JP7343344B2 - 圧力センサ - Google Patents
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- 圧力センサであって、
測定対象の液体が存在する内部空間を画定する壁部に形成されている開口部を閉塞するように配置される半導体チップであって、薄肉なダイアフラム部と、前記ダイアフラム部の周囲に構成される厚肉な支持部と、を有する半導体チップと、
前記半導体チップの前記支持部と前記壁部を接着する接着層と、を備えており、
前記接着層は、
シリコーン系の第1接着剤と、
前記第1接着剤よりも前記液体が気化したガスの透過性が低い第2接着剤と、を有する、圧力センサ。 - 前記第2接着剤は、前記ダイアフラム部の周囲を一巡するように設けられている、請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記第2接着剤は、前記第1接着剤よりも前記内部空間側に配置されている、請求項1又は2に記載の圧力センサ。
- 前記第1接着剤を介して前記半導体チップの前記支持部と前記壁部が接着する面積が、前記第2接着剤を介して前記半導体チップの前記支持部と前記壁部が接着する面積よりも大きい、請求項1~3のいずれか一項に記載の圧力センサ。
- 前記半導体チップの前記ダイアフラム部は、ピエゾ抵抗部を有する、請求項1~4のいずれか一項に記載の圧力センサ。
- 前記壁部は、前記開口部が形成されている底壁と、前記底壁の周囲を取り囲む側壁と、を有しており、
前記半導体チップは、一対の主面と、前記一対の主面の間を延びる側面と、を有しており、
前記接着層は、前記半導体チップの前記一対の主面のうちの一方の主面と前記壁部の前記底壁の間に配置されているとともに、前記半導体チップの前記側面と前記壁部の前記側壁の間にも配置されている、請求項1~5のいずれか一項に記載の圧力センサ。
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