JP5972850B2 - 物理量測定センサ - Google Patents
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Description
この電子部品装置には、セラミックヘッダーの内部に半導体チップを固定し、セラミックヘッダーの壁部に半導体チップを覆う金属キャップを接合し、半導体チップに電気的に接続されたリードをセラミックヘッダーの底部に複数本設けた従来例(特許文献1)がある。
特許文献1の従来例では、セラミックヘッダーの底面にそれぞれ下方に延びるように設けられた複数本のリードが被取付部材としての実装基板に取り付けられている。
特許文献2の従来例では、セラミックパッケージの底面角部は、被取付部材としてのプリント回路基板等の樹脂ボードに半田で接合されている。
この要求を満たすため、被取付部材に流体導入路を形成し、この流体導入路から送られる被測定流体をセンサ素子に流通する流通孔をセラミックパッケージの底部に形成し、セラミックパッケージの底部周縁部を被取付部材に取り付けることが考えられる。
特許文献2の従来例では、セラミックパッケージの底面角部は、被取付部材に半田で接合されている構造であるため、ロウ付けの場合と同様に、被取付部材とセラミックパッケージの熱膨張係数の違いにより、半田が破壊される恐れがある。
しかし、かしめの応力によっては、セラミックパッケージが破壊(クラック)する可能性があり、さらに、被取付部材とセラミックパッケージとの熱膨張係数の相違によって、使用中にかしめによる押さえが緩み、リークに至るということもあり得る。また、押さえが緩むことにより、センサ出力を安定させるための被取付部材へのアース接続が不確実となる。
本発明では、パッケージが押さえ片部で押さえられるので、高圧の被測定流体がパッケージの底部に向けて流通しても、パッケージが保持される。しかも、パッケージと被取付部材との間での熱膨張係数の相違に伴って押さえ片部と係止片部とが変形しても、その変形が弾性片部によって吸収される。
以上のことから、本発明では、取付片でパッケージが確実に保持されることから、高圧の測定が可能となる。
しかも、前記蓋体には前記端子部を臨む窓部が形成されているから、蓋体の窓部から端子部が露出することで、外部端子との接続が容易となる。そのため、物理量測定センサと外部端子との接続作業、ひいては、物理量測定センサの取付作業を容易なものにできる。
この構成では、蓋体が取付片を兼ねるので、部品点数を減少させることができる。その結果、蓋体を組み付ける工程と取付片を組み付ける工程を兼用することができるので、組立工数を削減し、製造コストを低く抑えることができる。
この構成では、締結具で容易にセンサを被取付部材に取り付けることができる。そのため、物理量測定センサの被取付部材への取付作業が容易となる。
この構成では、取付片がリブ部を有する立体的な構造となるので、大きな強度を有する。そのため、被取付部材に取り付けられた物理量測定センサの取付片に大きな力がかかっても、取付片が破損等することを防止できる。
この構成では、取付片の構造が簡易なものとなり、物理量測定センサの製造コストを低く抑えることができる。
この構成では、パッケージの内部の気密を保つことができるので、電子部品を保護できる。
第1実施形態を図1から図3に基づいて説明する。図1は、本実施形態にかかる物理量測定センサの分解斜視図であり、図2及び図3は、それぞれ物理量測定センサが被取付部材に取り付けられた状態を示す断面図である。
図1から図3において、物理量測定センサ1は、被取付部材2に対向配置されたセラミック製のパッケージ3と、パッケージ3の内部に収納される電子部品4と、パッケージ3の外部に設けられた端子部5と、パッケージ3の開口を閉塞する蓋体6とを備えた圧力センサである。第1実施形態では、蓋体6は、パッケージ3を被取付部材2に取り付ける取付片を兼ねる。
物理量測定センサ1が配置された側とは反対側の領域Lには、被測定流体が流通されている。第1実施形態では、被測定流体は、水や油等の流体でもよく、空気、その他の気体であってもよい。
被取付部材2の所定位置には、領域Lと小径部2A1とを連通し被測定流体を物理量測定センサ1に流通させるための流体導入路2Bが形成されている。
小径部2A1の底面と物理量測定センサ1との間には、小径部2A1に導入された被測定流体を中径部2A2及び大径部2A3に流出させないためのOリング21が介装されている。
パッケージ3は、被取付部材2に対向する平面八角形状の板部31と、この板部31の各周辺に形成された壁部32とを有する。
板部31には、流体導入路2Bから導入される被測定流体を流通する流通孔31Aが形成されている。この流通孔31Aは、板部31の平面より低く形成された第一載置部311に開口されている。この第一載置部311に隣接して第二載置部312が板部31に形成されている。板部31の底面角部は被取付部材2の中径部2A2の平面に当接されている。
壁部32は、板部31の8つの辺のうち5つの辺に渡って薄く形成されており、他の3辺は厚く形成されている。つまり、壁部32で囲われる開口端の平面形状は、5辺が互いに同じ長さであり1辺が5辺より長い六角形である。
検出素子41は、中心部が薄肉とされた板状部に角筒部が一体に接合された有底角筒状のMEMSである。検出素子41の角筒部の開口端部は、パッケージ3の板部31の第一載置部311に、Au/Su半田、その他の共晶半田、または、低融点ガラス等により接着固定されている。
検出素子41の板状部には、歪みゲージ等の検知部(図示せず)が設けられ、この検知部は、ボンディングワイヤ43を介して板部31の図示しないパッドに接続されている。
検出素子41の角筒部は、板部31に形成された流通孔31Aを介して小径部2A1と連通されている。
ASIC42Aは、ボンディングワイヤ44を介して板部31の図示しないパッドに接続されている。なお、図では、第一載置部311及び第二載置部312は、検出素子41やASIC42Aを載置するために、それぞれ凹部として図示されているが、本実施形態では、検出素子41やASIC42Aを載置できるものであれば、凹部に限定されるものではない。
コンデンサ42Bは、ASIC42Aや検出素子41に電気的に接続されている。コンデンサ42Bは半田または導電性接着剤によって板部31に固定されている。
これらの端子部5は、それぞれ平面が矩形状に形成されたパッドであり、それぞれの一端縁は壁部32の端縁と同じ位置とされる(図1参照)。なお、本実施形態では、端子部5の平面形状は矩形状に限定されるものではなく、端子部5の端縁は壁部32の端縁から離れているものであってもよい。また、端子部5の数は3つに限定されるものではない。
端子部5は、接続部材50を介して被取付部材2に設けられた外部端子22と接続されている。接続部材50は、ボンディングワイヤ、フレキシブル回路基板、電線等を例示することができる。
蓋本体部61は、パッケージ3を押さえる押さえ片部である。
蓋本体部61とパッケージ3の壁部32の頂部とはシールリング33を介して気密接合されている。
シールリング33は、パッケージ3の開口端に沿って形成されている(図1参照)。なお、第1実施形態では、蓋本体部61とパッケージ3との接合にあたり、シールリング33に代えて半田や低融点ガラス等を用いてもよい。
蓋用壁体62は、蓋本体部61と突出片部63とに端部が一体形成されるとともに弾性変形可能な弾性片部であり、パッケージ3の壁部32の外周面と対向する。蓋用壁体62の内周面とパッケージ3の壁部32の外周面との間には、所定の隙間が設けられている。
調整が済んだ物理量測定センサ1を被取付部材2に取り付ける。そのため、被取付部材2の小径部2A1にOリング21を配置し、その後、パッケージ3の底面をOリングシール面として物理量測定センサ1を被取付部材2に組み付ける。この際、被取付部材2の中径部2A2の平面にパッケージ3の板部31を当接する。この状態では、蓋体6の突出片部63が外周端から所定長さに渡って大径部2A3の底面に当接している。そして、ポンチPでかしめ部20を押圧することで、突出片部63が大径部2A3にかしめられることになる。
さらに、端子部5と被取付部材2上に設けられた外部端子22とを接続部材50で接続する。
すると、被測定流体は、パッケージ3の流通孔31Aを通って検出素子41に送り込まれ、検出素子41の板状部を変位させる。検出素子41の板状部が変位することで、検知部からボンディングワイヤ43を通じてASIC42A、コンデンサ42Bや、その他の電子部品に信号が送られる。また、ASIC42Aで増幅、調整された信号は、端子部5から接続部材50及び外部端子22を介して外部に出力される。
(1)流通孔31Aが板部31に形成されたセラミック製のパッケージ3と、このパッケージ3に収納され流通孔31Aから流通された被測定流体の圧力を検出する検出素子41を含む電子部品4と、パッケージ3の外部に設けられた端子部5と、パッケージ3の壁部32に接合された蓋体6と、パッケージ3を被取付部材2に取り付ける金属製の取付片とを備える。この取付片で、パッケージ3を押さえるとともに被取付部材2を係止したので、高圧の被測定流体がパッケージ3の底部に向けて流通してもパッケージ3が被取付部材2から外れることなく保持され、しかも、パッケージ3と被取付部材2との熱膨張係数の相違に伴って取付片の両端側が相対的に変形しても、取付片の中間部分が弾性であるため、当該相対的な変形を吸収できる。そのため、物理量測定センサ1で測定する被測定流体が高圧であっても、その測定が可能となる。
第2実施形態は蓋体の構成が第1実施形態とは異なるもので、他の構成は第1実施形態と同じである。
図4は、第2実施形態の物理量測定センサ1Aの全体構成を示す斜視図であり、図5は、物理量測定センサ1Aが被取付部材2に取り付けられた状態を示す断面図である。
図4及び図5において、物理量測定センサ1Aは、第1実施形態と同様に、電子部品4が収納され、かつ、端子部5が設けられたセラミック製のパッケージ3Aと、このパッケージ3Aの開口を覆う金属製の蓋体6Aと、を有する圧力センサである。
第2実施形態においても、蓋体6Aは、パッケージ3Aを被取付部材2に取り付ける取付片を兼ねる。なお、第2実施形態では、被取付部材2に小径部2A1及び流体導入路2Bが形成されており、第1実施形態のような中径部及び大径部が形成されていない。
蓋体6Aは、電子部品4を覆う平面略矩形状の蓋本体部61Aと、この蓋本体部61Aの両側に設けられた蓋用壁体62Aと、これらの蓋用壁体62Aにそれぞれ設けられた突出片部63Aとを有する。
突出片部63Aは、被取付部材2に係止される係止片部である。
蓋用壁体62Aと突出片部63Aとは、それぞれ蓋本体部61Aを挟んで配置されている。
蓋用壁体62Aは、蓋本体部61Aの突出片部63Aが配置される側の2辺にそれぞれ設けられている。蓋本体部61Aの残り2辺は、蓋用壁体62Aが配置されていない。蓋本体部61Aと蓋用壁体62Aとで区画される空間は、パッケージ3Aを収納する空間とされる。
蓋本体部61Aを挟んで対向配置されたリブ部632には、リブ部633が一体に形成されている。このリブ部633は蓋本体部61Aの周縁から切り立って形成されている。なお、本実施形態では、板部631の形状は、平面略三角形状に限定されるものではなく、他の平面形状、例えば、平面半円状、平面矩形状であってもよい。
板部631の一辺は、蓋用壁体62Aと接合され、板部631の他の二辺はそれぞれリブ部632と接合されている。
突出片部63Aは、締結具Bで被取付部材2に取り付けられる。板部631には締結具Bが挿通される孔630が形成されている。
締結具Bはボルト等の種々のものが利用できる。
(7)蓋用壁体62Aと突出片部63Aとがそれぞれ蓋本体部61Aを挟んで配置され、かつ、突出片部63Aが締結具Bで被取付部材2に取り付けられるから、物理量測定センサ1Aの被取付部材2への取り付けを容易かつ確実に行うことができる。
第3実施形態は、蓋体の構成が第1実施形態及び第2実施形態と異なるもので、他の構成は第1実施形態と同じである。
図6は、第3実施形態の物理量測定センサが被取付部材に取り付けられた状態の断面図である。
図6において、物理量測定センサ1Bは、電子部品4が収納され端子部5が頂部に設けられたセラミック製のパッケージ3Bと、このパッケージ3Bの開口を覆う金属製の蓋体6Bと、パッケージ3Bを被取付部材2に取り付ける取付片7と、を有する圧力センサである。
第3実施形態では、パッケージ3Bを被取付部材2に取り付けるために、蓋体6Bではなく、取付片7を別途用いる点で、第1実施形態及び第2実施形態と相違する。なお、第3実施形態では、第2実施形態と同様に、被取付部材2に小径部2A1及び流体導入路2Bが形成されており、第1実施形態のような中径部及び大径部が形成されていない。
蓋体6Bは、電子部品4を覆い壁部32の外周縁よりやや小さな平面略矩形状の金属製の平板である。蓋体6Bの端縁から端子部5が臨むようにされている。
蓋体6Bを構成する平板は、通常のパッケージに利用される蓋と同じ構造であり、パッケージ3Bの頂部に接合される。
取付片7は、パッケージ3Bの段差部3B1を押さえる押さえ片部71と、被取付部材2に係止される係止片部72と、押さえ片部71と係止片部72とに接続される弾性片部73とを有する。
押さえ片部71は、段差部3B1の平面部を押さえるものであり、その先端がパッケージ3Bに当接されている。
係止片部72は、被取付部材2の平面に図示しないボルトや溶接等で固定されている。
弾性片部73は、押さえ片部71と係止片部72との間での弾性変形を許容する部分である。
これらの押さえ片部71、係止片部72及び弾性片部73は弾性を有する金属板からプレスやその他の加工で一体形成される。
(9)取付片7を蓋体6Bとは別に設けたので、蓋体6B自体を従来の構造のものを利用することができる。そのため、蓋体6Bとパッケージ3Bとを封止する際に、従来と同様の手法を採用することができるので、封止作業が容易となる。
例えば、図1から図3で示される第1実施形態では、蓋用壁体62の外周に連続して形成された突出片部63を被取付部材2に形成された凹部2Aにかしめる構成としたが、突出片部63を凹部2Aに固定する構成は、これに限定されるものではなく、例えば、第2実施形態で示されるようなボルト等の締結具を用いて固定する構成としてもよく、さらには、メタルフロー、溶接等で固定する構成としてもよい。
図6で示される第3実施形態では、取付片7は、パッケージ3Bを挟んで4カ所配置されたが、取付片7の設置箇所を、パッケージ3Bを挟んで2箇所としてもよく、さらに、取付片7の形状を変更してリング状とすれば、1つの部材として構成することもできる。
また、第3実施形態では、押さえ片部71で押さえるためにパッケージ3Bの外側面に段差部3B1を形成したが、段差部3B1を省略してパッケージ3Bの外側面をストレート形状としてもよい。この場合、押さえ片部71はパッケージ3Bの頂部を押さえる構造としてもよい。押さえ片部71は、パッケージ3Bの頂部の一部(外周縁部)を押さえるようにしてもよく、あるいは、全部を押さえるようにしてもよい。押さえ片部71で、パッケージ3Bの頂部の外周縁部を押さえる場合には、蓋体6Bがパッケージ3Bの頂部の内周縁部に接合する構成としてもよい。押さえ片部71で、パッケージ3Bの頂部の全面を押さえる場合には、押さえ片部71をパッケージ3Bの平面上の中心に向けて延設し、押さえ片部71が蓋体を兼ねる構成としてもよい。
また、第1実施形態から第3実施形態では、物理量測定センサとして圧力センサを例示して説明したが、本発明では、これに限定されることはなく、例えば、差圧センサや温度センサにも適用可能である。
Claims (6)
- 流体導入路が形成された被取付部材に設けられる物理量測定センサであって、
前記被取付部材に対向し、前記流体導入路から導入される被測定流体を流通する流通孔が形成される板部とこの板部の周辺に前記被取付部材に対向して設けられ凹部を形成する壁部とを有するセラミック製のパッケージと、
このパッケージの凹部に収納され前記流通孔から流通された被測定流体の物理量を検出する検出素子を含む電子部品と、
前記電子部品と電気的に接続され前記パッケージの壁部の外部平面に設けられた端子部と、
前記壁部に接合され、前記端子部を前記セラミック製パッケージの外部に露出させる窓部とを有する蓋体と、
前記パッケージを前記被取付部材に取り付けるための金属製の取付片とを備え、
前記取付片は、前記パッケージを押さえ前記電子部品を覆う押さえ片部と、前記被取付部材に係止される係止片部と、前記押さえ片部と前記係止片部とに端部が一体形成されるとともに弾性変形可能な弾性片部とを有する
ことを特徴とする物理量測定センサ。 - 請求項1に記載された物理量測定センサにおいて、
前記蓋体は、金属製であり、かつ、前記電子部品を覆う蓋本体部と、この蓋本体部に一体に形成され前記壁部に対向する蓋用壁体と、この蓋用壁体に一体形成された突出片部とを有し、
前記蓋本体部は前記押さえ片部であり、
前記蓋用壁体は前記弾性片部であり、
前記突出片部は前記係止片部である
ことを特徴とする物理量測定センサ。 - 請求項2に記載された物理量測定センサにおいて、
前記蓋用壁体と前記突出片部とはそれぞれ前記蓋本体部を挟んで配置され、かつ、前記突出片部は締結具で被取付部材に取り付けられる
ことを特徴とする物理量測定センサ。 - 請求項3に記載された物理量測定センサにおいて、
前記突出片部は、前記蓋本体部の平面と平行に延びて形成された板部と、この板部の端部に切り立って形成され前記蓋用壁体と接続されるリブ部とを備え、
前記板部には前記締結具が挿通される孔が形成されている
ことを特徴とする物理量測定センサ。 - 請求項2から請求項4のいずれかに記載された物理量測定センサにおいて、
前記突出片部は前記蓋用壁体の外周に連続して形成されたリング部であり、このリング部は前記被取付部材に形成された凹部にかしめられる
ことを特徴とする物理量測定センサ。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載された物理量測定センサにおいて、
前記蓋体と前記パッケージとが封止される
ことを特徴とする物理量測定センサ。
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