JP3915605B2 - 圧力センサ装置 - Google Patents
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- G01L9/0055—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements bonded on a diaphragm
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、センシング部としてのダイアフラムを有するステムを複数個備える圧力センサ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、複数個の圧力センサを備えるシステムとしては、例えば自動車の電子ブレーキ制御システムがある。このものは各車輪のブレーキ油圧等、複数の圧力を検出するために複数個の圧力センサを必要としている。
【0003】
このような場合、図10に断面図として示すように、例えばブレーキ装置のアクチュエータなどの被測定部材K1にセンサ取り付け用の貫通穴200を形成して、圧力センサ210を1個ずつ被測定部材K1に挿入して取り付けている。ここで、圧力センサ210と貫通穴200とはかしめにより形成されたかしめ部220により固定され、さらに両者はOリング230を介してシールされている。
【0004】
そして、個々の圧力センサ210に対しては図10中の下方から圧力が導入され、検出された圧力に基づく電気信号がピン240から外部に出力されるようになっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来では、複数個の圧力センサ210を1個ずつ直接被測定部材K1に取り付けていたため、ある1個の圧力センサ210が故障した場合、被測定部材K1ごと取り替える必要があった。上述したように被測定部材K1はアクチュエータ等の高価なものであるため、コスト的に不利である。
【0006】
そこで、本発明者らは複数個の圧力センサをユニット化し、このようなユニットとして被測定部材に取り付ければ、あるセンサが故障しても被測定部材から当該ユニットを取り外すことで上記問題を解決できると考えた。
【0007】
すなわち、本発明の目的は、複数個の圧力センサをユニット化して被測定部材への取り付けを適切に行えるような圧力センサ装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、一端側にダイアフラム(21)およびこのダイアフラムの歪みを検出する歪みゲージ部(23)を有し、他端側にダイアフラムに圧力を導入するための開口部(22)を有する中空筒状の複数個のステム(20)と、一面側から他面側に貫通する複数個の貫通穴(11)を有するハウジング(10)とを備え、貫通穴には、ハウジングの一面側にダイアフラム側が露出し且つハウジングの他面側に開口部側が露出するように、個々のステムが挿入固定されており、ステムの他端側の端面(22a)がハウジングの他面よりも奥まって貫通穴の内部に位置しており、貫通穴の内部にはステムの他端側の端面に隣り合った位置にシール部材(30)が設けられており、ハウジングと共に複数個のステムを被測定部材(K1)へ搭載したときに、シール部材を介して被測定部材とステムの他端側の端面との間がシールされるようになっていることを特徴とする。
【0009】
それによれば、各ステムは開口部から圧力を導入しこの圧力をダイアフラムで受圧して歪みゲージ部にてセンシングするという1個のセンサとして機能する。そして、複数個のステムがハウジングによって一体化、すなわちパッケージ化されることにより、このハウジングを介して被測定部材に装着可能となる。
【0010】
よって、あるステムが故障したとしても、ハウジングを被測定部材から取り外して交換すれば良く、被測定部材ごとを取り替える必要はなくなる。
【0011】
また、単純にハウジングに複数個のセンサを取り付けた場合、各部のシール構成が複雑化するなどの問題となるが、本発明では、各ステムと被測定部材との間にシール部材を設けるだけでシール性を確保できる。つまり、被測定部材からの圧力はステムの開口部から導入されるが、この圧力導入部分はシール部材にてシールされており圧力の漏れはない。
【0012】
また、ステムの他端側の端面をハウジングの他面よりも奥まって貫通穴の内部に位置させることで空いたスペースにシール部材を設けている。そのため、シール部材を貫通穴内に保持することができ、シール部材の取り扱い性に優れる。さらに、装置側すなわちハウジングにシール部材を保持できるため、被測定部材側にシール部材を保持するための凹部などを設けるといった手間が不要となる。
【0013】
また、装置側のシール面は、ハウジングの他面よりも奥まって位置するステムの他端側の端面である。そのため、シール面が傷つくのを防止できるとともに、ハウジングにシール面を持たせることが不要となり、ハウジングの材質や加工などの面で制約を低減することができる。
【0014】
このように、本発明の圧力センサ装置によれば、単純に複数個の圧力センサをユニット化しただけでなく、上記した種々の効果を有するものとなる。そのため、本発明によれば、複数個の圧力センサをユニット化して被測定部材への取り付けを適切に行えるような圧力センサ装置を提供することができる。
【0015】
また、請求項2に記載の発明では、個々のステム(20)における一端側の外面と貫通穴(11)の内面との間には隙間(13)が設けられていることを特徴とする。
【0016】
ダイアフラムおよび歪みゲージ部はステムにおけるセンシング部を構成し、センサ特性を決定する部位であるが、本発明では、ステムにおけるセンシング部がハウジングと非接触状態にできるため、ステムとハウジングとの熱膨張係数の差などによる応力がセンシング部に加わるのを抑制できる。そのため、良好なセンサ特性を確保できる。
【0017】
また、請求項3に記載の発明では、ステム(20)は段差部(25)を介して大径部(27)と小径部(26)とを有するものであり、貫通穴(11)の内面はステムの外形に対応した段付形状をなしており、ステムは大径部において貫通穴に圧入されて固定されており、ステムの段差部の角部は面取りが施されていることを特徴とする。
【0018】
ステムを貫通穴に圧入すると互いの段差部で当たってステムが止まり、ステムの軸方向の位置決めがなされる。そのとき、ステムがハウジングを削り、その削りかすが互いの段差部の間に溜まり、溜まった削りかすの厚みによってステムの軸方向の位置がばらつく可能性がある。
【0019】
その点、本発明では、ステムの段差部の角部に面取りを施すことにより、貫通穴とステムの面取り部との間に上記削りかすを溜めるスペースが形成され、ステムの位置決めに有利である。
【0020】
また、請求項4に記載の発明では、ハウジング(10)はダイカスト加工により成形されたものであることを特徴とする。
【0021】
上述したように、ステムにシール面があるためハウジングにはシール面を持たせることが不要となる。すなわちシール面を持つ場合に必要な平坦性や気密性といった制約がハウジングには不要となる。そのため、安価なダイカスト加工にてハウジングを形成することができる。
【0022】
また、請求項5に記載の発明では、ハウジング(10)においては、その周辺部および貫通穴(11)の周囲を除く部位が他の部位よりも肉薄となっていることを特徴とする。
【0023】
ハウジングを全体が均一な肉厚であるものとした場合、反りなどが発生しやすいが、本発明によれば、そのような反りを防止し強度を向上させたハウジングを実現できる。また、必要な部位のみを肉厚とし、それ以外を肉薄とすることでハウジングの軽量化が図れる。
【0024】
また、請求項6に記載の発明では、複数個の貫通穴(11)は千鳥形状に配置されていることを特徴とする。
【0025】
それによれば、複数個の貫通穴を面積的に効率良く配置することができ、圧力センサ装置の小型化に有利である。
【0026】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図に示す実施形態について説明する。図1は本発明の実施形態に係る圧力センサ装置S1の全体概略断面図、図2は図1の上視平面図でありカバー60を取り除いた状態で示してある。また、図3は図1中のハウジング10単体を示す厚み方向の断面図、図4は図3の上視平面図である。
【0028】
この圧力センサ装置S1は自動車の電子ブレーキ制御システムに適用され、ブレーキ油圧等を検出するものである。圧力センサ装置S1は、金属や樹脂等により成形された板状のハウジング10を備えており、このハウジング10は本例ではアルミダイカスト加工により成形されたものである。
【0029】
図3および図4に示すように、ハウジング10には一面(図3中の上面)側から他面(図3中の下面)側に貫通する複数個の貫通穴11が形成されている。また、このハウジング10はその他面側にて被測定部材であるアクチュエータK1(図5参照)上に搭載される。
【0030】
ハウジング10の他面側には樹脂などからなる位置決めピン10aが形成されており、この位置決めピン10aは被測定部材に設けられた穴に挿入される。そして、ハウジング10は、その周辺部に形成されているネジ穴12によりアクチュエータK1にネジ結合されるようになっている。
【0031】
本例では、ハウジング10の各貫通穴11は7個形成されており、図2、図4に示すように、千鳥状に配置されている。また、図4に示すように、ハウジング10においては、その周辺部および貫通穴11の周囲を除く部位が他の部位よりも肉薄な肉薄部10bとなっている。例えばハウジング10の一面(図3中の上面)側においてこの肉薄部10bの面と肉厚部の面とは約2mm以上の段差を有している。
【0032】
そして、各貫通穴11にはセンシング部としての金属製のステム20が挿入され固定されている。図5はこのステム20の拡大断面を示す図である。また、図6はステム20をダイアフラム21側からみた図すなわち図5の上視図であり、さらに、図7はステム20の軸方向に沿った断面を示す斜視図である。
【0033】
図5〜図7に示すように、ステム20は、有底中空円筒形状をなすものである。ステム20を構成する金属材料には、具体的にFe、Ni、CoまたはFe、Niを主体とし、必要強度によっては析出強化材料としてTi、Nb、Alまたは、Ti、Nbが加えられた材料を選定し、形成できる。
【0034】
ステム20は、その一端側すなわち底部側に圧力の印加により歪み可能なダイアフラム21を有し、その他端側にダイアフラム21に圧力を導入するための開口部22を有する。また、ダイアフラム21の表面にはシリコン基板等の半導体基板からなる矩形板状のセンサチップ23が低融点ガラス等の接着材24を介して固定されている。
【0035】
このセンサチップ23は、ダイアフラム21が歪んだときにその歪みを検出する歪みゲージ部として構成されている。例えば、シリコン基板に拡散抵抗を形成し、この拡散抵抗によってフルブリッジまたはハーフブリッジなどのブリッジ回路を形成し、ダイアフラム21の歪みに基づく電気信号を出力可能としている。なお、図6に示すように、センサチップ23には、ステム20の軸回りの位置決めを行うための目視可能なマーク23aが形成されている。
【0036】
また、図5に示すように、ステム20のダイアフラム21部分およびセンサチップ23は貫通穴11から突出してハウジング10の一面側に露出している。一方、ステム20の開口部22側は、ハウジング10の他面側に露出している。ただし、ステム20の他端側の端面22aすなわち開口部22の縁部22aはハウジング10の他面よりも奥まって貫通穴11の内部に位置している。
【0037】
このように筒状のステム20はその軸方向(長手方向)に沿って貫通穴11に挿入されている。また、ステム20は外面に段差部25を有し、この段差部25を介してダイアフラム21側(一端側)が小径部26、開口部22側(他端側)が大径部27となっている。ここで、図5や図7に示すように段差部25の角部には面取りが施され、面取り部25aが形成されている。
【0038】
そして、貫通穴11の内面はステム20の外形に対応した段付形状をなしている。すなわち貫通穴11は段付内孔であり、ステム20はその大径部27において貫通穴11に圧入されることでハウジング10に固定されている。この貫通穴11に対するステム20の取付は次の図8に示すようにしてなされる。
【0039】
図8に示すように、貫通穴11においてハウジング10の他面側からステム20のダイアフラム21側を挿入していく。そして、ステム20の段差部25が貫通穴11の段部11aに当たって止まり位置決めがなされる。このようなステム20における段差部25の大きさは、小径部26と大径部27との直径の差にして1mm以上の差を持たせる程度の大きさとしている。
【0040】
また、詳しくは図5に示すように、個々のステム20におけるダイアフラム21側(一端側)の外面すなわち小径部26の外面と貫通穴11の内面との間には隙間13が設けられている。この隙間13の大きさは例えば0.2mm以上とすることができる。
【0041】
また、貫通穴11の内部にはステム20の他端側(開口部22側)の端面22aに隣り合った位置にシール部材30が設けられている。このシール部材30は弾性を有し気密性に優れたものを用いることができる。本例ではシール部材30としてOリング30を用いている。
【0042】
そして、図5に示すように、ハウジング10と共に複数個のステム20を被測定部材K1へ搭載したときに、Oリング30を介して被測定部材K1とステム20の他端側の端面22aとの間がシールされるようになっている。これにより、被測定部材K1からの圧力Pはステム20の開口部22からダイアフラム21の裏面に対して漏れなく印加されるようになっている。
【0043】
また、図1、図2に示すように、ハウジング10の一面上にはステム20のセンサチップ23から出力される信号を増幅したり調整したりするなど信号処理を行うための回路基板(本例ではプリント基板)40が搭載されハウジング10に固定されている。
【0044】
回路基板40には信号処理用のICパッケージ41やコンデンサ42などが実装されている。そして、図2に示すように、ステム20のセンサチップ23は回路基板40のパッド43に対して、ワイヤボンディングなどにより形成されたワイヤ50により結線され電気的に接続されている。なお、図1ではワイヤ50は省略してある。
【0045】
ここで、回路基板40とハウジング10との固定は図示しない接着剤によりなされる。この接着剤は上記回路基板40におけるパッド43の直下には必ず存在させることが好ましい。これは、回路基板40におけるパッド43の部分を十分に固定し、ワイヤボンディングの超音波パワーを確実にワイヤ50に伝えるためである。
【0046】
また、回路基板40とハウジング10とを固定するための上記接着剤は、ステム20と貫通穴11との隙間13に流れ込む懸念がある。隙間13に当該接着剤が流れ込んだ場合、接着剤のヤング率が高いとダイアフラム21に対してセンサ特性上無視できない応力を発生する可能性がある。そのため、本発明者らの検討によれば、当該接着剤のヤング率は100MPa以下であることが好ましい。
【0047】
また、図2に示すように、回路基板40の周辺部には外部と接続するためのリードピン44がはんだ45などにより電気的・機械的に接続されている。こうして、センサチップ23からの電気信号は回路基板40にて処理され、リードピン44を介して外部に出力される。
【0048】
また、図1に示すように、回路基板40の上は、ポリブチレンテレフタレート(PBT)などの樹脂などからなるカバー60により覆われており機械的な保護をなしている。このカバー60は、ハウジング10に対して圧入や接着などにより固定される。図9はカバー60で覆った状態を示す概略平面図である。
【0049】
ここで、図1、図9に示すように、リードピン44は途中部で曲げられてカバー60の上に重なるとともにカバー60に近接して配置されている。これにより、リードピン44が図1中の上方から押し付け力を受けてたわんだ場合に、リードピン44がカバー60に当たって支持される。そのため、リードピン44における過大な変形を防止したり、リードピン44におけるはんだ接合部の破損等が防止できる。
【0050】
このような圧力センサ装置S1は例えば次のようにして製造される。切削加工やプレス加工等により形成された中空円筒状のステム20に対し、低融点ガラスからなる接着材24を印刷しこれを仮焼成する。そして接着材24の上に半導体製造プロセスなどにより形成されたセンサチップ23を組み付け、焼成することでステム20にセンサチップ23を固定する。
【0051】
次に、アルミダイカスト加工により形成されたハウジング10の各貫通穴11に対して、上記図8に示すようにステム20を圧入し固定する。このとき、上記図6に示したセンサチップ23のマーク23aを画像認識などにより確認しながら、ステム20の軸回りの位置決めを行う。それにより、正確なワイヤボンディングが可能となる。
【0052】
次に、ハウジング10に回路基板40を接着などにより組み付け固定する。その後、センサチップ23と回路基板40のパッド43とをワイヤボンディングすることにより結線する。そして、図示しないが、回路基板40上においてICパッケージ41の接続部やワイヤ50の接続部を保護するためにゲルを塗布し硬化させる。
【0053】
その後、カバー60を組み付け、さらにリードピン44を回路基板40にはんだ付けする。こうして上記圧力センサ装置S1が完成する。
【0054】
ところで、本実施形態によれば、各ステム20はその開口部22から圧力を導入しこの圧力をダイアフラム21で受圧して歪みージ部としてのセンサチップ23にてセンシングするという1個のセンサとして機能する。そして、複数個のステム20がハウジング10によって一体化、すなわちパッケージ化されることにより、このハウジング10を介して被測定部材K1に装着可能となる。
【0055】
よって、あるステム20が故障したとしても、ハウジング10を被測定部材K1から取り外して交換すれば良く、従来のように被測定部材K1ごと取り替える必要はなくなる。
【0056】
また、単純にハウジングに複数個のセンサを取り付けた場合、各部のシール構成が複雑化するなどの問題となるが、本実施形態では、各ステム20と被測定部材K1との間にシール部材としてのOリング30を設けるだけでシール性を確保できる。つまり、被測定部材K1からの圧力はステム20の開口部22から導入されるが、この圧力導入部分はOリング30にてシールされており圧力の漏れはない。
【0057】
また、ステム20の他端側の端面22aをハウジング10の他面よりも奥まって貫通穴11の内部に位置させることで、空いたスペースにOリング30を設けている。そのため、Oリング30を貫通穴11内に保持することができ、Oリング30の取り扱い性に優れる。
【0058】
さらに、装置S1側すなわちハウジング10にOリング30を保持できるため、被測定部材K1側にOリング30を保持するための溝などを設けるといった手間が不要となる。
【0059】
また、装置S1側のシール面は、ハウジング10の他面よりも奥まって位置するステム20の他端側の端面22aである。そのため、シール面22aが傷つくのを防止できるとともに、ハウジング10にシール面を持たせることが不要となり、ハウジング10の材質や加工などの面で制約を低減することができる。
【0060】
このように、本圧力センサ装置S1によれば、単純に複数個の圧力センサすなわちステム20をユニット化しただけでなく、上記した種々の効果を有するものとなる。そのため、本実施形態によれば、複数個のステム20をユニット化して被測定部材K1への取り付けを適切に行えるような圧力センサ装置を提供することができる。
【0061】
また、本実施形態では、個々のステム20における一端側の外面すなわち小径部26の外面と貫通穴11の内面との間には隙間13が設けられている。ダイアフラム21および歪みゲージ部としてのセンサチップ23はステム20におけるセンシング部を構成し、センサ特性を決定する部位である。
【0062】
本実施形態では、ステム20のセンシング部がハウジング10と非接触状態にできるため、ステム20とハウジング10との熱膨張係数の差などによる応力が当該センシング部に加わるのを抑制できる。そのため、良好なセンサ特性を確保できる。
【0063】
また、上述したように、ステム20を貫通穴11に圧入すると互いの段差部11a、25で当たってステム20が止まり、ステム20の軸方向の位置決めがなされる。そのとき、ステム20がハウジング10を削り、その削りかすが互いの段差部11a、25の間に溜まり、溜まった削りかすの厚みによってステム20の軸方向の位置がばらつく可能性がある。
【0064】
その点、本実施形態では、ステム20の段差部25の角部に面取りを施すことにより、貫通穴11とステム10の面取り部25aとの間に上記削りかすを溜めるスペースが形成され、ステム20の位置決めに有利である。
【0065】
また、本実施形態では、ハウジング10はダイカスト加工により成形されたものにできる。上述したように、ステム20にシール面があるためハウジング10にはシール面を持たせることが不要となる。すなわちシール面を持つ場合に必要な平坦性や気密性といった制約がハウジング10には不要となる。そのため、安価なダイカスト加工にてハウジング10を形成することができる。
【0066】
また、本実施形態では、ハウジング10において、その周辺部および貫通穴11の周囲を除く部位が他の部位よりも肉薄となっている。もし、ハウジング10を全体が均一な肉厚であるものとした場合、反りなどが発生しやすいが、本実施形態によれば、そのような反りを防止し強度を向上させたハウジング10を実現できる。また、必要な部位のみを肉厚とし、それ以外を肉薄とすることでハウジング10の軽量化が図れる。
【0067】
また、本実施形態では、複数個の貫通穴11を千鳥形状に配置しているため、複数個の貫通穴11を面積的に効率良く配置することができ、圧力センサ装置S1の小型化に有利である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係る圧力センサ装置の全体概略断面図である。
【図2】図1の圧力センサ装置におけるカバーを取り除いた状態の上視図である。
【図3】図1中のハウジング単体を示す断面図である。
【図4】図3の上視平面図である。
【図5】図1中のステムの拡大断面図である。
【図6】図5の上視図である。
【図7】ステムの一部断面斜視図である。
【図8】ハウジングの貫通穴に対するステムの取付の様子を示す断面図である。
【図9】図1に示す圧力センサ装置におけるカバーをつけた状態を示す概略平面図である。
【図10】従来における複数個の圧力センサを被測定部材に取り付けた状態を示す概略断面図である。
【符号の説明】
10…ハウジング、11…貫通穴、13…隙間、20…ステム、
21…ダイアフラム、22…開口部、22a…ステムの他端側の端面、
23…センサチップ、25…段差部、30…Oリング、K1…被測定部材。
Claims (6)
- 一端側にダイアフラム(21)およびこのダイアフラムの歪みを検出する歪みゲージ部(23)を有し、他端側に前記ダイアフラムに圧力を導入するための開口部(22)を有する中空筒状の複数個のステム(20)と、
一面側から他面側に貫通する複数個の貫通穴(11)を有するハウジング(10)とを備え、
前記貫通穴には、前記ハウジングの一面側に前記ダイアフラム側が露出し且つ前記ハウジングの他面側に前記開口部側が露出するように、個々の前記ステムが挿入固定されており、
前記ステムの他端側の端面(22a)が前記ハウジングの他面よりも奥まって前記貫通穴の内部に位置しており、
前記貫通穴の内部には前記ステムの他端側の端面に隣り合った位置にシール部材(30)が設けられており、
前記ハウジングと共に前記複数個のステムを被測定部材(K1)へ搭載したときに、前記シール部材を介して前記被測定部材と前記ステムの他端側の端面との間がシールされるようになっていることを特徴とする圧力センサ装置。 - 個々の前記ステム(20)における前記一端側の外面と前記貫通穴(11)の内面との間には隙間(13)が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ装置。
- 前記ステム(20)は段差部(25)を介して大径部(27)と小径部(26)とを有するものであり、前記貫通穴(11)の内面は前記ステムの外形に対応した段付形状をなしており、
前記ステムは前記大径部において前記貫通穴に圧入されて固定されており、
前記ステムの前記段差部の角部は面取りが施されていることを特徴とする請求項1または2に記載の圧力センサ装置。 - 前記ハウジング(10)はダイカスト加工により成形されたものであることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の圧力センサ装置。
- 前記ハウジング(10)においては、その周辺部および前記貫通穴(11)の周囲を除く部位が他の部位よりも肉薄となっていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載の圧力センサ装置。
- 前記複数個の貫通穴(11)は千鳥形状に配置されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一つに記載の圧力センサ装置。
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