JP6714439B2 - 歪検出器及びその製造方法 - Google Patents
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Description
歪検出器の従来例として、シリコーンウェハのダイアフラム部に歪ゲージ抵抗が拡散形成された感圧ダイアフラムチップをステム兼用の印刷基板に搭載し、チップの表面電極と印刷基板との間をワイヤで接続した半導体圧力センサがある(特許文献1)。
従来例の半導体圧力センサでは、シリコーンゲルの厚さが感圧ダイアフラムチップの中央部で厚く、周辺部で薄くなると、温度変化に伴って生じる応力が均一とならず、このことが圧力検出の感度に悪影響を与えることになる。
そのため、ケースに収納された感圧ダイアフラムチップ及びワイヤにシリコーンゲルを充填し、その後、ケースからシリコーンゲルを吸い出して感圧ダイアフラムチップ及びワイヤの表面全体に均一となるようにシリコーンゲルを塗布している。
しかも、絶縁性樹脂層は電極パッド及び配線ワイヤを覆うことがなく、これらの電極パッドと配線ワイヤとは露出されている。絶縁性樹脂層を形成する際に、電極パッドと配線ワイヤとが接続されていないので、配線ワイヤが邪魔になることがなく、歪検出器の製造作業が簡略化される。
その上、歪ゲージは、4本の抵抗を備え、絶縁性樹脂層は、4本の抵抗をそれぞれ覆うことになるので、必要な箇所にのみ絶縁性樹脂層を形成することになり、使用する絶縁性樹脂の量が少なくてすみ、製造コストを抑えることができる。
なお、本発明において、歪ゲージの上を絶縁性樹脂層で覆うとは、歪ゲージの上に直接絶縁性樹脂層を設ける場合だけでなく、歪ゲージの上に中間層を設け、この中間層の上に絶縁性樹脂層を設ける場合も含まれる。
本発明の歪検出器では、絶縁性樹脂層の厚さは、2μm以上500μm以下という適正な範囲としたので、表面電荷の影響を少なくすることができるとともに歪検出精度を良好なものにできる。つまり、絶縁性樹脂層の厚さが2μm未満であると、層の厚さが薄すぎて、表面電荷の影響を少なくすることができない。絶縁性樹脂層の厚さが500μmを超えると、層の厚さが厚すぎて、歪ゲージの変位が阻害されることになり、歪検出精度が不良となる。
この構成では、絶縁性樹脂層の硬さを適正な範囲としたので、歪検出精度を良好なものにできる。
つまり、絶縁性樹脂層のショアA硬さが10未満であると、層が柔らかすぎて、絶縁性樹脂層の形状を維持できない。絶縁性樹脂層のショアA硬さが100を超えると、層が硬すぎることになり、歪ゲージの変位が阻害され、歪検出精度が不良となる。
本発明の歪検出器の製造方法は、外部応力により歪が発生する起歪部と、前記起歪部の少なくとも一部に形成される絶縁膜と、前記絶縁膜の上に形成され前記起歪部により発生した歪を電気信号として検出する歪ゲージと、前記歪ゲージに接続される電極配線と、前記電極配線から延設され電気信号を外部に取り出す電極パッドと、前記電極パッドに接続される配線ワイヤと、平面視において、前記電極パッド及び前記配線ワイヤと重ならない位置で、かつ、前記歪ゲージ及び前記電極配線の上に配置される保護膜と、を備え、絶縁性樹脂層の厚さが2μm以上500μm以下であり、前記保護膜はシリコン窒化膜から形成され前記絶縁性樹脂層に覆われ、前記歪ゲージは4本の抵抗を備える歪検出器を製造する方法であって、前記電極パッドに前記配線ワイヤを接続する前に、前記電極パッドを覆うことなく、少なくとも前記4本の抵抗の上を、シリコーン樹脂から帯状に形成された前記絶縁性樹脂層でまとめて覆うことを特徴とする。
本発明では、歪検出器を組み立てるには、まず、起歪部の上に絶縁膜を形成し、この絶縁膜の上に歪ゲージ、電極配線及び電極パッドを形成する。そして、電極パッドを覆うことなく露出させた状態で、少なくとも歪ゲージの上に、直接又は中間層を介して間接に、絶縁性樹脂層を形成する。この状態では、歪ゲージの上が絶縁性樹脂層で覆われており、歪ゲージに及ぼす表面電荷の影響が少ないものとなる。そのため、配線ワイヤを電極パッドと接続する前に、歪ゲージ近傍が表面電荷の影響を受けることが少ないので、歪検出器の管理が容易となる。
そして、電極パッドと配線ワイヤとを接続する。電極パッドは絶縁性樹脂層で覆われることなく、露出しているので、配線ワイヤとの接続作業にあたり、絶縁性樹脂層が邪魔となることがない。
[第1実施形態]
図1には、第1実施形態の歪検出器が示されている。図1(A)は歪検出器の平面図、図1(B)は歪検出器を模式的に示す断面図である。
[歪検出器の構成]
これらの図において、歪検出器1は、感圧エレメント10と、感圧エレメント10に形成される検出部11とを備えている。検出部11は、感圧エレメント10に設けられた絶縁膜12と、絶縁膜12の上に形成される歪ゲージ13と、歪ゲージ13に接続される電極配線14と、電極配線14から延設される4つの電極パッド15と、電極パッド15に接続される配線ワイヤ16と、絶縁膜12、歪ゲージ13及び電極配線14の上に配置された保護膜18と、保護膜18と電極配線14の一部とを覆う絶縁性樹脂層17と、を備えて構成されている。なお、図1(B)は歪検出器を模式的に示すものであり、検出部11の層構成をわかりやすくするために、絶縁膜12、歪ゲージ13、電極配線14、電極パッド15及び保護膜18の厚さが誇張して示されている。
筒状部10A及び起歪部10Bの一端面は同一平面に形成されるとともに、鏡面仕上げされた薄膜形成面10Cとされる。
絶縁膜12は薄膜形成面10Cの全面に蒸着、塗布、又は、印刷により形成されている。絶縁膜12は、例えば、シリコン酸化被膜から形成されている。
歪ゲージ13は4本の抵抗R1,R2,R3,R4を有するブリッジ回路を構成する。
抵抗R1と抵抗R2との間、抵抗R2と抵抗R3との間、抵抗R3と抵抗R4との間及び抵抗R4と抵抗R1との間をそれぞれ接続する接続部130が絶縁膜12の平面に形成されている。歪ゲージ13と接続部130とは同一の薄膜として、蒸着やスパッタリングによって絶縁膜12の平面に形成されている。歪ゲージ13と接続部130とは、半導体材料又は金属材料から形成され、その厚さは絶縁性樹脂層17の厚さに比べて無視できる程薄い。
電極パッド15は、電極配線14から延設されるものであって、電気信号を外部に取り出すために外部に露出して形成されている。
電極パッド15は、配線ワイヤ16をボンディングするためのボンディング面15Aを有する。
絶縁性樹脂層17は、シリコーン樹脂から形成されるものであり、その上面は、図1(B)では、薄膜形成面10Cと平行な平坦とされている。なお、本実施形態では、絶縁性樹脂層17の上面の形状は、平坦であることに限定されるものではなく、凹状あるいは凸状であってもよい。
第1実施形態において、絶縁性樹脂層17の厚さtは、保護膜18の上面と絶縁性樹脂層17の上面との間の寸法であり、2μm以上500μm以下である。絶縁性樹脂層17の厚さが2μm未満であると、層の厚さが薄すぎて、表面電荷の影響を少なくすることができない。絶縁性樹脂層17の厚さが500μmを超えると、層の厚さが厚すぎて、歪ゲージの変位が阻害されることになり、歪検出精度が不良となる。
絶縁性樹脂層17は、ショアA硬さが10以上100以下である。ショアA硬さが10未満であると、層が柔らかすぎて、絶縁性樹脂層17の形状を維持できない。ショアA硬さが100を超えると、層が硬すぎることになり、歪ゲージの変位が阻害され、歪検出精度が不良となる。
保護膜18は、シリコン酸化膜、又は、シリコン窒化膜からなる。保護膜18の上には絶縁性樹脂層17が配置されている。
次に、歪検出器1の製造方法を説明する。
まず、感圧エレメント10を製造しておく。感圧エレメント10の筒状部10A及び起歪部10Bの端面は薄膜形成面10Cであり、この薄膜形成面10Cの全面に蒸着等により絶縁膜12を形成する。
絶縁膜12の上に歪ゲージ13及び接続部130を蒸着等により形成し、その後、電極配線14及び電極パッド15を蒸着等により形成する。
絶縁膜12、歪ゲージ13及び電極配線14の上に保護膜18を形成する。この際、保護膜18で歪ゲージ13を覆うが、電極パッド15を覆うことがないようにする。
なお、4つの電極パッド15が絶縁性樹脂層17で覆われないようにするために、4つの電極パッド15に図示しないマスクを配置してもよい。
そして、露出されている電極パッド15に配線ワイヤ16をボンディングする。
(1)起歪部10Bと、起歪部10Bに形成される絶縁膜12と、絶縁膜12の上に形成され起歪部10Bにより発生した歪を電気信号として検出する歪ゲージ13と、歪ゲージ13に接続される電極配線14と、電極配線14から延設される電極パッド15と、電極パッド15に接続される配線ワイヤ16と、電極パッド15及び配線ワイヤ16を覆うことなく、歪ゲージ13の上を覆う絶縁性樹脂層17とを備えて歪検出器1を構成した。そのため、歪ゲージ13の上を絶縁性樹脂層17で覆うことにより、歪ゲージ13の近傍での表面電荷の変化を少なくし、歪測定精度を良好に保つことができる。しかも、絶縁性樹脂層17は電極パッド15及び配線ワイヤ16を覆うことがないから、絶縁性樹脂層17を形成する際に、配線ワイヤ16が邪魔になることがなく、歪検出器1の製造作業が簡略化される。
(3)絶縁性樹脂層17を、シリコーン樹脂から形成し、かつ、ショアA硬さが10以上100以下の適正な範囲としたから、歪検出精度を良好なものにできる。
次に、本発明の第2実施形態を図2に基づいて説明する。
第2実施形態の歪検出器2は、絶縁性樹脂層17の構成が第1実施形態の歪検出器1と異なるものであり、他の構成は第1実施形態と同じである。
図2には、第2実施形態の歪検出器の平面図が示されている。
図2において、歪検出器2は検出部11を備え、検出部11は、絶縁膜12、歪ゲージ13、電極配線14、電極パッド15、配線ワイヤ16、絶縁性樹脂層27及び保護膜18を備えて構成されている。絶縁性樹脂層27は、少なくとも4本の抵抗R1,R2,R3,R4を個別に覆う構成である。
図2では、第一樹脂層271、第二樹脂層272、第三樹脂層273及び第四樹脂層274の平面形状は、それぞれ矩形状とされているが、本実施形態では、矩形状に限定されるものではなく、ドット状(円形)、その他の形状であってもよい。
そして、電極配線14の一部及び保護膜18の上に絶縁性樹脂層27を形成する。この際、塗布手段としてノズルを用いる場合には、所定位置でシリコーン樹脂を塗布する。
(5)絶縁性樹脂層27は、抵抗R1を覆う第一樹脂層271と、抵抗R2を覆う第二樹脂層272と、抵抗R3を覆う第三樹脂層273と、抵抗R4を覆う第四樹脂層274とを備えて構成したから、必要な箇所にのみ絶縁性樹脂層27を形成することで、使用するシリコーン樹脂の量が少なくてすみ、製造コストを抑えることができる。
次に、本発明の第3実施形態を図3及び図4に基づいて説明する。
第3実施形態は、第1実施形態の歪検出器1をセンサモジュール4に組み込んだものである。
図3には、センサモジュール4の全体構成が示されている。
図3において、センサモジュール4は、歪検出器1と、歪検出器1のフランジ100に係合される中継端子台41と、中継端子台41に設けられた樹脂製カバー42と、中継端子台41及び樹脂製カバー42の外周部に設けられた外筒43と、歪検出器1と接続される電線44とを備えている。
樹脂製カバー42は、中継端子台41を覆うものであり、キャップ状に形成されている。樹脂製カバー42の中央には電線44を挿通する挿通孔44Aが形成されている。
図4には、図3の要部が拡大して示されている。図4において、配線ワイヤ16は、円盤部411に形成された挿通孔41Aに挿通されている。
従って、第3実施形態では、第1実施形態と同様の効果を奏することができる。
なお、本発明は前述の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記各実施形態では、電極配線14の一部及び保護膜18の上に絶縁性樹脂層17を形成したが、本発明では、保護膜18を省略した構成としてもよい。
つまり、図5に示される通り、直接、絶縁膜12、歪ゲージ13の一部及び電極配線14の一部を絶縁性樹脂層17で覆う構成としてもよい。この場合、絶縁性樹脂層17の厚さは、絶縁膜12の上面と絶縁性樹脂層17の上面との間の寸法である。
図5で示される歪検出器を製造するために、絶縁膜12の上に歪ゲージ13及び接続部130を形成し、電極配線14及び電極パッド15を形成し、4つの電極パッド15を覆うことなく露出させた状態で、電極配線14の一部及び歪ゲージ13の上に絶縁性樹脂層17を形成する。
さらに、前記実施形態では、薄膜形成面10Cの全面に絶縁膜12を形成したが、本発明では、薄膜形成面10Cの一部に形成するものであってもよい。
Claims (5)
- 外部応力により歪が発生する起歪部と、前記起歪部の少なくとも一部に形成される絶縁膜と、前記絶縁膜の上に形成され前記起歪部により発生した歪を電気信号として検出する歪ゲージと、前記歪ゲージに接続される電極配線と、前記電極配線から延設され前記電気信号を外部に取り出す電極パッドと、前記電極パッドに接続される配線ワイヤと、を備えた歪検出器であって、
前記電極パッド及び前記配線ワイヤを覆うことなく、少なくとも前記歪ゲージの上を覆う絶縁性樹脂層を有し、
前記歪ゲージは、4本の抵抗を備え、前記絶縁性樹脂層は、前記4本の抵抗をそれぞれ覆う
ことを特徴とする歪検出器。 - 外部応力により歪が発生する起歪部と、前記起歪部の少なくとも一部に形成される絶縁膜と、前記絶縁膜の上に形成され前記起歪部により発生した歪を電気信号として検出する歪ゲージと、前記歪ゲージに接続される電極配線と、前記電極配線から延設され前記電気信号を外部に取り出す電極パッドと、前記電極パッドに接続される配線ワイヤと、を備えた歪検出器であって、
前記電極パッド及び前記配線ワイヤを覆うことなく、少なくとも前記歪ゲージの上を覆い、シリコーン樹脂から形成される絶縁性樹脂層と、
平面視において、前記電極パッド及び前記配線ワイヤと重ならない位置で、かつ、前記歪ゲージ及び前記電極配線の上に配置される保護膜とを有し、
前記保護膜は、シリコン窒化膜から形成され、前記絶縁性樹脂層に覆われ、
前記絶縁性樹脂層の厚さは、2μm以上500μm以下であり、
前記歪ゲージは、4本の抵抗を備え、前記絶縁性樹脂層は、帯状に形成され前記4本の抵抗をまとめて覆う
ことを特徴とする歪検出器。 - 請求項1又は請求項2に記載された歪検出器において、
前記絶縁性樹脂層は、シリコーン樹脂から形成され、かつ、ショアA硬さが10以上100以下である
ことを特徴とする歪検出器。 - 外部応力により歪が発生する起歪部と、前記起歪部の少なくとも一部に形成される絶縁膜と、前記絶縁膜の上に形成され前記起歪部により発生した歪を電気信号として検出する歪ゲージと、前記歪ゲージに接続される電極配線と、前記電極配線から延設され電気信号を外部に取り出す電極パッドと、前記電極パッドに接続される配線ワイヤと、を備え、前記歪ゲージは、4本の抵抗を備え、絶縁性樹脂層は、前記4本の抵抗をそれぞれ覆う歪検出器を製造する方法であって、
前記電極パッドに前記配線ワイヤを接続する前に、前記電極パッドを覆うことなく、少なくとも前記歪ゲージの上を前記絶縁性樹脂層で覆う
ことを特徴とする歪検出器の製造方法。 - 外部応力により歪が発生する起歪部と、前記起歪部の少なくとも一部に形成される絶縁膜と、前記絶縁膜の上に形成され前記起歪部により発生した歪を電気信号として検出する歪ゲージと、前記歪ゲージに接続される電極配線と、前記電極配線から延設され電気信号を外部に取り出す電極パッドと、前記電極パッドに接続される配線ワイヤと、平面視において、前記電極パッド及び前記配線ワイヤと重ならない位置で、かつ、前記歪ゲージ及び前記電極配線の上に配置される保護膜と、を備え、絶縁性樹脂層の厚さが2μm以上500μm以下であり、前記保護膜はシリコン窒化膜から形成され前記絶縁性樹脂層に覆われ、前記歪ゲージは4本の抵抗を備える歪検出器を製造する方法であって、
前記電極パッドに前記配線ワイヤを接続する前に、前記電極パッドを覆うことなく、少なくとも前記4本の抵抗の上を、シリコーン樹脂から帯状に形成された前記絶縁性樹脂層でまとめて覆う
ことを特徴とする歪検出器の製造方法。
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