JP6852579B2 - 圧力センサ - Google Patents
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Description
10 半導体基板
11B 11R ダイアフラム
12B 12R 厚肉部
13B 13R 凹部
20 ベース基板
30B 基準センサ部
31B ピエゾ抵抗素子
32B 第1の配線回路
33B コンタクト
30R 参照センサ部
31R 第2の配線回路
32R コンタクト
B 基準センサ部形成領域
R 参照センサ部形成領域
Claims (3)
- 半導体基板と、
前記半導体基板に設けられた基準センサ部と、
前記半導体基板に設けられた参照センサ部と、
を有し、
前記基準センサ部は、複数のピエゾ抵抗素子と、前記複数のピエゾ抵抗素子を繋ぐ第1の配線回路とを有し、
前記参照センサ部は、前記基準センサ部において、前記複数のピエゾ抵抗素子を省略して、前記第1の配線回路のうち前記複数のピエゾ抵抗素子を省略した部分を繋いで構成された第2の配線回路を有する、
ことを特徴とする圧力センサ。 - 前記基準センサ部のベース出力及び/又は出力変化量と前記参照センサ部のベース出力及び/又は出力変化量とに基づいて、前記圧力センサに印加された圧力が検出される、
ことを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記基準センサ部のベース出力及び/又は出力変化量から前記参照センサ部のベース出力及び/又は出力変化量を差し引くことで、前記圧力センサに印加された圧力が検出される、
ことを特徴とする請求項2に記載の圧力センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017113976A JP6852579B2 (ja) | 2017-06-09 | 2017-06-09 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017113976A JP6852579B2 (ja) | 2017-06-09 | 2017-06-09 | 圧力センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2018205257A JP2018205257A (ja) | 2018-12-27 |
JP6852579B2 true JP6852579B2 (ja) | 2021-03-31 |
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Family Applications (1)
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CN114112129B (zh) * | 2021-11-19 | 2022-08-05 | 苏州纳芯微电子股份有限公司 | 一种基板应力传感器及传感设备 |
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