部に作用する電界を遮断する電界遮断部材と、
を具備して構成される圧力センサのシールド構造。 - 前記導電板が、前記ハーメチックガラスの端面に配され前記入出力端子群に電気的に接続されることを特徴とする請求項1記載の圧力センサのシールド構造。
- 前記導電板は、前記センサチップの信号処理電子回路部と同一電位であることを特徴とする請求項2記載の圧力センサのシールド構造。
- 圧力を検出し検出出力信号を送出するセンサチップと、該センサチップが配される液封室と該液封室に向き合う圧力室とを仕切るダイヤフラムと、該センサチップに電気的に接続される入出力端子群と、前記ダイヤフラムとともに前記液封室を形成するセンサハウジングと、を含んでなるセンサユニットと、
前記入出力端子群に電気的に接続され、前記ダイヤフラムに対向し導電層からなる一方の端面と、前記センサハウジングの内周面に支持される絶縁層からなる他方の端面と、を有する平板状の導電板の一方の端面により支持されることにより、前記液封室内における前記センサチップの一方の端面と前記ダイヤフラムとの間に配され、該センサチップの信号処理電子回路部に作用する電界を遮断する電界遮断部材と、
を具備して構成される圧力センサのシールド構造。 - 前記導電板が、前記センサユニットを収容するセンサハウジングの内周面に配され前記入出力端子群に電気的に接続されることを特徴とする請求項4記載の圧力センサのシールド構造。
- 前記導電板は、前記センサチップの信号処理電子回路部と同一電位であることを特徴とする請求項4記載の圧力センサのシールド構造。
- 圧力を検出し検出出力信号を送出するセンサチップと、該センサチップの外寸よりも大なる直径を有し、該センサチップを支持する金属製のチップマウント部材と、該センサチップおよびチップマウント部材が配される液封室と該液封室に向き合う圧力室とを仕切るダイヤフラムと、該センサチップおよびチップマウント部材に電気的に接続される入出力端子群とを含んでなるセンサユニットと、
前記液封室内における前記センサチップの一方の端面と前記ダイヤフラムとの間であって、前記チップマウント部材の端面における前記センサチップの外周部に近接した位置に固定され、前記入出力端子群に電気的に接続されることにより、該センサチップの信号処理電子回路部に作用する電界を遮断する電界遮断部材と、
を具備して構成される圧力センサのシールド構造。 - 前記電界遮断部材は、前記センサチップの信号処理電子回路部と同一電位であることを特徴とする請求項7記載の圧力センサのシールド構造。
- 圧力を検出し検出出力信号を送出するセンサチップと、該センサチップを支持するチップマウント部材と、該センサチップおよびチップマウント部材が配される液封室と該液封室に向き合う圧力室とを仕切るダイヤフラムと、ハーメチックガラスに支持され該センサチップに電気的に接続される入出力端子群とを含んでなるセンサユニットと、
前記入出力端子群に電気的に接続され、前記ダイヤフラムに対向し導電層からなる一方の端面と、前記ハーメチックガラスに支持される絶縁層からなる他方の端面と、を有する平板状の導電板の一方の端面により支持されることにより、前記液封室内における前記センサチップの一方の端面と前記ダイヤフラムとの間に配され、該センサチップの信号処理電子回路部に作用する電界を遮断する電界遮断部材と、
前記センサユニットおよび前記電界遮断部材を収容するセンサユニット収容部と、
を具備して構成される圧力センサ。 - 圧力を検出し検出出力信号を送出するセンサチップと、該センサチップが配される液封室と該液封室に向き合う圧力室とを仕切るダイヤフラムと、該センサチップに電気的に接続される入出力端子群と、前記ダイヤフラムとともに前記液封室を形成するセンサハウジングと、を含んでなるセンサユニットと、
前記入出力端子群に電気的に接続され、前記ダイヤフラムに対向し導電層からなる一方の端面と、前記センサハウジングの内周面に支持される絶縁層からなる他方の端面と、を有する平板状の導電板の一方の端面により支持されることにより、前記液封室内における前記センサチップの一方の端面と前記ダイヤフラムとの間に配され、該センサチップの信号処理電子回路部に作用する電界を遮断する電界遮断部材と、
前記センサユニットおよび前記電界遮断部材を収容するセンサユニット収容部と、
を具備して構成される圧力センサ。 - 前記電界遮断部材は、前記センサチップの信号処理電子回路部と同一電位であることを特徴とする請求項9または請求項10記載の圧力センサ。
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