JP5708688B2 - センサパッケージの製造方法 - Google Patents
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Description
チップ用意工程では、センサチップとして、センサチップの一面から機能膜の表面上に突出するように設けられ、機能膜からの信号を取り出すための電極(15)がスペーサとされたものであって、電極の突出先端部(15a)側が機能膜の表面下に位置する部位よりも体積が小さいものであるものを用意し、金型設置工程では、フィルムを介して、対向部が機能膜よりも先に電極の突出先端部に接触するように、対向部の押し付けを行うようにすることを特徴とする。
本発明の第1実施形態にかかるセンサパッケージについて、図1を参照して述べる。なお、図1(b)では、モールド樹脂50の外郭およびモールド樹脂50の開口部51の内郭を破線で示すとともに、モールド樹脂50を透過してモールド樹脂50の内部に位置する構成要素を示している。
本発明の第2実施形態について、図6を参照して述べる。本実施形態は、上記第1実施形態において金型設置工程を一部変形したところが相違するものであり、この相違点を中心に述べることとする。
本発明の第3実施形態にかかるセンサパッケージについて、図7A、図7Bを参照して述べる。本パッケージは、感湿膜13に含有されるスペーサを、感湿膜13からの信号を取り出すための電極15にて構成したところが、上記各実施形態と相違するものであり、この相違点を中心に述べる。
本発明の第4実施形態にかかるセンサパッケージについて、図13〜図15を参照して述べる。本実施形態では、機能膜としての感湿膜13に上記スペーサ14、15を設けることなく、金型100で感湿膜13を押さえたとき、上記押力Fによって感湿膜13に生じるダメージを、極力低減するものである。
なお、機能膜13としては、湿度以外にも温度や電気量、力学量等、何らかのセンシングに用いられる膜であればよく、上記した湿度センサの感湿膜13に限定されるものではない。たとえばシリコン半導体等よりなる光センサチップ上に設けられたカーボン等よりなる太陽電池機能を有する膜などであってもよい。また、機能膜13の材質も、樹脂に限定されるものではなく、場合に応じてセラミック等であってもよい。
11 センサチップの一面
13 機能膜
13a 機能膜のセンシング部
13b 機能膜の凹み部
14 スペーサ
15 スペーサとしての電極
50 モールド樹脂
51 モールド樹脂の開口部
100 金型
110 対向部
111 凹部
112 押さえ部
Claims (2)
- センシングに用いられる機能膜(13)を一面(11)側に有するセンサチップ(10)と、
金型(100)により成形され、前記センサチップを封止するモールド樹脂(50)と、を備え、
前記機能膜の表面は、前記モールド樹脂に設けられた開口部(51)を介して露出してなるセンサパッケージの製造方法であって、
前記センサチップとして、前記機能膜に、膜厚方向に加わる押力に抗して当該機能膜の膜厚を確保するためのスペーサ(14、15)が含有されたものを用意するチップ用意工程と、
前記金型内に前記センサチップを設置するとともに、前記金型の内面のうち前記機能膜に対向する対向部(110)を、前記機能膜の表面上の凹凸を吸収するフィルム(200)を介して前記機能膜に押し付けて密着させた状態とする金型設置工程と、
前記金型内に前記モールド樹脂を注入して充填することにより、前記センサチップを前記モールド樹脂で封止する封止工程と、を備え、
前記金型設置工程では、前記金型として、前記対向部に、前記機能膜への押力を逃がす凹部(111)が設けられたものを用い、
前記チップ用意工程では、前記センサチップとして、前記センサチップの一面から前記機能膜の表面上に突出するように設けられ、前記機能膜からの信号を取り出すための電極(15)が前記スペーサとされたものであって、前記電極の突出先端部(15a)側が前記機能膜の表面下に位置する部位よりも体積が小さいものであるものを用意し、
前記金型設置工程では、前記フィルムを介して、前記対向部が前記機能膜よりも先に前記電極の突出先端部に接触するように、前記対向部の押し付けを行うようにすることを特徴とするセンサパッケージの製造方法。 - 前記金型設置工程では、前記金型として当該金型の外部から凹部に通じる吸引孔(112)が設けられたものを用い、
この吸引孔を介して外部から吸引を行うことにより、前記フィルムを前記凹部の凹形状に追従するように変形させた状態で、前記対向部の前記機能膜への押し付けを行うことを特徴とする請求項1に記載のセンサパッケージの製造方法。
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