JP2012117992A - 圧力検出器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加圧空間(圧力導入空間)12に配設される脈動圧保護部材を脈動防止板80として、構造を簡素化し、受け部材2に形成された開口2bを通して挿入された導管11の先端が脈動防止板80に当接した状態で、導管11を受け部材2にロウ付け85によって固着する。導管11は受け部材2に当接した状態で位置決めされるために、導管11に切削やリブ形成をする必要がなくなり、導管11を受け部材2に取り付ける構成が単純化される。また、脈動防止板80は、導管11を通じて加圧空間12との間での流体の流れを小孔で絞る簡単構造であり、脈動防止機能を持たせることができる。
【選択図】図1
Description
本発明の目的は、導管の本体への位置決めを安定化するとともに固定作業を容易にすることができ、更に絞り手段の構造に工夫を凝らすことで小形化された圧力検出器を提供することである。
1b 天壁 1c 環状角部
1d 外周面
2 受け部材(流管接続部材) 2a 鍔部
2b 開口 2c 環状下面
2d 外側テーパ周面
3 ダイアフラム 3a 外周縁部
4 レーザー溶接
11 流体流入管(導管) 11a 一端部
11b 管端面 12 加圧空間(圧力導入空間)
20 充填孔 21 ボール
31 受圧空間
41 半導体圧力検出素子 42 貫通孔
43 リードピン 44 ハーメチックシール
45 基板 46 コネクタ
47 リード線
51 第1空間 52 第2空間
60 カバー 61 小径端部
62 突出部 63 大径端部
63a 筒状内周面 63b 傾斜端面
64 環状段部 65 環状隙間
66 筒状内周面
71 第1接着剤 72 第2接着剤
80 脈動防止板 81 中央部
82 固定部 83 傾斜部
84 絞り孔 85 レーザー溶接
86 ロウ付け
90 脈動防止板 91 絞り孔(中央孔)
95 脈動防止板 96 絞り孔(小孔)
97 微細孔 98 孔列
99 リブ
100 圧力センサ
110 圧力検出部 120 コネクタ接続部
Claims (6)
- ダイアフラムと、
前記ダイアフラムと協働して内部に圧力導入空間を画定する受け部材と、
前記受け部材に形成された開口に一端部が挿入されて前記圧力導入空間に流体を導入する導管と、
前記圧力導入空間に導入された流体の圧力を、前記ダイアフラムを介して検知する圧力検知手段と
を備えた圧力検出器において、
前記受け部材は、前記開口と前記圧力導入空間側において対向して固定された脈動圧保護部材を更に備えており、
前記導管は、前記開口を通して挿入された先端が前記脈動圧保護部材に当接した状態で前記受け部材に固着されていること
を特徴とする圧力検出器。 - 請求項1に記載の圧力検出器において、
前記受け部材は、前記開口が形成される底部と、当該底部からその周囲に向かって立ち上がって前記ダイアフラムの周縁部を保持する平坦な鍔部とを有し、且つ前記圧力導入空間側から見て外側に凸状に膨らんだ皿状に形成されていることを特徴とする圧力検出器。 - 請求項1又は2に記載の圧力検出器において、
前記脈動圧保護部材は、前記開口の周りにおいて前記受け部材の前記底壁に固着され、前記開口側に向かって反転皿状に形成された脈動防止板であること
を特徴とする圧力検出器。 - 請求項3に記載の圧力検出器において、
前記導管の前記受け部材へのロウ付け等による固定の高さは、前記脈動防止板の前記開口からの距離によって定められていること
を特徴とする圧力検出器。 - 請求項3に記載の圧力検出器において、
前記脈動防止板は、前記導管の挿入された前記先端が当接する環状部分の内側であって前記導管の流路に対応する領域において、前記導管と前記圧力導入空間との間を流れる流体の絞り作用をする絞り孔が形成されていること
を特徴とする圧力検出器。 - 請求項5に記載の圧力検出器において、
前記絞り孔は、前記環状部分の中心に形成された一つの中央孔、前記環状部分の中心の周りに均等に配置される態様で形成された小孔、又は前記環状部分の中心から複数列の放射状に延びており前記各列においてその長手方向に並ぶ態様で形成された複数個の微細孔であること
を特徴とする圧力検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010269905A JP5542638B2 (ja) | 2010-12-03 | 2010-12-03 | 圧力検出器 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP5542638B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014055826A (ja) * | 2012-09-12 | 2014-03-27 | Saginomiya Seisakusho Inc | 圧力センサ |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS48137Y1 (ja) * | 1968-04-19 | 1973-01-05 | ||
JPS58132640A (ja) * | 1982-02-02 | 1983-08-08 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 脈動防止装置 |
JP2003287472A (ja) * | 2002-03-28 | 2003-10-10 | Fuji Koki Corp | 圧力センサ |
JP2004012140A (ja) * | 2002-06-03 | 2004-01-15 | Saginomiya Seisakusho Inc | 圧力検知器 |
JP2005037310A (ja) * | 2003-07-18 | 2005-02-10 | Fuji Koki Corp | 圧力センサ |
JP2007121196A (ja) * | 2005-10-31 | 2007-05-17 | Denso Corp | 圧力センサ |
-
2010
- 2010-12-03 JP JP2010269905A patent/JP5542638B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS48137Y1 (ja) * | 1968-04-19 | 1973-01-05 | ||
JPS58132640A (ja) * | 1982-02-02 | 1983-08-08 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 脈動防止装置 |
JP2003287472A (ja) * | 2002-03-28 | 2003-10-10 | Fuji Koki Corp | 圧力センサ |
JP2004012140A (ja) * | 2002-06-03 | 2004-01-15 | Saginomiya Seisakusho Inc | 圧力検知器 |
JP2005037310A (ja) * | 2003-07-18 | 2005-02-10 | Fuji Koki Corp | 圧力センサ |
JP2007121196A (ja) * | 2005-10-31 | 2007-05-17 | Denso Corp | 圧力センサ |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014055826A (ja) * | 2012-09-12 | 2014-03-27 | Saginomiya Seisakusho Inc | 圧力センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5542638B2 (ja) | 2014-07-09 |
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