JP5445384B2 - 空気流量測定装置 - Google Patents

Description

本発明は、流体の流量を検出するためのセンサチップを備えた空気流量測定装置に関する。

従来より、流体の流量を測定するための流量センサが、例えば特許文献１〜３で提案されている。特許文献１では、半導体基板に当該基板の一部が薄膜化されたメンブレンが形成され、メンブレン上に抵抗体が形成された流量センサが提案されている。また、半導体基板は、接着剤によってハウジングに固定されている。ここで、半導体基板のうちの接着部には浅い溝が複数設けられているため、溝全体に接着剤が入り込むことで基板に対する接着剤の接着面積が増加している。

しかしながら、接着面積が増加したことによりハウジングから半導体基板に実装応力が伝達し、この実装応力によってメンブレン内の抵抗変動を引き起こしてしまう。

そこで、特許文献２では、基板のうちメンブレンの周囲に溝が設けられた構造が提案されている。基板における溝の深さはメンブレンの深さと同じである。このような構造では、ハウジングから接着剤を介して基板に伝達した実装応力がメンブレン側に伝達しようとしても溝があることによってメンブレン側への実装応力の伝達が阻止されるので、基板の接着部からメンブレンに伝達する基板の実装応力が緩和されるようになっている。

また、特許文献３では、半導体基板のうちメンブレンと接着部分との間に溝が形成された構造が提案されている。この構造においても、基板のうち接着部分側からメンブレン側への実装応力の伝達が溝によって阻止されている。

特開２００７−２４５８９号公報 特開２００７−２０５９８６号公報 特許第３５１４６６６号公報

しかしながら、特許文献２、３で提案されている溝は実装応力をメンブレンに伝達しないという点では効果があるが、メンブレンの周囲に設けられた溝付近で応力が発生し、その箇所での抵抗値の変動が発生するという問題がある。

また、半導体基板は結晶の方位に沿って割れやすい特徴があり、使用時に溝を基点に破損する可能性がある。これは、接着剤の接着面積を増加させる目的で溝を設けた特許文献１で提案されたものについても起こる可能性がある。

本発明は上記点に鑑み、センサチップが割れずに済み、メンブレンへの実装応力の伝達を低減してメンブレン内の抵抗変動を抑制することができる空気流量測定装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、表面（２０ａ）および当該表面（２０ａ）の反対側の裏面（２０ｂ）を有し、裏面（２０ｂ）の一部が表面（２０ａ）側に凹んだことで薄膜化されたメンブレン（２１）が形成されたメンブレン部（２２）とこのメンブレン部（２２）に連続的に設けられた接着部（２３）とを有するセンサチップ（２０）と、接着部（２３）においてセンサチップ（２０）の裏面（２０ｂ）のうちの接着面（２５）に接着剤（７０）を介して接着された支持体（１０）と、を備え、メンブレン（２１）の上方に流れる流体の流量を検出するように構成されている。

そして、センサチップ（２０）の表面（２０ａ）に平行な面方向のうちメンブレン部（２２）に接着部（２３）が連続的に設けられた連続方向と垂直な幅方向において、接着部（２３）における接着面（２５）の幅が、センサチップ（２０）の表面（２０ａ）におけるメンブレン部（２２）の幅よりも狭いことを特徴とする。

このように、センサチップ（２０）のメンブレン部（２２）における表面（２０ａ）の幅に対してセンサチップ（２０）の裏面（２０ｂ）の一部である接着面（２５）の幅が狭いので、支持体（１０）に対するセンサチップ（２０）の接着面積が低減する。これにより、センサチップ（２０）の実装応力が低減するので、センサチップ（２０）を伝達してメンブレン（２１）に印加される応力は低減する。したがって、メンブレン部（２２）内の抵抗変動を抑制することができる。

また、接着面積が低減して実装応力が低減したことにより、センサチップ（２０）には応力伝達防止用の深い溝を設ける必要がなくなるので、当該溝によりセンサチップ（２０）が割れることを防止することができる。

請求項２に記載の発明のように、接着部（２３）においてセンサチップ（２０）の裏面（２０ｂ）のうちの幅方向の端部に切り欠き（２６）を形成し、この切り欠き（２６）によってセンサチップ（２０）と支持体（１０）との隙間（２７）を形成することができる。

また、請求項３に記載の発明のように、切り欠き（２６）は、接着面（２５）の幅がセンサチップ（２０）の表面（２０ａ）側に向かって大きくなるテーパ形状とすることができる。

一方、請求項４に記載の発明のように、切り欠き（２６）は、センサチップ（２０）の裏面（２０ｂ）のうちの幅方向の端部が表面（２０ａ）側に凹んだ溝とすることもできる。

請求項５に記載の発明では、溝は、接着面（２５）の外周に沿って形成されていることを特徴とする。これによると、センサチップ（２０）の裏面（２０ｂ）の一部である接着面（２５）を他の部分と分離することができ、接着剤（７０）がセンサチップ（２０）の裏面（２０ｂ）のうち接着面（２５）以外のメンブレン部（２２）側に塗布されずに済む。

請求項６に記載の発明では、切り欠き（２６）のうちのメンブレン部（２２）側の終端部（２６ａ）は、接着面（２５）のうちのメンブレン部（２２）側の幅が、連続方向に沿ってメンブレン部（２２）側に向かって大きくなるテーパ形状となっていることを特徴とする。

これによると、切り欠き２６のうち連続方向に沿った端部とメンブレン部（２２）側の終端部（２６ａ）とが直角の場合に対して、切り欠き２６のうち連続方向に沿った端部とメンブレン部（２２）側の終端部（２６ａ）とが接続された角部に掛かる応力を緩和させることができる。

請求項７に記載の発明では、センサチップ（２０）は、接着部（２３）においてメンブレン部（２２）とは反対側に連結された目止め部（２４）を有していることを特徴とする。

これによると、センサチップ（２０）の目止め部（２４）において接着部（２３）側とは反対側に充填剤（５０）が設けられた場合、目止め部（２４）によって充填剤（５０）がセンサチップ（２０）の接着部（２３）およびメンブレン部（２２）側に流出しないようにすることができる。

請求項８に記載の発明では、切り欠き（２６）のうちの目止め部（２４）側の終端部（２６ｂ）は、接着面（２５）のうちの目止め部（２４）側の幅が連続方向に沿って目止め部（２４）側に向かって大きくなるテーパ形状となるように形成されていることを特徴とする。

これによると、接着部（２３）における接着面（２５）の部分と目止め部（２４）との接続部分に掛かる応力を緩和させることができる。

請求項９に記載の発明では、接着部（２３）のうちセンサチップ（２０）の裏面（２０ｂ）において、接着面（２５）よりもメンブレン部（２２）側に、センサチップ（２０）の裏面（２０ｂ）の一部が表面（２０ａ）側に凹んだ溝部（２８）が形成されていることを特徴とする。

これにより、溝部（２８）によって接着面（２５）からメンブレン部（２２）側への接着剤（７０）の広がりを制限できる。また、接着面（２５）からメンブレン（２１）側への応力の伝達のばらつきを低減することができる。

請求項１０に記載の発明では、切り欠き（２６）は、センサチップ（２０）の裏面（２０ｂ）のうちの幅方向の端部に、連続方向に沿って接着部（２３）からメンブレン部（２２）に渡って全体に形成されていることを特徴とする。

これによると、切り欠き（２６）が接着部（２３）やメンブレン部（２２）のいずれかの場所で途切れることがないので、センサチップ（２０）が割れる可能性を低減することができる。

請求項１１に記載の発明では、幅方向においてメンブレン部（２２）におけるセンサチップ（２０）の表面（２０ａ）の幅をＷ１とすると共にセンサチップ（２０）の裏面（２０ｂ）のうちの接着面（２５）の幅をＷ２とする。

さらに、センサチップ（２０）の裏面（２０ｂ）および連続方向において、メンブレン（２１）を裏面（２０ｂ）に投影したときのメンブレン（２１）のいずれかの位置を基準としてこの基準から接着面（２５）のうちメンブレン部（２２）から最も離れた端部までの距離をＬとすると、（Ｌ／Ｗ１）＜（Ｌ／Ｗ２）の関係を満たしていることを特徴とする。

このように、接着面（２５）に係るアスペクト比を見かけ上大きくすることができ、実装応力のメンブレン（２１）への伝達が低減するため、センサチップ（２０）の耐久性を向上させることができる。

請求項１２に記載の発明では、センサチップ（２０）は、連続方向に沿った中心軸を中心とした線対称の構造になっていることを特徴とする。これによると、メンブレン（２１）における抵抗の変動に対するペア性を良くすることができる。

なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。

本発明の第１実施形態に係る空気流量測定装置の全体平面図である。 図１のＡ−Ａ断面図である。 （ａ）はセンサチップの裏面の平面図であり、（ｂ）はセンサチップの側面図であり、（ｃ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。 （ａ）はセンサチップの表面の平面図であり、（ｂ）はセンサチップの裏面の平面図である。 本発明の第２実施形態に係るセンサチップの接着部の断面図である。 （ａ）は本発明の第３実施形態に係るセンサチップの裏面の平面図であり、（ｂ）はセンサチップの側面図である。 （ａ）は本発明の第４実施形態に係るセンサチップの裏面の平面図であり、（ｂ）はセンサチップの側面図である。 他の実施形態において、センサチップの裏面の平面図である。

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。

（第１実施形態）
以下、本発明の第１実施形態について図を参照して説明する。図１は、本実施形態に係る空気流量測定装置の全体平面図である。また、図２は、図１のＡ−Ａ断面図である。

図１に示されるように、空気流量測定装置は、支持体１０と、センサチップ２０と、回路チップ３０と、リード端子４０と、充填剤５０と、目止め剤６０と、を備えている。

支持体１０は、凹部１１を有する空気流量測定装置の母体となるものである。この支持体１０の凹部１１の底面１２にはセンサチップ２０と回路チップ３０が接着剤７０で固定されている。また、支持体１０は、センサチップ２０にダスト等の異物が直接当らないようにするための羽部１３を備え、その羽部１３に形成された凹部１１にセンサチップ２０を搭載している。このような支持体１０として、エポキシ系樹脂でモールド成形されたものが用いられる。

センサチップ２０は、表面２０ａおよび当該表面２０ａの反対側の裏面２０ｂを有する板状の部品である。センサチップ２０には、裏面２０ｂの一部が表面２０ａ側に凹んだことで薄膜化されたメンブレン２１が形成されている。具体的には、メンブレン２１は、ＭＥＭＳ技術によりセンサチップ２０の裏面２０ｂ側の一部がエッチングされることにより形成された薄肉部である。センサチップ２０は、例えばシリコン基板から形成されている。

メンブレン２１上には図示しないヒータ抵抗やヒータ抵抗とは別の抵抗体が形成されている。そして、ヒータ抵抗および抵抗体でブリッジ回路が構成されており、ブリッジ回路の出力が一定になるようにヒータ抵抗の発熱が制御される。これにより、メンブレン２１の上方に流れる流体の流量が検出されるようになっている。センサチップ２０において、ブリッジ回路が形成された部位がセンシング部に該当する。

回路チップ３０は、センサチップ２０から出力される検出信号の信号処理を行うための各種回路が形成されたものである。また、回路チップ３０は、センサチップ２０のメンブレン２１上に形成されたヒータ抵抗の加熱制御等も行う。この回路チップ３０は、ワイヤ７１を介してセンサチップ２０と電気的に接続されている。

リード端子４０は、ワイヤ７２を介して回路チップ３０と電気的に接続されている。これにより、リード端子４０を介して回路チップ３０と外部とが電気的に接続される。

充填剤５０は、ワイヤ７１、７２およびワイヤ７１、７２の接続部を保護する樹脂部材である。充填剤５０は、センサチップ２０のメンブレン２１が露出するように、センサチップ２０の一部や回路チップ３０、センサチップ２０と回路チップ３０とを接続するワイヤ７１、７２等を封止している。充填剤５０として、例えばエポキシ系樹脂が採用される。

目止め剤６０は、充填剤５０が凹部１１のうち回路チップ３０側からセンサチップ２０側に流れ出ることを防ぐための堤防としての役割を果たすものである。このような目止め剤６０としては、エポキシ系樹脂が採用される。

次に、センサチップ２０について、図３および図４を参照して説明する。図３（ａ）はセンサチップ２０の裏面２０ｂの平面図、図３（ｂ）はセンサチップ２０の側面図、図３（ｃ）は図３（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。なお、図３（ｃ）については支持体１０の一部も描いてある。また、図４（ａ）はセンサチップ２０の表面２０ａの平面図、図４（ｂ）はセンサチップ２０の裏面２０ｂの平面図である。

まず、図３（ａ）に示されるように、センサチップ２０は上述のメンブレン２１が形成されたメンブレン部２２とこのメンブレン部２２に連続的に設けられた接着部２３とを有し、さらに接着部２３においてメンブレン部２２とは反対側に連続的に設けられた目止め部２４を有して構成されている。これらメンブレン部２２、接着部２３、および目止め部２４はセンサチップ２０の表面２０ａまたは裏面２０ｂの面方向に平行な一方向に並べられている。以下では、この一方向をメンブレン部２２と接着部２３と目止め部２４とが連続的に設けられた連続方向(図では連結方向)という。

また、センサチップ２０は、連続方向に沿った仮想の中心軸を中心とした線対称の構造になっている。そして、センサチップ２０の表面２０ａまたは裏面２０ｂに平行な面方向のうち連続方向と垂直な幅方向（図では垂直方向)において中心軸を中心に対称の構造となるので、メンブレン部２２ではメンブレン２１における抵抗の変動に対するペア性が良くなる。

目止め部２４は、支持体１０に設けられた充填剤５０がセンサチップ２０の接着部２３およびメンブレン部２２側に流出しないようにするための部位である。

接着部２３は、センサチップ２０のうち支持体１０に固定される部分である。接着部２３は、センサチップ２０の裏面２０ｂのうちの一部である接着面２５を有し、この接着面２５が接着剤７０を介して支持体１０に固定される。すなわち、センサチップ２０は片持ち構造となっている。「接着面２５」はセンサチップ２０の裏面２０ｂの一部であり、当該裏面２０ｂのうち接着剤７０が塗布される部分である。図３（ｂ）では接着面２５の部分を太線で示している。また、上記の中心軸上には接着面２５が位置している。

そして、接着部２３には、図３（ａ）および図３（ｂ）に示されるようにセンサチップ２０の裏面２０ｂのうちの幅方向の端部に切り欠き２６が形成されている。ここで、「端部」とは一端と両端との両方を含むが、本実施形態では切り欠き２６はセンサチップ２０の裏面２０ｂのうちの幅方向の両端に形成されている。上述のように、本実施形態に係るセンサチップ２０は連続方向に沿った中心軸を中心とした線対称の構造だからである。切り欠き２６は、メンブレン加工と同一工程で形成可能である。このため、コストアップもない。

また、図３（ａ）に示されるように、切り欠き２６のうちのメンブレン部２２側の終端部２６ａは、連続方向に沿った直角形状ではなく、テーパ形状となっている。このテーパ形状は、接着面２５のうちのメンブレン部２２側の幅が連続方向に沿ってメンブレン部２２側に向かって大きくなるように形成されている。

同様に、切り欠き２６のうちの目止め部２４側の終端部２６ｂも連続方向に沿った直角形状ではなく、テーパ形状となっている。この場合のテーパ形状は、接着面２５のうちの目止め部２４側の幅が連続方向に沿って目止め部２４側に向かって大きくなるように形成されている。

これにより、切り欠き２６の各終端部２６ａ、２６ｂが幅方向に沿った直角形状の場合に対して、切り欠き２６のうち連続方向に沿った端部と終端部２６ａ、２６ｂとが接続された角部に掛かる応力を緩和させることができる。

上記では、平面的に切り欠き２６がテーパ状に形成されていることを説明したが、切り欠き２６の断面形状もテーパ形状になっている。図３（ｃ）に示されるように、切り欠き２６は、接着面２５の幅がセンサチップ２０の表面２０ａ側に向かって大きくなるテーパ形状になっている。この切り欠き２６により、センサチップ２０と支持体１０との間に隙間２７が形成されている。

接着剤７０として粘性が高いもの、つまり流動性が低いものが用いられると、隙間２７が形成されやすい。例えば接着シートが用いられても良い。

そして、この隙間２７は、幅方向において接着部２３における接着面２５の幅がセンサチップ２０の表面２０ａにおけるメンブレン部２２の幅よりも狭くなったことによって形成されたとも言える。

具体的に、接着面２５の幅について、図４を参照して説明する。図４（ａ）に示されるように幅方向においてメンブレン部２２におけるセンサチップ２０の表面２０ａの幅をＷ１とする。また、図４（ｂ）に示されるようにセンサチップ２０の裏面２０ｂのうちの接着面２５の幅をＷ２とする。

さらに、センサチップ２０の裏面２０ｂおよび連続方向において、メンブレン２１を裏面２０ｂに投影したときのメンブレン２１のいずれかの位置を基準としてこの基準から接着面２５のうちメンブレン部２２から最も離れた端部までの距離をＬとする。本実施形態では、目止め部２４におけるセンサチップ２０の裏面２０ｂにも接着部２３が塗布されるので、連続方向において、目止め部２４の端部が「接着面２５のうちメンブレン部２２から最も離れた端部」に対応する。

これら幅Ｗ１、Ｗ２、距離Ｌは（Ｌ／Ｗ１）＜（Ｌ／Ｗ２）の関係を満たしている。この関係は、センサチップ２０の幅はＷ１であるが、支持体１０に接着する接着面２５の幅Ｗ２はＷ１よりも小さいため、センサチップ２０の表面２０ａのアスペクト比に対してセンサチップ２０の裏面２０ｂの接着面２５に係るアスペクト比が見かけ上大きいことを意味している。センサチップ２０の裏面２０ｂの幅を変更しているので、表面２０ａの幅を縮小する必要はない。

このように、接着面２５の幅Ｗ１がメンブレン部２２におけるセンサチップ２０の表面２０ａの幅Ｗ１よりも小さいので、切り欠き２６が形成されていない場合よりも支持体１０に対するセンサチップ２０の接着面積が低減する。このため、実装応力のメンブレン２１への伝達が低減するため、センサチップ２０の耐久性が向上する。

そして、図３（ａ）に示されるように、接着部２３には、センサチップ２０の裏面２０ｂの一部が表面２０ａ側に凹んだ溝部２８が形成されている。この溝部２８は、接着部２３からメンブレン部２２側への応力の伝達のばらつきを低減する役割を果たす溝である。また、溝部２８は接着面２５からメンブレン部２２側への接着剤７０の広がりを制限する役割も果たす。

このような溝部２８は、上記のメンブレン２１や切り欠き２６を形成する工程と同一工程で形成される。また、溝部２８はセンサチップ２０の裏面２０ｂにおいて幅方向の両端の各切り欠き２６の間に位置していると共に、接着面２５よりもメンブレン部２２側に位置する。さらに、溝部２８は切り欠き２６のうち連続方向に沿った端部とメンブレン部２２側の終端部２６ａとの接続部から接着面２５側の位置していることが好ましい。

以上が、本実施形態に係る空気流量測定装置の構成である。空気流量測定装置は、外部からの指令に従ってセンサチップ２０のメンブレン２１上の発熱抵抗体を通電し、加熱する。そして、流量に応じて上述のブリッジ回路の中点電位差が変化するので、この中点電位差を回路チップ３０で増幅、特性補正し、外部端子に出力する。これにより、流量のデータが得られる。

以上説明したように、本実施形態では、センサチップ２０を構成する接着部２３において、センサチップ２０のメンブレン部２２における表面２０ａの幅に対してセンサチップ２０の裏面２０ｂの一部である接着面２５の幅を狭くしたことが特徴となっている。特に、センサチップ２０に切り欠き２６を設けてセンサチップ２０と支持体１０の底面１２との間に隙間２７を設け、接着面２５の幅を狭くしたことが特徴となっている。

これにより、センサチップ２０の接着面２５に係るアスペクト比がセンサチップ２０の表面２０ａのアスペクト比に対して見かけ上大きくなるので、支持体１０に対するセンサチップ２０の接着面積を低減することができる。したがって、センサチップ２０を伝達してメンブレン２１に印加される実装応力は低減するため、メンブレン部２２内の抵抗変動を抑制することができる。

このように、接着面積の低減によってセンサチップ２０内を伝達する実装応力が低減するので、実装応力の伝達を阻止するための深い溝の形成は不要となり、当該深い溝が原因でセンサチップ２０が割れてしまうことを防止することができる。

（第２実施形態）
本実施形態では、第１実施形態と異なる部分について説明する。図５は、本実施形態に係るセンサチップ２０の接着部２３の断面図であり、図３（ａ）のＢ−Ｂ断面に相当する図である。この図に示されるように、本実施形態では切り欠き２６はセンサチップ２０の裏面２０ｂのうちの幅方向の端部（両端）が表面２０ａ側に凹んだ溝になっている。

このように、切り欠き２６がテーパ形状ではなく、センサチップ２０の裏面２０ｂが凹んだ溝の形状であっても、センサチップ２０と支持体１０とに隙間２７が形成される。したがって、幅方向における接着面２５の幅を低減することができ、ひいては支持体１０に対するセンサチップ２０の接着面積を低減できる。

（第３実施形態）
本実施形態では、第１、第２実施形態と異なる部分について説明する。図６（ａ）は本実施形態に係るセンサチップ２０の裏面２０ｂの平面図であり、図６（ｂ）はセンサチップ２０の側面図である。

本実施形態では切り欠き２６として第２実施形態で示された溝が採用され、図６（ａ）に示されるように、溝が接着面２５の外周に沿って形成されている。このような溝は、例えば等方性エッチングにより形成することができる。これにより、接着面２５はメンブレン部２２におけるセンサチップ２０の裏面２０ｂと分離される。このため、接着剤７０は接着面２５のみに塗布されるので、接着剤７０がメンブレン部２２側に塗布されずに済み、接着面積の増加を防止できる。

なお、図６に示されるセンサチップ２０は目止め部２４を有していないが、もちろんセンサチップ２０は目止め部２４を有していても良い。この場合、第１実施形態で示されたように切り欠き２６のうちの目止め部２４側の終端部２６ｂをテーパ形状とすることもできる。

（第４実施形態）
本実施形態では、第１〜第３実施形態と異なる部分について説明する。図７（ａ）は本実施形態に係るセンサチップ２０の裏面２０ｂの平面図であり、図７（ｂ）はセンサチップ２０の側面図である。

図７（ａ）に示されるように、切り欠き２６は、センサチップ２０の裏面２０ｂのうちの幅方向の両端に、連続方向に沿って接着部２３からメンブレン部２２に渡って全体に形成されている。ここで、切り欠き２６は第１実施形態で示されたテーパ形状でも良いし、第２実施形態で示された溝でも良い。また、幅方向における切り欠き２６の幅は、メンブレン部２２よりも接着部２３の切り欠き２６の幅を広くしても良い。これにより、幅方向における接着面２５の幅をさらに低減できる。

このように、センサチップ２０の裏面２０ｂのうちの幅方向の端部に連続方向に沿って切り欠き２６が連続的に形成されているので、切り欠き２６が接着部２３やメンブレン部２２のいずれかの場所で途切れることはない。このため、切り欠き２６によってセンサチップ２０が割れる可能性を低減することができる。

なお、第１実施形態で示された溝部２８が接着面２５とメンブレン２１との間に設けられていても良い。

（他の実施形態）
上記各実施形態で示された構造は一例であり、上記で示した構造に限定されることなく、本発明の特徴を含んだ他の構造とすることもできる。

例えば、上記各実施形態では、幅方向において接着面２５の幅を狭くするため、センサチップ２０の裏面２０ｂに切り欠き２６を設けていたが、図８（ａ）に示されるように、接着部２３においてセンサチップ２０の裏面２０ｂのうちの幅方向の端部（例えば両端）がセンサチップ２０の厚み方向に貫通するように切り欠き２６を設けることで接着面２５の幅を狭くすることもできる。

この場合、メンブレン部２２に接着部２３が連続的に設けられたセンサチップ２０の形状は、図８（ａ）に示されるようにＴ字状になる。図示しないが、接着部２３においてセンサチップ２０の裏面２０ｂのうちの幅方向の一端がセンサチップ２０の厚み方向に貫通するように切り欠き２６を設けた場合では、メンブレン部２２に接着部２３が連続的に設けられたセンサチップ２０の形状はＬ字状になる。

また、図８（ａ）に示される構造に対して、図８（ｂ）に示されるように接着部２３に目止め部２４が連続的に設けられたり、接着面２５の幅がメンブレン部２２側および目止め部２４側に広くなるように各終端部２６ａ、２６ｂをテーパ形状としても良い。

１０ 支持体
２０ センサチップ
２０ａ センサチップの表面
２０ｂ センサチップの裏面
２１ メンブレン
２２ メンブレン部
２３ 接着部
２４ 目止め部
２５ 接着面
２６ 切り欠き
２６ａ 切り欠きの終端部
２６ｂ 切り欠きの終端部
２７ 隙間
２８ 溝部
７０ 接着剤

Claims (12)

1. 表面（２０ａ）および当該表面（２０ａ）の反対側の裏面（２０ｂ）を有し、前記裏面（２０ｂ）の一部が表面（２０ａ）側に凹んだことで薄膜化されたメンブレン（２１）が形成されたメンブレン部（２２）とこのメンブレン部（２２）に連続的に設けられた接着部（２３）とを有するセンサチップ（２０）と、
   前記接着部（２３）において前記センサチップ（２０）の裏面（２０ｂ）のうちの接着面（２５）に接着剤（７０）を介して接着された支持体（１０）と、を備え、
   前記メンブレン（２１）の上方に流れる流体の流量を検出するように構成された空気流量測定装置であって、
   前記センサチップ（２０）の表面（２０ａ）に平行な面方向のうち前記メンブレン部（２２）に前記接着部（２３）が連続的に設けられた連続方向と垂直な幅方向において、前記接着部（２３）における前記接着面（２５）の幅が、前記センサチップ（２０）の表面（２０ａ）における前記メンブレン部（２２）の幅よりも狭いことを特徴とする空気流量測定装置。
2. 前記接着部（２３）において前記センサチップ（２０）の裏面（２０ｂ）のうちの前記幅方向の端部に切り欠き（２６）が形成されており、この切り欠き（２６）によって前記センサチップ（２０）と前記支持体（１０）との間に隙間（２７）が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の空気流量測定装置。
3. 前記切り欠き（２６）は、前記接着面（２５）の幅が前記センサチップ（２０）の表面（２０ａ）側に向かって大きくなるテーパ形状であることを特徴とする請求項２に記載の空気流量測定装置。
4. 前記切り欠き（２６）は、前記センサチップ（２０）の裏面（２０ｂ）のうちの前記幅方向の端部が前記表面（２０ａ）側に凹んだ溝であることを特徴とする請求項２に記載の空気流量測定装置。
5. 前記溝は、前記接着面（２５）の外周に沿って形成されていることを特徴とする請求項４に記載の空気流量測定装置。
6. 前記切り欠き（２６）のうちの前記メンブレン部（２２）側の終端部（２６ａ）は、前記接着面（２５）のうちの前記メンブレン部（２２）側の幅が、前記連続方向に沿って前記メンブレン部（２２）側に向かって大きくなるテーパ形状となっていることを特徴とする請求項２ないし４のいずれか１つに記載の空気流量測定装置。
7. 前記センサチップ（２０）は、前記接着部（２３）において前記メンブレン部（２２）とは反対側に連結された目止め部（２４）を有していることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１つに記載の空気流量測定装置。
8. 前記切り欠き（２６）のうちの前記目止め部（２４）側の終端部（２６ｂ）は、前記接着面（２５）のうちの前記目止め部（２４）側の幅が前記連続方向に沿って前記目止め部（２４）側に向かって大きくなるテーパ形状となるように形成されていることを特徴とする請求項７に記載の空気流量測定装置。
9. 前記接着部（２３）のうち前記センサチップ（２０）の裏面（２０ｂ）において、前記接着面（２５）よりも前記メンブレン部（２２）側に、前記センサチップ（２０）の裏面（２０ｂ）の一部が前記表面（２０ａ）側に凹んだ溝部（２８）が形成されていることを特徴とする請求項１ないし４、６ないし８のいずれか１つに記載の空気流量測定装置。
10. 前記切り欠き（２６）は、前記センサチップ（２０）の裏面（２０ｂ）のうちの前記幅方向の端部に、前記連続方向に沿って前記接着部（２３）から前記メンブレン部（２２）に渡って全体に形成されていることを特徴とする請求項２ないし４、９のいずれか１つ記載の空気流量測定装置。
11. 前記幅方向において前記メンブレン部（２２）における前記センサチップ（２０）の表面（２０ａ）の幅をＷ１とすると共に前記センサチップ（２０）の裏面（２０ｂ）のうちの前記接着面（２５）の幅をＷ２とし、
    さらに、前記センサチップ（２０）の裏面（２０ｂ）および前記連続方向において、前記メンブレン（２１）を前記裏面（２０ｂ）に投影したときのメンブレン（２１）のいずれかの位置を基準としてこの基準から前記接着面（２５）のうち前記メンブレン部（２２）から最も離れた端部までの距離をＬとすると、
    （Ｌ／Ｗ１）＜（Ｌ／Ｗ２）の関係を満たしていることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれか１つに記載の空気流量測定装置。
12. 前記センサチップ（２０）は、前記連続方向に沿った中心軸を中心とした線対称の構造になっていることを特徴とする請求項１ないし１１のいずれか１つに記載の空気流量測定装置。

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