JP5656318B2 - 圧力センサーおよび圧力センサーの製造方法 - Google Patents
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流路が形成された継手部材と、
前記流路内の流体の圧力を検出するために、前記継手部材に固着され、継手部材の流路と対面するように配置された圧力検出エレメントと、
一方が開口し、他方側の基端部が前記継手部材と当接し、前記圧力検出エレメントをカバーするカバー部材と、
前記カバー部材の内部に形成された間隙に充填され、接着剤を構成する封入樹脂部と、
前記圧力検出エレメントと接続された外部リード線を固定するリード線係止部とを備え、
前記封入樹脂部が、前記外部リード線の接続部を密封し、
前記封入樹脂部の上端が、前記リード線係止部の上面と同一平面以下となるように構成されていることを特徴とする。
流路が形成された継手部材と、
前記流路内の流体の圧力を検出するために、前記継手部材に固着され、継手部材の流路と対面するように配置された圧力検出エレメントと、
一方が開口し、他方側の基端部が前記継手部材と当接し、前記圧力検出エレメントをカバーするカバー部材と、
前記カバー部材の内部に形成された間隙に充填され、接着剤を構成する封入樹脂部と、
前記圧力検出エレメントと接続された外部リード線を固定するリード線係止部とを備え、
前記封入樹脂部が、前記外部リード線の接続部を密封し、
前記封入樹脂部の上端が、前記リード線係止部の上面と同一平面以下となるように、封入樹脂をカバー部材の内部に形成された間隙に充填することを特徴とする。
この実施例では、図示しないが、リードピン34は全部で8本設けられている。すなわち、入出力用の端子として後述する、外部リード線62a(Vout)、62b(Vcc)、62c(GND)用の3本のリードピン34と、センサーチップ32の調整用の端子として5本のリードピン34とが設けられている。
すなわち、端子台38の端子固定用壁42において、上記の空間S1、S2との間は連通状態となっており、これにより、端子台38と蓋部材54によって、圧力検出エレメント16を覆う大きな空間が形成されていることになる。
12 流路
14 継手部材
14a フランジ部
16 圧力検出エレメント
18 エレメント本体
20 中央開口
22 ハーメチックガラス
24 ダイヤフラム
26 連通孔
28 ダイヤフラム保護カバー
30 液封室
32 センサーチップ
34 リードピン
34a 先端
36 ワイヤー
38 端子台
38a 表面
40 圧力室
42 端子固定用壁
42a 挿通孔
44 下方側壁
46 上方側壁
48 端子
48a 外端部
50 嵌合用段部
52 接続部
54 蓋部材
56 上板部
58 側壁
60 リード線係止部
60a〜60c 係止切欠孔
60d 上面
60e 下面
62 外部リード線
62a〜62c 外部リード線
64 接続部
66 カバー部材
66a 基端部
66b 開口部
68 封入樹脂部
68a 上端
100 圧力センサー
102 圧力検出エレメント
104 継手部材
106 カバー部材
108 ダイヤフラム
110 センサーチップ
112 ワイヤーボンディング
114 リードピン
116 基板
118 外部リード線
122 封入樹脂
124 封入樹脂
S1 第1の空間
S2 第2の空間
S3 間隙
T 間隙
Claims (6)
- 流路が形成された継手部材と、
前記流路内の流体の圧力を検出するために、前記継手部材に固着され、継手部材の流路と対面するように配置された圧力検出エレメントと、
一方が開口し、他方側の基端部が前記継手部材と当接し、前記圧力検出エレメントをカバーするカバー部材と、
前記カバー部材の内部に形成された間隙に充填され、接着剤を構成する封入樹脂部と、
前記圧力検出エレメントと接続された外部リード線を固定するリード線係止部とを備え、
前記封入樹脂部が、前記外部リード線の接続部を密封し、
前記封入樹脂部の上端が、前記リード線係止部の上面と同一平面以下となるように構成されていることを特徴とする圧力センサー。 - 前記リード線係止部が、外部リード線を固定する係止切欠孔を有することを特徴とする請求項1に記載の圧力センサー。
- 前記係止切欠孔の切欠を介して、外部リード線を係止切欠孔に挿入して係止するように構成されていることを特徴とする請求項2に記載の圧力センサー。
- 流路が形成された継手部材と、
前記流路内の流体の圧力を検出するために、前記継手部材に固着され、継手部材の流路と対面するように配置された圧力検出エレメントと、
一方が開口し、他方側の基端部が前記継手部材と当接し、前記圧力検出エレメントをカバーするカバー部材と、
前記カバー部材の内部に形成された間隙に充填され、接着剤を構成する封入樹脂部と、
前記圧力検出エレメントと接続された外部リード線を固定するリード線係止部とを備え、
前記封入樹脂部が、前記外部リード線の接続部を密封し、
前記封入樹脂部の上端が、前記リード線係止部の上面と同一平面以下となるように、封入樹脂をカバー部材の内部に形成された間隙に充填することを特徴とする圧力センサーの製造方法。 - 前記リード線係止部が、外部リード線を固定する係止切欠孔を有することを特徴とする請求項4に記載の圧力センサーの製造方法。
- 前記係止切欠孔の切欠を介して、外部リード線を係止切欠孔に挿入して係止することを特徴とする請求項5に記載の圧力センサーの製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012229677A JP5656318B2 (ja) | 2012-06-11 | 2012-10-17 | 圧力センサーおよび圧力センサーの製造方法 |
KR20130048444A KR101483278B1 (ko) | 2012-06-11 | 2013-04-30 | 압력 센서 및 압력 센서의 제조 방법 |
CN201310231557.1A CN103487198B (zh) | 2012-06-11 | 2013-06-09 | 压力传感器以及压力传感器的制造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012132211 | 2012-06-11 | ||
JP2012132211 | 2012-06-11 | ||
JP2012229677A JP5656318B2 (ja) | 2012-06-11 | 2012-10-17 | 圧力センサーおよび圧力センサーの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014016332A JP2014016332A (ja) | 2014-01-30 |
JP5656318B2 true JP5656318B2 (ja) | 2015-01-21 |
Family
ID=50111127
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012229677A Expired - Fee Related JP5656318B2 (ja) | 2012-06-11 | 2012-10-17 | 圧力センサーおよび圧力センサーの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5656318B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101809792B1 (ko) * | 2015-09-03 | 2018-01-18 | 암페놀센싱코리아 유한회사 | 냉매 측정용 케이블 고정 결합형 압력센서 |
JP6517709B2 (ja) * | 2016-01-29 | 2019-05-22 | 株式会社鷺宮製作所 | 冷媒回路構成部品 |
JP6357177B2 (ja) * | 2016-01-29 | 2018-07-11 | 株式会社鷺宮製作所 | 冷媒回路構成部品 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
BE793922A (fr) * | 1972-01-12 | 1973-07-11 | Philips Nv | Dispositif de mesure de la pression de liquides ou de gaz |
JPS6255143U (ja) * | 1985-09-26 | 1987-04-06 | ||
JPH052040U (ja) * | 1991-06-26 | 1993-01-14 | 株式会社日立製作所 | 圧力センサ |
DE50015477D1 (de) * | 2000-02-15 | 2009-01-22 | Endress & Hauser Gmbh & Co Kg | Drucksensor |
JP2002231413A (ja) * | 2001-01-31 | 2002-08-16 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 圧力センサ内蔵プラグ |
JP2003075281A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-03-12 | Toyoda Mach Works Ltd | 半導体圧力検出装置の製造方法 |
JP5888843B2 (ja) * | 2010-09-22 | 2016-03-22 | 株式会社不二工機 | 圧力センサ |
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2012
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Publication number | Publication date |
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JP2014016332A (ja) | 2014-01-30 |
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