JP5541208B2 - 力学量センサ - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態について図面を参照しつつ説明する。図1(a)は本実施形態における力学量センサの断面構成を示す図、図1(b)は図1(a)に示す力学量センサの平面図である。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して、センサチップ20を接続端子30に搭載したものであり、その他に関しては、第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図3(a)は、本実施形態における力学量センサの断面構成を示す図、図3(b)は図3(a)に示す力学量センサの平面図である。なお、図3(a)は、図3(b)中のB−B断面に相当している。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態は、第2実施形態に対して支持部材40を第1支持部材と第2支持部材とを有する構成としたものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図4(a)は、本実施形態における力学量センサの断面構成を示す図、図4(b)は図4(a)に示す力学量センサの平面図である。なお、図4(a)は、図4(b)中のC−C断面に相当している。
上記各実施形態では、センサチップ20の平面形状が二等辺三角形である例を説明したが、これに限定されるものではなく、センサチップ20は、平面形状が、矩形状において隣接する二つの角の除去により構成される第1角部23aを有し、当該第1角部23a側の端部が支持部材40に封止されるものであればよい。例えば、センサチップ20は、第2角部23bの角度が90°とされている直角三角形であってもよい。
20 センサチップ
21 センシング部
30 接続端子
40 支持部材
50 ボンディングワイヤ
Claims (8)
- 物理量に応じたセンサ信号を出力するセンシング部(21)が形成されたセンサチップ(20)と、
前記センシング部(21)を露出させつつ前記センサチップ(20)を片持ち支持する支持部材(40)と、を有し、
前記センサチップ(20)は、その平面形状が、矩形状において隣接する二つの角の除去により構成される角部(23a)を有する形状とされ、前記角部(23a)側の端部が前記支持部材(40)に封止されていることを特徴とする力学量センサ。 - 前記センサチップ(20)は、前記平面形状が第1〜第3辺(22a〜22c)および第1、第2辺(22a、22b)を連結する前記角部としての第1角部(23a)、前記第1、第3辺(22a、22c)を連結する第2角部(23b)、前記第2、第3辺(22b、22c)を連結する第3角部(23c)を有する三角形とされており、前記第2、第3角部(23b、23c)が露出されつつ、前記第1角部(23a)側の端部が前記支持部材(40)に封止されていることを特徴とする請求項1に記載の力学量センサ。
- 前記センサチップ(20)は、前記平面形状が前記第2、第3角部(23b、23c)の角度が等しい二等辺三角形とされていることを特徴とする請求項2に記載の力学量センサ。
- 前記センサチップ(20)は、前記第1角部(23a)から前記第3辺(22c)に垂線を降ろしたとき、前記垂線の長さが前記第3辺(22c)より長くされていることを特徴とする請求項3に記載の力学量センサ。
- 前記センサチップ(20)は、前記平面形状が前記第2角部(23b)が90°である直角三角形とされていることを特徴とする請求項2に記載の力学量センサ。
- 前記センシング部(21)が突出する状態で、前記センサチップ(20)における前記第1角部(23a)側の端部を搭載する搭載部材(10、30)を備え、
前記支持部材(40)は、前記センサチップ(20)における前記第1角部(23a)側の端部と共に、前記搭載部材(10、30)を封止することを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1つに記載の力学量センサ。 - 前記支持部材(40)は、前記センサチップ(20)を露出させつつ前記搭載部材(10、30)を封止する第1支持部材(40a)と、前記第1支持部材(40a)より柔らかく、前記センサチップ(20)における前記第1角部(23a)側の端部を封止する第2支持部材(40b)とを有することを特徴とする請求項6に記載の力学量センサ。
- 前記センサチップ(20)は、前記センシング部(21)として測定媒体の圧力に応じたセンサ信号を出力する圧力検出素子が形成されていることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1つに記載の力学量センサ。
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