JP6201887B2 - 圧力センサ - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態について説明する。なお、本実施形態の圧力センサは、例えば、自動車に搭載され、オイルポンプから排出されたオイルの圧力を検出する圧力センサとして適用されると好適である。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して凹部15の側面をテーパ状としたものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して凹部15の側面と第1基板10の側面との連結部15aを丸めたものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
10a 一面
10b 他面
10c、10d 側面
15 凹部
15a 連結部
17 ダイヤフラム部
30 第2基板
40 基準圧力室
L 仮想線
Claims (5)
- 一面(10a)、前記一面と反対側の他面(10b)、および前記一面と前記他面とを繋ぐ相対する側面(10c、10d)を有し、前記他面に凹部(15)が形成されることによって前記一面側にダイヤフラム部(17)が構成された第1基板(10)と、
前記第1基板の一面側に配置され、前記ダイヤフラム部のうちの前記一面側の部分に基準圧力を印加する基準圧力室(40)を前記第1基板との間に構成する第2基板(30)と、を備え、
前記ダイヤフラム部のうちの前記他面側に印加される測定媒体の圧力と、前記ダイヤフラム部のうちの前記一面側に印加される前記基準圧力との差圧に応じて圧力を検出する圧力センサにおいて、
前記第1基板の他面側から視たとき、前記凹部は、前記第1基板の相対する側面と繋がる2つの連結部(15a)を有する側面のみを有し、前記側面は、前記2つの連結部を結ぶ直線状の仮想線(L)と一致する形状、もしくは、前記仮想線から前記ダイヤフラム部側に突出する部分を有すると共に前記仮想線との距離が順に長くなる部分と順に短くなる部分とを1つのみ有する形状とされており、
前記ダイヤフラム部は、当該ダイヤフラム部の変形に応じて抵抗値が変化するゲージ抵抗(18)が形成され、前記他面側が平坦な面とされていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記凹部の側面は、当該側面と前記第1基板の他面との成す角度(θ)が90°より大きくされることでテーパ状とされていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記連結部は、丸められていることを特徴とする請求項1または2に記載の圧力センサ。
- 前記第1、第2基板は、前記ダイヤフラム部が露出するように、モールド樹脂(70)で封止されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の圧力センサ。
- 前記第1基板は、支持基板(11)、絶縁膜(12)、半導体層(13)が順に積層された半導体基板であり、前記一面が前記半導体層で構成されていると共に前記他面が前記支持基板で構成され、
前記凹部は、前記支持基板に形成されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の圧力センサ。
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