JP2012032320A - 空気流量測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】センサチップ20を構成する接着部23において、センサチップ20の裏面20bのうちの幅方向の両端に切り欠き26を設ける。これにより、センサチップ20のメンブレン部22における表面20aの幅に対して、接着部23における接着面25の幅が狭くなるので、支持体10に対するセンサチップ20の接着面積が低減され、ひいては実装応力が低減される。このため、センサチップ20を伝達してメンブレン21に印加される応力が低減し、メンブレン部22内の抵抗変動が抑制される。また、実装応力の伝達を阻止するための深い溝が不要となるので、当該深い溝が原因でセンサチップ20が割れてしまうこともない。
【選択図】図3
Description
以下、本発明の第1実施形態について図を参照して説明する。図1は、本実施形態に係る空気流量測定装置の全体平面図である。また、図2は、図1のA−A断面図である。
本実施形態では、第1実施形態と異なる部分について説明する。図5は、本実施形態に係るセンサチップ20の接着部23の断面図であり、図3(a)のB−B断面に相当する図である。この図に示されるように、本実施形態では切り欠き26はセンサチップ20の裏面20bのうちの幅方向の端部(両端)が表面20a側に凹んだ溝になっている。
本実施形態では、第1、第2実施形態と異なる部分について説明する。図6(a)は本実施形態に係るセンサチップ20の裏面20bの平面図であり、図6(b)はセンサチップ20の側面図である。
本実施形態では、第1〜第3実施形態と異なる部分について説明する。図7(a)は本実施形態に係るセンサチップ20の裏面20bの平面図であり、図7(b)はセンサチップ20の側面図である。
上記各実施形態で示された構造は一例であり、上記で示した構造に限定されることなく、本発明の特徴を含んだ他の構造とすることもできる。
20 センサチップ
20a センサチップの表面
20b センサチップの裏面
21 メンブレン
22 メンブレン部
23 接着部
24 目止め部
25 接着面
26 切り欠き
26a 切り欠きの終端部
26b 切り欠きの終端部
27 隙間
28 溝部
70 接着剤
Claims (12)
- 表面(20a)および当該表面(20a)の反対側の裏面(20b)を有し、前記裏面(20b)の一部が表面(20a)側に凹んだことで薄膜化されたメンブレン(21)が形成されたメンブレン部(22)とこのメンブレン部(22)に連続的に設けられた接着部(23)とを有するセンサチップ(20)と、
前記接着部(23)において前記センサチップ(20)の裏面(20b)のうちの接着面(25)に接着剤(70)を介して接着された支持体(10)と、を備え、
前記メンブレン(21)の上方に流れる流体の流量を検出するように構成された空気流量測定装置であって、
前記センサチップ(20)の表面(20a)に平行な面方向のうち前記メンブレン部(22)に前記接着部(23)が連続的に設けられた連続方向と垂直な幅方向において、前記接着部(23)における前記接着面(25)の幅が、前記センサチップ(20)の表面(20a)における前記メンブレン部(22)の幅よりも狭いことを特徴とする空気流量測定装置。 - 前記接着部(23)において前記センサチップ(20)の裏面(20b)のうちの前記幅方向の端部に切り欠き(26)が形成されており、この切り欠き(26)によって前記センサチップ(20)と前記支持体(10)との間に隙間(27)が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の空気流量測定装置。
- 前記切り欠き(26)は、前記接着面(25)の幅が前記センサチップ(20)の表面(20a)側に向かって大きくなるテーパ形状であることを特徴とする請求項2に記載の空気流量測定装置。
- 前記切り欠き(26)は、前記センサチップ(20)の裏面(20b)のうちの前記幅方向の端部が前記表面(20a)側に凹んだ溝であることを特徴とする請求項2に記載の空気流量測定装置。
- 前記溝は、前記接着面(25)の外周に沿って形成されていることを特徴とする請求項4に記載の空気流量測定装置。
- 前記切り欠き(26)のうちの前記メンブレン部(22)側の終端部(26a)は、前記接着面(25)のうちの前記メンブレン部(22)側の幅が、前記連続方向に沿って前記メンブレン部(22)側に向かって大きくなるテーパ形状となっていることを特徴とする請求項2ないし4のいずれか1つに記載の空気流量測定装置。
- 前記センサチップ(20)は、前記接着部(23)において前記メンブレン部(22)とは反対側に連結された目止め部(24)を有していることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1つに記載の空気流量測定装置。
- 前記切り欠き(26)のうちの前記目止め部(24)側の終端部(26b)は、前記接着面(25)のうちの前記目止め部(24)側の幅が前記連続方向に沿って前記目止め部(24)側に向かって大きくなるテーパ形状となるように形成されていることを特徴とする請求項7に記載の空気流量測定装置。
- 前記接着部(23)のうち前記センサチップ(20)の裏面(20b)において、前記接着面(25)よりも前記メンブレン部(22)側に、前記センサチップ(20)の裏面(20b)の一部が前記表面(20a)側に凹んだ溝部(28)が形成されていることを特徴とする請求項1ないし4、6ないし8のいずれか1つに記載の空気流量測定装置。
- 前記切り欠き(26)は、前記センサチップ(20)の裏面(20b)のうちの前記幅方向の端部に、前記連続方向に沿って前記接着部(23)から前記メンブレン部(22)に渡って全体に形成されていることを特徴とする請求項2ないし4、9のいずれか1つ記載の空気流量測定装置。
- 前記幅方向において前記メンブレン部(22)における前記センサチップ(20)の表面(20a)の幅をW1とすると共に前記センサチップ(20)の裏面(20b)のうちの前記接着面(25)の幅をW2とし、
さらに、前記センサチップ(20)の裏面(20b)および前記連続方向において、前記メンブレン(21)を前記裏面(20b)に投影したときのメンブレン(21)のいずれかの位置を基準としてこの基準から前記接着面(25)のうち前記メンブレン部(22)から最も離れた端部までの距離をLとすると、
(L/W1)<(L/W2)の関係を満たしていることを特徴とする請求項1ないし10のいずれか1つに記載の空気流量測定装置。 - 前記センサチップ(20)は、前記連続方向に沿った中心軸を中心とした線対称の構造になっていることを特徴とする請求項1ないし11のいずれか1つに記載の空気流量測定装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2016025202A (ja) * | 2014-07-18 | 2016-02-08 | 株式会社デンソー | 半導体装置およびその製造方法 |
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- 2010-08-02 JP JP2010173332A patent/JP5445384B2/ja active Active
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