JP7370819B2 - センサチップ - Google Patents
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Claims (4)
- 圧力検出用のセンサチップであって、
圧力が作用する薄肉なダイヤフラム部と、
前記ダイヤフラム部に配置されているピエゾ抵抗部と、
前記ダイヤフラム部の外周端部に固定されている支持部であって、前記ダイヤフラム部よりも厚肉な前記支持部と、
一端部が前記ピエゾ抵抗部に接続されている配線と、を備えており、
前記支持部は、
前記ダイヤフラム部の上面と直交する方向に視たときに前記ダイヤフラム部の前記外周端部に沿って並んで配置されている複数の溝部であって、前記ダイヤフラム部の前記外周端部に沿って延びている複数の前記溝部と、
前記ダイヤフラム部の前記外周端部に沿って隣り合っている前記溝部と前記溝部の間に位置している通路部と、を備えており、
前記通路部は、前記ダイヤフラム部の上面と直交する方向に視たときに、第1方向に延びている第1部分と、前記第1部分から屈曲して前記第1方向と異なる第2方向に延びている第2部分と、を備えており、
前記配線は、前記通路部を通過しており、前記通路部の前記第1部分に配置されている第1配線部と、前記第1配線部から屈曲して前記通路部の前記第2部分に配置されている第2配線部と、を備えている、センサチップ。 - 前記支持部における前記溝部よりも外側の部分に配置されている電極パッドであって、前記配線の他端部が接続されている前記電極パッドを更に備えている、請求項1に記載のセンサチップ。
- 前記第1部分は、その延長線が前記ダイヤフラム部の中心部を通過せずに前記ダイヤフラム部の中心部から外れた位置を通過するように延びている、請求項1又は2に記載のセンサチップ。
- 前記通路部は、前記ダイヤフラム部の上面と直交する方向に視たときに、前記ダイヤフラム部の中心部と前記ピエゾ抵抗部とを結んだ直線が前記通路部を通過せずに前記通路部から外れた位置を通過するように構成されている、請求項1から3のいずれか一項に記載のセンサチップ。
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JPH1038731A (ja) * | 1996-07-25 | 1998-02-13 | Nippon Seiki Co Ltd | 半導体圧力検出器 |
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Patent Citations (2)
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JP2005227283A (ja) | 2004-02-09 | 2005-08-25 | Robert Bosch Gmbh | 鋼ダイヤフラム上にシリコンチップを備えた圧力センサ |
JP2009265012A (ja) | 2008-04-28 | 2009-11-12 | Fujikura Ltd | 半導体センサ |
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