JP2016025202A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の第1実施形態にかかる半導体装置S1について、図1を参照して述べる。この半導体装置S1は、たとえば自動車などの車両に搭載され、車両用の各種電子装置を駆動するための装置として適用されるものである。
本発明の第2実施形態にかかる半導体装置S2について、図8を参照して、上記第1実施形態との相違点を中心に述べる。
本発明の第3実施形態にかかる半導体装置S3について、図9を参照して、上記第1実施形態との相違点を中心に述べる。上記第1実施形態は、第2の部位2の突出方向と直交する幅方向において、第2の部位2の全体を第1の部位1の幅W1よりも小さい幅W2とするものであった。
本発明の第4実施形態にかかる半導体装置S4について、図10を参照して述べる。本実施形態は上記第3実施形態を一部変形したところが相違するものであり、上記第3実施形態との相違点を中心に述べる。
本発明の第5実施形態にかかる半導体装置S5について、図11を参照して、上記第1実施形態との相違点を中心に述べる。本実施形態では、第2の部位2における削られる部位が第1実施形態とは相違すること、および、後述する対向壁24〜26を有することが、相違点である。
本発明の第6実施形態にかかる半導体装置S6について、図12を参照して述べる。本実施形態は、上記図8〜図11に示されるような第2の部位2の外郭全体ではなく、一部のみをレーザ整形工程にてレーザLZで削ることによって、当該削られた部位を細くする場合に適用されるものである。
なお、上記第1実施形態では、樹脂封止工程において、半導体チップ10の第1の部位1以外に第2の部位2の一部、すなわち第2の部位2の側面14〜16を樹脂20で封止した。そして、その後、レーザLZで第2の部位2周りの樹脂20を除去した。
2 半導体チップの第2の部位
10 半導体チップ
10b 第2の部位における突出先端部としての半導体チップの他端部
10c センシング部
10d 第2の部位における突出根元部
10e 第2の部位における支持部
11 半導体チップの表面
12 半導体チップの裏面
20 樹脂
LZ レーザ
Claims (9)
- センシング部(10c)を有し、表裏の関係にある両板面(11、12)を有する板状をなす半導体チップ(10)と、
前記半導体チップの一部である第1の部位(1)を封止する樹脂(20)と、を備え、
前記半導体チップの残部である第2の部位(2)は前記樹脂より突出しており、
前記センシング部は、前記第2の部位における突出先端部(10b)寄りの位置に設けられており、
前記第2の部位のうち前記樹脂からの突出根元部(10d)と前記センシング部との間の部位は、前記センシング部を支持する支持部(10e)とされている半導体装置の製造方法であって、
前記半導体チップを用意する用意工程と、
前記半導体チップのうち少なくとも前記第1の部位を前記樹脂で封止する樹脂封止工程と、
前記樹脂封止工程の後、前記第2の部位に対してレーザ(LZ)を照射し前記第2の部位を削ることにより、前記第2の部位のうち少なくとも前記支持部を前記第1の部位よりも細くなるようにするレーザ整形工程と、を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記レーザ整形工程では、前記第2の部位の突出方向と直交する方向において、前記第2の部位のうち少なくとも前記支持部が、前記第1の部位の幅(W1)よりも小さい幅(W2)となるようにすることで、前記第2の部位のうち少なくとも前記支持部を、前記第1の部位よりも細いものとすることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記レーザ整形工程では、前記第2の部位のうち前記支持部のみを前記レーザにより削ることにより、前記第2の部位のうちの前記支持部のみが前記第1の部位の幅よりも小さい幅となるようにすることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記レーザ整形工程では、前記第2の部位の外郭の全体を前記レーザにより削ることにより、前記第2の部位の全体が前記第1の部位の幅よりも小さい幅となるようにすることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- センシング部(10c)を有し、表裏の関係にある両板面(11、12)を有する板状をなす半導体チップ(10)と、
前記半導体チップの一部である第1の部位(1)を封止する樹脂(20)と、を備え、
前記半導体チップの残部である第2の部位(2)は前記樹脂より突出しており、
前記センシング部は、前記第2の部位における突出先端部(10b)寄りの位置に設けられており、
前記第2の部位のうち前記樹脂からの突出根元部(10d)と前記センシング部との間の部位は、前記センシング部を支持する支持部(10e)とされている半導体装置であって、
前記第2の部位のうち少なくとも前記支持部が、前記第1の部位よりも細いものとされていることを特徴とする半導体装置。 - 前記第2の部位の突出方向と直交する方向において、前記第2の部位のうち少なくとも前記支持部が、前記第1の部位の幅(W1)よりも小さい幅(W2)とされることで、前記第2の部位のうち少なくとも前記支持部が、前記第1の部位よりも細いものとされていることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。
- 前記第2の部位のうちの前記支持部のみが、前記第1の部位の幅よりも小さい幅とされていることを特徴とする請求項6に記載の半導体装置。
- 前記第2の部位の全体が前記第1の部位の幅よりも小さい幅とされていることを特徴とする請求項6に記載の半導体装置。
- 前記第2の部位に存在する角部の少なくとも一部が面取りされたものとされていることを特徴とする請求項5ないし8のいずれか1つに記載の半導体装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019116853A1 (ja) * | 2017-12-15 | 2019-06-20 | 株式会社デンソー | 半導体装置およびその製造方法 |
US10696544B2 (en) | 2016-06-09 | 2020-06-30 | Denso Corporation | Synthetic resin molded article and method for producing the same |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004304081A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Fujitsu Ltd | 半導体チップ、半導体装置及びその製造方法 |
JP2008140940A (ja) * | 2006-11-30 | 2008-06-19 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工方法 |
JP2010133829A (ja) * | 2008-12-04 | 2010-06-17 | Denso Corp | 熱式フローセンサ |
JP2012032320A (ja) * | 2010-08-02 | 2012-02-16 | Denso Corp | 空気流量測定装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004304081A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Fujitsu Ltd | 半導体チップ、半導体装置及びその製造方法 |
JP2008140940A (ja) * | 2006-11-30 | 2008-06-19 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工方法 |
JP2010133829A (ja) * | 2008-12-04 | 2010-06-17 | Denso Corp | 熱式フローセンサ |
JP2012032320A (ja) * | 2010-08-02 | 2012-02-16 | Denso Corp | 空気流量測定装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10696544B2 (en) | 2016-06-09 | 2020-06-30 | Denso Corporation | Synthetic resin molded article and method for producing the same |
WO2019116853A1 (ja) * | 2017-12-15 | 2019-06-20 | 株式会社デンソー | 半導体装置およびその製造方法 |
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