JP2015219037A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015219037A JP2015219037A JP2014100690A JP2014100690A JP2015219037A JP 2015219037 A JP2015219037 A JP 2015219037A JP 2014100690 A JP2014100690 A JP 2014100690A JP 2014100690 A JP2014100690 A JP 2014100690A JP 2015219037 A JP2015219037 A JP 2015219037A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- pressure
- recess
- pressure sensor
- diaphragm portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
【解決手段】第1基板10の他面10b側から視たとき、凹部15を第1基板10の相対する側面10c、10dと繋がる2つの連結部15aを有する側面のみを有する形状とする。そして、この側面を、2つの連結部15aを結ぶ直線状の仮想線Lと一致する形状、もしくは、ダイヤフラム部17側に突出する部分を有すると共に仮想線Lとの距離が順に長くなる部分と順に短くなる部分とを1つのみ有する形状とする。これによれば、凹部15は相対する側面を有していないため、異物が挟まることがない。このため、検出精度が低下することを抑制できる。
【選択図】図1
Description
本発明の第1実施形態について説明する。なお、本実施形態の圧力センサは、例えば、自動車に搭載され、オイルポンプから排出されたオイルの圧力を検出する圧力センサとして適用されると好適である。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して凹部15の側面をテーパ状としたものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して凹部15の側面と第1基板10の側面との連結部15aを丸めたものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
10a 一面
10b 他面
10c、10d 側面
15 凹部
15a 連結部
17 ダイヤフラム部
30 第2基板
40 基準圧力室
L 仮想線
Claims (5)
- 一面(10a)、前記一面と反対側の他面(10b)、および前記一面と前記他面とを繋ぐ相対する側面(10c、10d)を有し、前記他面に凹部(15)が形成されることによって前記一面側にダイヤフラム部(17)が構成された第1基板(10)と、
前記第1基板の一面側に配置され、前記ダイヤフラム部のうちの前記一面側の部分に基準圧力を印加する基準圧力室(40)を前記第1基板との間に構成する第2基板(30)と、を備え、
前記ダイヤフラム部のうちの前記他面側に印加される測定媒体の圧力と、前記ダイヤフラム部のうちの前記一面側に印加される前記基準圧力との差圧に応じて圧力を検出する圧力センサにおいて、
前記第1基板の他面側から視たとき、前記凹部は、前記第1基板の相対する側面と繋がる2つの連結部(15a)を有する側面のみを有し、前記側面は、前記2つの連結部を結ぶ直線状の仮想線(L)と一致する形状、もしくは、前記仮想線から前記ダイヤフラム部側に突出する部分を有すると共に前記仮想線との距離が順に長くなる部分と順に短くなる部分とを1つのみ有する形状とされていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記凹部の側面は、当該側面と前記第1基板の他面との成す角度(θ)が90°より大きくされることでテーパ状とされていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記連結部は、丸められていることを特徴とする請求項1または2に記載の圧力センサ。
- 前記第1、第2基板は、前記ダイヤフラム部が露出するように、モールド樹脂(70)で封止されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の圧力センサ。
- 前記第1基板は、支持基板(11)、絶縁膜(12)、半導体層(13)が順に積層された半導体基板であり、前記一面が前記半導体層で構成されていると共に前記他面が前記支持基板で構成され、
前記凹部は、前記支持基板に形成されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の圧力センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014100690A JP6201887B2 (ja) | 2014-05-14 | 2014-05-14 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014100690A JP6201887B2 (ja) | 2014-05-14 | 2014-05-14 | 圧力センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015219037A true JP2015219037A (ja) | 2015-12-07 |
JP6201887B2 JP6201887B2 (ja) | 2017-09-27 |
Family
ID=54778542
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014100690A Expired - Fee Related JP6201887B2 (ja) | 2014-05-14 | 2014-05-14 | 圧力センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6201887B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06296033A (ja) * | 1993-04-07 | 1994-10-21 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体装置 |
US6031944A (en) * | 1997-12-30 | 2000-02-29 | Honeywell Inc. | High temperature resonant integrated microstructure sensor |
JP3570218B2 (ja) * | 1998-04-08 | 2004-09-29 | 株式会社デンソー | 半導体圧力センサの製造方法 |
JP5293655B2 (ja) * | 2010-03-16 | 2013-09-18 | 株式会社デンソー | ウェハレベルパッケージ構造体、センサエレメント、センサデバイス、及びそれらの製造方法 |
JP5515258B2 (ja) * | 2008-03-17 | 2014-06-11 | 株式会社デンソー | 圧力センサチップおよび圧力センサ |
-
2014
- 2014-05-14 JP JP2014100690A patent/JP6201887B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06296033A (ja) * | 1993-04-07 | 1994-10-21 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体装置 |
US6031944A (en) * | 1997-12-30 | 2000-02-29 | Honeywell Inc. | High temperature resonant integrated microstructure sensor |
JP3570218B2 (ja) * | 1998-04-08 | 2004-09-29 | 株式会社デンソー | 半導体圧力センサの製造方法 |
JP5515258B2 (ja) * | 2008-03-17 | 2014-06-11 | 株式会社デンソー | 圧力センサチップおよび圧力センサ |
JP5293655B2 (ja) * | 2010-03-16 | 2013-09-18 | 株式会社デンソー | ウェハレベルパッケージ構造体、センサエレメント、センサデバイス、及びそれらの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6201887B2 (ja) | 2017-09-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2016188863A (ja) | 微小機械測定素子 | |
US9983081B2 (en) | Pressure sensor | |
JP5974621B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP2008275325A (ja) | センサ装置 | |
US10302670B2 (en) | Acceleration sensor | |
JP6201887B2 (ja) | 圧力センサ | |
KR101573367B1 (ko) | 압저항형 세라믹 압력센서 | |
JP6287600B2 (ja) | 温度センサ | |
US10527513B2 (en) | Pressure sensor with resin portion and membrane having reduced temperature change distortion | |
JP2008082952A (ja) | 半導体感歪センサ | |
JP2015175632A (ja) | 力学量センサ | |
JP2009265012A (ja) | 半導体センサ | |
JP2008122304A (ja) | 静電容量式加速度センサ | |
JP2009288170A (ja) | 半導体圧力センサ | |
JP6265052B2 (ja) | 物理量センサ | |
JPWO2018025434A1 (ja) | 圧力センサおよび圧力センサモジュール | |
JP5445384B2 (ja) | 空気流量測定装置 | |
JP6372545B2 (ja) | 振動式トランスデューサ | |
JP6852579B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP4706634B2 (ja) | 半導体センサおよびその製造方法 | |
JP2015090318A (ja) | 半導体圧力センサ装置 | |
JP2018105748A (ja) | 圧力センサ | |
JP2014228295A (ja) | 半導体圧力センサ装置 | |
JP2015083937A (ja) | 圧力センサ | |
JP2014202562A (ja) | 力学量センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160823 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170517 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170523 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170720 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170801 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170814 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6201887 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |