JP2019100807A - 圧力センサのシールド構造、および、それを備える圧力センサ - Google Patents
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Abstract
Description
14、65 ハーメチックガラス
16、66 センサチップ
17、64 シールド部材
17´、48 シールド板
18、18´ チップマウント部材
19、62 導電板
32、70 ダイヤフラム
40ai、52ai 入出力端子群
56 センサハウジング
Claims (13)
- 圧力を検出し検出出力信号を送出するセンサチップと、該センサチップを支持するチップマウント部材と、該センサチップおよびチップマウント部材が配される液封室と該液封室に向き合う圧力室とを仕切るダイヤフラムと、ハーメチックガラスに支持され該センサチップに電気的に接続される入出力端子群とを含んでなるセンサユニットと、
前記入出力端子群に電気的に接続される導電板により支持されることにより、前記液封室内における前記センサチップの一方の端面と前記ダイヤフラムとの間に配され、該センサチップの信号処理電子回路部に作用する電界を遮断する電界遮断部材と、
を具備して構成される圧力センサのシールド構造。 - 前記導電板が、前記ハーメチックガラスの端面に配され前記入出力端子群に電気的に接続されることを特徴とする請求項1記載の圧力センサのシールド構造。
- 前記導電板は、前記センサチップの信号処理電子回路部と同一電位であることを特徴とする請求項2記載の圧力センサのシールド構造。
- 圧力を検出し検出出力信号を送出するセンサチップと、該センサチップが配される液封室と該液封室に向き合う圧力室とを仕切るダイヤフラムと、該センサチップに電気的に接続される入出力端子群とを含んでなるセンサユニットと、
前記入出力端子群に電気的に接続される導電板により支持されることにより、前記液封室内における前記センサチップの一方の端面と前記ダイヤフラムとの間に配され、該センサチップの信号処理電子回路部に作用する電界を遮断する電界遮断部材と、
を具備して構成される圧力センサのシールド構造。 - 前記導電板が、前記センサユニットを収容するセンサハウジングの内周面に配され前記入出力端子群に電気的に接続されることを特徴とする請求項4記載の圧力センサのシールド構造。
- 前記導電板は、前記センサチップの信号処理電子回路部と同一電位であることを特徴とする請求項4記載の圧力センサのシールド構造。
- 圧力を検出し検出出力信号を送出するセンサチップと、該センサチップを支持するチップマウント部材と、該センサチップおよびチップマウント部材が配される液封室と該液封室に向き合う圧力室とを仕切るダイヤフラムと、ハーメチックガラスに支持され該センサチップに電気的に接続される入出力端子群とを含んでなるセンサユニットと、
前記ハーメチックガラスの端面に配され前記入出力端子群に電気的に接続されることにより、前記液封室内における前記センサチップの一方の端面と前記ダイヤフラムとの間に配され、該センサチップの信号処理電子回路部に作用する電界を遮断する電界遮断部材と、
を具備して構成される圧力センサのシールド構造。 - 前記電界遮断部材は、前記センサチップの信号処理電子回路部と同一電位であることを特徴とする請求項7記載の圧力センサのシールド構造。
- 圧力を検出し検出出力信号を送出するセンサチップと、該センサチップを支持するチップマウント部材と、該センサチップおよびチップマウント部材が配される液封室と該液封室に向き合う圧力室とを仕切るダイヤフラムと、該センサチップおよびチップマウント部材に電気的に接続される入出力端子群とを含んでなるセンサユニットと、
前記チップマウント部材の端面に配され前記入出力端子群に電気的に接続されることにより、前記液封室内における前記センサチップの一方の端面と前記ダイヤフラムとの間に配され、該センサチップの信号処理電子回路部に作用する電界を遮断する電界遮断部材と、
を具備して構成される圧力センサのシールド構造。 - 前記電界遮断部材は、前記センサチップの信号処理電子回路部と同一電位であることを特徴とする請求項9記載の圧力センサのシールド構造。
- 圧力を検出し検出出力信号を送出するセンサチップと、該センサチップを支持するチップマウント部材と、該センサチップおよびチップマウント部材が配される液封室と該液封室に向き合う圧力室とを仕切るダイヤフラムと、ハーメチックガラスに支持され該センサチップに電気的に接続される入出力端子群とを含んでなるセンサユニットと、
前記入出力端子群に電気的に接続される導電板により支持されることにより、前記液封室内における前記センサチップの一方の端面と前記ダイヤフラムとの間に配され、該センサチップの信号処理電子回路部に作用する電界を遮断する電界遮断部材と、
前記センサユニットおよび前記電界遮断部材を収容するセンサユニット収容部と、
を具備して構成される圧力センサ。 - 圧力を検出し検出出力信号を送出するセンサチップと、該センサチップが配される液封室と該液封室に向き合う圧力室とを仕切るダイヤフラムと、該センサチップに電気的に接続される入出力端子群とを含んでなるセンサユニットと、
前記入出力端子群に電気的に接続される導電板により支持されることにより、前記液封室内における前記センサチップの一方の端面と前記ダイヤフラムとの間に配され、該センサチップの信号処理電子回路部に作用する電界を遮断する電界遮断部材と、
前記センサユニットおよび前記電界遮断部材を収容するセンサユニット収容部と、
を具備して構成される圧力センサ。 - 前記電界遮断部材は、前記センサチップの信号処理電子回路部と同一電位であることを特徴とする請求項11または請求項12記載の圧力センサ。
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