JPH07294358A - 圧力感知装置及びその製造方法 - Google Patents
圧力感知装置及びその製造方法Info
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- JPH07294358A JPH07294358A JP8894795A JP8894795A JPH07294358A JP H07294358 A JPH07294358 A JP H07294358A JP 8894795 A JP8894795 A JP 8894795A JP 8894795 A JP8894795 A JP 8894795A JP H07294358 A JPH07294358 A JP H07294358A
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- G01L19/143—Two part housings
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- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
- G01L9/06—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 導電性ターミナルがハウジング内で移動せ
ず、且つ圧力媒体がハウジングの空洞内から漏洩しない
ように密封した、圧力感知装置。 【構成】 圧力感知装置は凹所表面と側面とからなる空
洞をもつハウジングからなる。圧力感知器が凹所表面に
配置される。この圧力感知器は圧力感知ブリッジと増幅
回路とからなる。柔軟性のある可塑性ダイヤフラムがハ
ウジングの空洞の上方に取り付けられ、ハウジングと共
に空洞を密封するシールを形成する。圧力感知装置はま
た、凹所表面とダイヤフラムとの間に貯えられた圧力伝
達媒体を含む。少なくとも１個のターミナルがハウジン
グ内に取り付けられ、圧力感知器を外部電気回路と連結
すると共に、圧力媒体が漏洩しないようにハウジングと
の間で水密シールを形成する。
ず、且つ圧力媒体がハウジングの空洞内から漏洩しない
ように密封した、圧力感知装置。 【構成】 圧力感知装置は凹所表面と側面とからなる空
洞をもつハウジングからなる。圧力感知器が凹所表面に
配置される。この圧力感知器は圧力感知ブリッジと増幅
回路とからなる。柔軟性のある可塑性ダイヤフラムがハ
ウジングの空洞の上方に取り付けられ、ハウジングと共
に空洞を密封するシールを形成する。圧力感知装置はま
た、凹所表面とダイヤフラムとの間に貯えられた圧力伝
達媒体を含む。少なくとも１個のターミナルがハウジン
グ内に取り付けられ、圧力感知器を外部電気回路と連結
すると共に、圧力媒体が漏洩しないようにハウジングと
の間で水密シールを形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はトランスデューサに関
し、特に圧力を測定する圧力感知装置に関する。
し、特に圧力を測定する圧力感知装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】トランスデューサ、特に圧力感知機構は
自動車その他工業製品の広い分野に用いられる。自動車
工業ではとりわけ圧力感知モニター、油圧計及び変速機
液圧計に用いられる。既知の圧力計では、ソリッドステ
ートの圧力感知ブリッジを用い、このブリッジが圧力下
にある時その大きさに応じて電気信号を発生させる。
自動車その他工業製品の広い分野に用いられる。自動車
工業ではとりわけ圧力感知モニター、油圧計及び変速機
液圧計に用いられる。既知の圧力計では、ソリッドステ
ートの圧力感知ブリッジを用い、このブリッジが圧力下
にある時その大きさに応じて電気信号を発生させる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】既知の構成では、ブリ
ッジは空洞のあるハウジング内に配置され、その空洞内
に圧力感知チップが取り付けられている。この空洞の中
にはシリコンゲルが注入され、ステンレススチール製の
カバーが空洞の上に、ゲルが流出しないように溶接固着
される。このステンレススチール製カバーには、圧力感
知ブリッジにかかる圧力を計測するため、ゲルを通して
外部に連絡するための回線を通す孔又はコンジットを設
けなければならない。このコンジットはゲルが装置内に
侵入するのを許容しているので、必然的に装置の経年劣
化を引き起こし、感知ブリッジが信号調整回路と結合す
るのを妨げる作用をする。これは信号調整回路が腐食性
の不純物によって容易に破壊されることにより引き起こ
される。
ッジは空洞のあるハウジング内に配置され、その空洞内
に圧力感知チップが取り付けられている。この空洞の中
にはシリコンゲルが注入され、ステンレススチール製の
カバーが空洞の上に、ゲルが流出しないように溶接固着
される。このステンレススチール製カバーには、圧力感
知ブリッジにかかる圧力を計測するため、ゲルを通して
外部に連絡するための回線を通す孔又はコンジットを設
けなければならない。このコンジットはゲルが装置内に
侵入するのを許容しているので、必然的に装置の経年劣
化を引き起こし、感知ブリッジが信号調整回路と結合す
るのを妨げる作用をする。これは信号調整回路が腐食性
の不純物によって容易に破壊されることにより引き起こ
される。
【０００４】別の既知の装置では、空洞はステンレスス
チール製ダイヤフラムをハウジングに溶接することによ
り密封されている。シリコン液体はこの空洞内に注入さ
れ、圧力は周辺の大気からダイヤフラム、ダイヤフラム
からシリコン液、シリコン液から感知ブリッジに伝達さ
れる。この構造は感知機構にとっては密封され保護され
た環境を作りだすが、空洞内にシリコン液を充てんする
過程で空気が空洞内に入り込むことは避けられず、必然
的に感知機構の感度を低下させる結果になる。これに加
えてステンレススチール製ダイヤフラムは他の弾性ダイ
ヤフラムに比べて高価であり、且つ圧力に対するステン
レススチール製ダイヤフラムの反応は直線的な比例関係
になく、またスチールの剛性のために２５ｐｓｉ以上の
状況下では使用することには難がある。
チール製ダイヤフラムをハウジングに溶接することによ
り密封されている。シリコン液体はこの空洞内に注入さ
れ、圧力は周辺の大気からダイヤフラム、ダイヤフラム
からシリコン液、シリコン液から感知ブリッジに伝達さ
れる。この構造は感知機構にとっては密封され保護され
た環境を作りだすが、空洞内にシリコン液を充てんする
過程で空気が空洞内に入り込むことは避けられず、必然
的に感知機構の感度を低下させる結果になる。これに加
えてステンレススチール製ダイヤフラムは他の弾性ダイ
ヤフラムに比べて高価であり、且つ圧力に対するステン
レススチール製ダイヤフラムの反応は直線的な比例関係
になく、またスチールの剛性のために２５ｐｓｉ以上の
状況下では使用することには難がある。
【０００５】また、既知の装置ではハウジング内の圧力
感知機構とその信号を受ける外部の電子機構との間を結
ぶラインに沿いシリコン液が収容空洞から電気端子に沿
って外に漏れ出すことは普通である。この現象は感知機
構が高圧下に置かれる時に起こり易い。この漏洩は装置
の信頼性にとってさらに新たな問題となってくる。
感知機構とその信号を受ける外部の電子機構との間を結
ぶラインに沿いシリコン液が収容空洞から電気端子に沿
って外に漏れ出すことは普通である。この現象は感知機
構が高圧下に置かれる時に起こり易い。この漏洩は装置
の信頼性にとってさらに新たな問題となってくる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、空洞をもつ
ハウジングと、この空洞内に圧力感知器を備えた圧力感
知装置を提供する。この圧力感知器は圧力に機能的に対
応して出力信号を発する圧力感知ブリッジと、この圧力
感知ブリッジに連結され、ブリッジからの信号を増幅す
る増幅回路とからなる。ハウジング内に完全に組み込ま
れた感知ブリッジと増幅回路配置は、この圧力感知器が
連結された機構の構成を単純化し、必要な部品数を減ら
すのに役立つ。しかし、ハウジング内に完全に組み込ま
れた感知機構は、周囲の腐食性のある諸要素から完全に
密封されたものでなければならない。
ハウジングと、この空洞内に圧力感知器を備えた圧力感
知装置を提供する。この圧力感知器は圧力に機能的に対
応して出力信号を発する圧力感知ブリッジと、この圧力
感知ブリッジに連結され、ブリッジからの信号を増幅す
る増幅回路とからなる。ハウジング内に完全に組み込ま
れた感知ブリッジと増幅回路配置は、この圧力感知器が
連結された機構の構成を単純化し、必要な部品数を減ら
すのに役立つ。しかし、ハウジング内に完全に組み込ま
れた感知機構は、周囲の腐食性のある諸要素から完全に
密封されたものでなければならない。
【０００７】従って、収容空洞内に圧力伝達用液体が充
てんされ、環状隆起またはリブを有し柔軟性のある可塑
性ダイヤフラムがハウジングの空洞の上方に取り付けら
れ、圧力伝達媒体、圧力感知ブリッジ及び増幅装置を空
洞内に収納し、完全に密閉するようにハウジングに取り
付けられる。ダイヤフラム上にかかる圧力は媒体に、媒
体から圧力感知器にと伝達される。
てんされ、環状隆起またはリブを有し柔軟性のある可塑
性ダイヤフラムがハウジングの空洞の上方に取り付けら
れ、圧力伝達媒体、圧力感知ブリッジ及び増幅装置を空
洞内に収納し、完全に密閉するようにハウジングに取り
付けられる。ダイヤフラム上にかかる圧力は媒体に、媒
体から圧力感知器にと伝達される。
【０００８】ダイアフラム上の環状隆起は、ダイヤフラ
ムがハウジングに取り付けられた時、収容空洞内に充て
んする液体の量を調節すること及びダイヤフラムにかか
る歪み力を除去する役目をする。そうでないと、このよ
うな歪み力は圧力感知器の出力を変えてしまうことにな
る。
ムがハウジングに取り付けられた時、収容空洞内に充て
んする液体の量を調節すること及びダイヤフラムにかか
る歪み力を除去する役目をする。そうでないと、このよ
うな歪み力は圧力感知器の出力を変えてしまうことにな
る。
【０００９】この発明は更に、空洞内の圧力感知器とハ
ウジングの外面との間を電気的に接続する少なくとも１
個のターミナルを具えている。このターミナルは外部の
回路から圧力感知器、又は信号調整回路に電力を供給す
る作用をする。圧力感知装置は極めて高い圧力下に置か
れるので、ターミナルもまた空洞とハウジングの外表面
との間に液体を通さない密閉型シールを形成しなければ
ならない。従って、このターミナルはハウジング内に型
取り成形された、少なくとも１個の放射方向外側に張り
出した環状または円板状皿又はフランジをもつものとさ
れる。ハウジングを形成する材料が熱により膨張収縮す
るのに左右されないようにハウジングと係合するため
に、円板状皿は少なくとも１個のテーパー面を持つ。テ
ーパー面とハウジングを形成する材料との間の係合は、
ターミナルをハウジング内に完全に保持するとともに、
空洞内からシリコン液が漏出するのを防止し、且つハウ
ジング外部からの腐食性物質の空洞内への侵入を防止す
る。
ウジングの外面との間を電気的に接続する少なくとも１
個のターミナルを具えている。このターミナルは外部の
回路から圧力感知器、又は信号調整回路に電力を供給す
る作用をする。圧力感知装置は極めて高い圧力下に置か
れるので、ターミナルもまた空洞とハウジングの外表面
との間に液体を通さない密閉型シールを形成しなければ
ならない。従って、このターミナルはハウジング内に型
取り成形された、少なくとも１個の放射方向外側に張り
出した環状または円板状皿又はフランジをもつものとさ
れる。ハウジングを形成する材料が熱により膨張収縮す
るのに左右されないようにハウジングと係合するため
に、円板状皿は少なくとも１個のテーパー面を持つ。テ
ーパー面とハウジングを形成する材料との間の係合は、
ターミナルをハウジング内に完全に保持するとともに、
空洞内からシリコン液が漏出するのを防止し、且つハウ
ジング外部からの腐食性物質の空洞内への侵入を防止す
る。
【００１０】この発明は又、圧力感知装置の製造方法に
関する。この方法は、空洞を有するハウジングの製造工
程と、圧力感知器を空洞内に取り付ける工程と、媒体を
空洞内に注入しその後ダイヤフラムを空洞上に設置する
工程とからなる。
関する。この方法は、空洞を有するハウジングの製造工
程と、圧力感知器を空洞内に取り付ける工程と、媒体を
空洞内に注入しその後ダイヤフラムを空洞上に設置する
工程とからなる。
【００１１】ハウシングと、ハウジング内の密閉された
収容空洞内に収納された圧力感知ブリッジとそれに付随
した圧力信号調整回路例えば増幅器とを有する圧力感知
装置を創出することが、この発明の第１の特徴である。
また、シリコン液と共に圧力感知器を収容空洞内に収
め、可撓性の弾性ダイヤフラムをハウジングに固着し、
また周囲の圧力を液に、液から感知器に伝えるように密
閉された空洞内との連絡を図るようにしたことも、この
発明の特徴である。さらに、圧力感知ブリッジとハウジ
ングの外表面との間を電気的に接続するが、高圧下での
測定時に空洞内からの液の漏出を防ぐようにしたハウジ
ングの密閉機能を備えた、少なくとも１個の導電性ター
ミナルを持つ圧力感知装置を創出することもこの発明の
特徴である。この発明のその他の実施態様や特徴は、以
下に述べる発明の詳細な説明、特許請求の範囲及び図面
から、当業者が容易に理解しうる程度に開示されてい
る。
収容空洞内に収納された圧力感知ブリッジとそれに付随
した圧力信号調整回路例えば増幅器とを有する圧力感知
装置を創出することが、この発明の第１の特徴である。
また、シリコン液と共に圧力感知器を収容空洞内に収
め、可撓性の弾性ダイヤフラムをハウジングに固着し、
また周囲の圧力を液に、液から感知器に伝えるように密
閉された空洞内との連絡を図るようにしたことも、この
発明の特徴である。さらに、圧力感知ブリッジとハウジ
ングの外表面との間を電気的に接続するが、高圧下での
測定時に空洞内からの液の漏出を防ぐようにしたハウジ
ングの密閉機能を備えた、少なくとも１個の導電性ター
ミナルを持つ圧力感知装置を創出することもこの発明の
特徴である。この発明のその他の実施態様や特徴は、以
下に述べる発明の詳細な説明、特許請求の範囲及び図面
から、当業者が容易に理解しうる程度に開示されてい
る。
【００１２】
【実施例】この発明の圧力感知装置１０は、円筒状部分
１４と圧力感知器保持部分１６とを有するハウジング１
２を含む。図１に示すように、円筒状部分１４は圧力感
知器保持部分１６から派出している。この円筒状部分１
４から、開口を持った円筒状の連結器部分１８が創出さ
れる。
１４と圧力感知器保持部分１６とを有するハウジング１
２を含む。図１に示すように、円筒状部分１４は圧力感
知器保持部分１６から派出している。この円筒状部分１
４から、開口を持った円筒状の連結器部分１８が創出さ
れる。
【００１３】ハウジング１２の圧力感知器保持部分１６
は、外表面１９と内側空洞２０とを有する（図２）。圧
力感知器２２は空洞２０内に装着される。円筒状側面２
８が切り欠いた空洞の凹所表面２４から上方に伸びて、
空洞の周縁部３２の第２の環状の凹所表面３０と交差す
る。第２の円筒状凹所の側面３４は環状の凹所表面３０
の周縁から上方に伸び、ハウジンクの外側の円筒状側面
２６が縁部３８で交差している（図２のみ）。図９に示
すように、圧力感知器２２は感知ブリッジ３９とこれに
接続された増幅回路４１とを含む。どのような組み込み
式圧力感知回路を採用することも出来るが、２個の可変
抵抗圧電素子（ＶＡＲ）を２個の固定抵抗レジスター
（ＲＥＦ）と組み合わせた完全ブリッジの全埋め込み型
感知器を用いるのが好ましい。この種の感知ブリッジに
ついては、本出願の参照文献として挙げた米国特許第
４，７４４，８６３号、同第４，８５３，６６９号及び
同第４，９９６，０８２号明細書に記載されている。
は、外表面１９と内側空洞２０とを有する（図２）。圧
力感知器２２は空洞２０内に装着される。円筒状側面２
８が切り欠いた空洞の凹所表面２４から上方に伸びて、
空洞の周縁部３２の第２の環状の凹所表面３０と交差す
る。第２の円筒状凹所の側面３４は環状の凹所表面３０
の周縁から上方に伸び、ハウジンクの外側の円筒状側面
２６が縁部３８で交差している（図２のみ）。図９に示
すように、圧力感知器２２は感知ブリッジ３９とこれに
接続された増幅回路４１とを含む。どのような組み込み
式圧力感知回路を採用することも出来るが、２個の可変
抵抗圧電素子（ＶＡＲ）を２個の固定抵抗レジスター
（ＲＥＦ）と組み合わせた完全ブリッジの全埋め込み型
感知器を用いるのが好ましい。この種の感知ブリッジに
ついては、本出願の参照文献として挙げた米国特許第
４，７４４，８６３号、同第４，８５３，６６９号及び
同第４，９９６，０８２号明細書に記載されている。
【００１４】感知ブリッジ３９は空洞２０内の圧力に機
能的に対応して、相異なる電圧出力を作りだす。相異な
る電圧出力は増幅回路４１で増幅される。図９に示すよ
うに、増幅回路は回路のゲインを作りだす操作可能の増
幅回路（ＡＭＰ）を含む。又図９に示すように、圧力感
知器２２を作動させるために、３個の外側結線が必要で
ある。即ち動力線（Ｖｃｃとして摸式的に表示）、接地
線２３（同様に模式的に感知ブリッジ３９に結線する）
及び出力線（ＯＵＴ）である。
能的に対応して、相異なる電圧出力を作りだす。相異な
る電圧出力は増幅回路４１で増幅される。図９に示すよ
うに、増幅回路は回路のゲインを作りだす操作可能の増
幅回路（ＡＭＰ）を含む。又図９に示すように、圧力感
知器２２を作動させるために、３個の外側結線が必要で
ある。即ち動力線（Ｖｃｃとして摸式的に表示）、接地
線２３（同様に模式的に感知ブリッジ３９に結線する）
及び出力線（ＯＵＴ）である。
【００１５】空洞の凹所表面２４には、圧力感知器２２
を収容するための窪み４０を設ける。窪み４０は圧力感
知器２２の四辺４２、４４、４６（図示せず）及び４８
に対応する長さの四辺形に形成される。感知器２２を窪
み４０内に固定する方法は種々あるが、この圧力感知器
２２を空洞２２の所定位置に固定するために、圧力感知
器２２の底面５０と窪み４０との間に接着剤を塗布する
方法が用いられる。特に、窪み４０は側面５２、５４、
５６及び５８（図２、３内に全て示される）が圧力感知
器２２を空洞２０内でみだりに移動せず且つ空洞の凹所
表面２４と並行を保つように作用する。
を収容するための窪み４０を設ける。窪み４０は圧力感
知器２２の四辺４２、４４、４６（図示せず）及び４８
に対応する長さの四辺形に形成される。感知器２２を窪
み４０内に固定する方法は種々あるが、この圧力感知器
２２を空洞２２の所定位置に固定するために、圧力感知
器２２の底面５０と窪み４０との間に接着剤を塗布する
方法が用いられる。特に、窪み４０は側面５２、５４、
５６及び５８（図２、３内に全て示される）が圧力感知
器２２を空洞２０内でみだりに移動せず且つ空洞の凹所
表面２４と並行を保つように作用する。
【００１６】中心軸に沿って中心部分が伸長した３個の
ターミナル６０、６２及び６４は感知器の接地線２３、
出力線ＯＵＴ及び動力線Ｖｃｃと夫々電気的に結線さ
れ、凹所表面２４からハウジング１２内を通って下方の
ハウジング１２の外表面１９で且つハウジング１２の円
筒状部分１４の円筒状空隙６６内に突出している。図４
に最も良く示すように、各ターミナルはその上方部分７
４を一連の環状又は円板状ランド又はフランジ７２ａ〜
ｇで囲むように形成する。図４に示すように、ランド７
２ａ〜ｆは夫々下向きのテーパー面８１を含み、ランド
７２ｂ〜ｇは夫々上向きのテーパー面８２を含む。ター
ミナル６０、６２及び６４は又、隣接するランド７２ａ
〜ｇの面８１及び８２の間に拡がる面８４を含む。面８
１、８２及び８４は共に、各ランド７２ａ〜ｇを互いに
分離するための凹所７８を形成する。ターミナル６０、
６２及び６４は夫々上面７６を具え、それらは各リード
６６、６８及び７０によって夫々Ｖｃｃ、接地線２３及
びＯＵＴと機能的に接続される。
ターミナル６０、６２及び６４は感知器の接地線２３、
出力線ＯＵＴ及び動力線Ｖｃｃと夫々電気的に結線さ
れ、凹所表面２４からハウジング１２内を通って下方の
ハウジング１２の外表面１９で且つハウジング１２の円
筒状部分１４の円筒状空隙６６内に突出している。図４
に最も良く示すように、各ターミナルはその上方部分７
４を一連の環状又は円板状ランド又はフランジ７２ａ〜
ｇで囲むように形成する。図４に示すように、ランド７
２ａ〜ｆは夫々下向きのテーパー面８１を含み、ランド
７２ｂ〜ｇは夫々上向きのテーパー面８２を含む。ター
ミナル６０、６２及び６４は又、隣接するランド７２ａ
〜ｇの面８１及び８２の間に拡がる面８４を含む。面８
１、８２及び８４は共に、各ランド７２ａ〜ｇを互いに
分離するための凹所７８を形成する。ターミナル６０、
６２及び６４は夫々上面７６を具え、それらは各リード
６６、６８及び７０によって夫々Ｖｃｃ、接地線２３及
びＯＵＴと機能的に接続される。
【００１７】各ターミナル６０、６２及び６４は各ラン
ドの間に形成された凹所７８の中までハウジング１２の
構成材が充てんされるように、ハウジング１２の圧力感
知器保持部分１６に型取り成形される。その結果、空洞
内圧力が各ターミナルの上面７６を圧迫しても、小さく
テーパー付けられた表面８１がハウジング１２を構成す
る材料によって圧迫され、ターミナルがハウジング１２
内で移動することが妨げられ、同時に以下に詳述するよ
うに、液体が空洞から漏出することが阻止される。
ドの間に形成された凹所７８の中までハウジング１２の
構成材が充てんされるように、ハウジング１２の圧力感
知器保持部分１６に型取り成形される。その結果、空洞
内圧力が各ターミナルの上面７６を圧迫しても、小さく
テーパー付けられた表面８１がハウジング１２を構成す
る材料によって圧迫され、ターミナルがハウジング１２
内で移動することが妨げられ、同時に以下に詳述するよ
うに、液体が空洞から漏出することが阻止される。
【００１８】ハウジングを形成する材料、望ましくはプ
ラスチック材は、温度変化に対応して僅かに伸縮する。
もし形成材料が緊縮すると、凹所７８内の材料も緊縮し
て各ランドの間の凹所部分から離れようとする。しかし
この材料の一部は凹所７８内に残り、ランド７２ａ〜ｇ
のテーパー面と補足的に接触を保つ。その結果、圧力が
各ターミナルの上面７６に加えられても、夫々のターミ
ナルはハウジング１２の圧力感知器保持部分１６の中に
止まり、シールは面８１と凹所内のハウジング１２部分
との接触によって保持される。
ラスチック材は、温度変化に対応して僅かに伸縮する。
もし形成材料が緊縮すると、凹所７８内の材料も緊縮し
て各ランドの間の凹所部分から離れようとする。しかし
この材料の一部は凹所７８内に残り、ランド７２ａ〜ｇ
のテーパー面と補足的に接触を保つ。その結果、圧力が
各ターミナルの上面７６に加えられても、夫々のターミ
ナルはハウジング１２の圧力感知器保持部分１６の中に
止まり、シールは面８１と凹所内のハウジング１２部分
との接触によって保持される。
【００１９】図２乃至４を参照すると、圧力媒体８８は
ハウジング１２の空洞２０内に挿入される。非導電性、
非腐食性液体であればどんなものでも良いが、本実施例
では例えばポリジメチルシリオキサンのようなシリコン
液体を用いるのが望ましい。ダイヤフラム９０はその周
縁の下面９２が凹所表面３０と重なり合うように、空洞
２０の上に被せられる。可撓性のダイヤフラム９０は、
空洞端縁３２から側面２８に隣接するように空洞２０内
に突出する環状の隆起又はリブ９４（図４）を具える。
このリブは、シリコン液体の空洞への過剰又は過少注入
によって生じる緊張力を除去するとともに、ダイヤフラ
ムをハウジングに固着する過程でダイヤフラムにかかる
歪み応力を除去するためのストレインリリーフの役目を
果たす。このタイヤフラムのハウジングへの固着過程は
後に詳述する。上記のような歪み応力を放置すると、圧
力トランスデューサの出力を覆す恐れがある。ダイヤフ
ラムはたとえ逆位置（図示せず）でハウジングに付けら
れても同様の機能を果たす。
ハウジング１２の空洞２０内に挿入される。非導電性、
非腐食性液体であればどんなものでも良いが、本実施例
では例えばポリジメチルシリオキサンのようなシリコン
液体を用いるのが望ましい。ダイヤフラム９０はその周
縁の下面９２が凹所表面３０と重なり合うように、空洞
２０の上に被せられる。可撓性のダイヤフラム９０は、
空洞端縁３２から側面２８に隣接するように空洞２０内
に突出する環状の隆起又はリブ９４（図４）を具える。
このリブは、シリコン液体の空洞への過剰又は過少注入
によって生じる緊張力を除去するとともに、ダイヤフラ
ムをハウジングに固着する過程でダイヤフラムにかかる
歪み応力を除去するためのストレインリリーフの役目を
果たす。このタイヤフラムのハウジングへの固着過程は
後に詳述する。上記のような歪み応力を放置すると、圧
力トランスデューサの出力を覆す恐れがある。ダイヤフ
ラムはたとえ逆位置（図示せず）でハウジングに付けら
れても同様の機能を果たす。
【００２０】図２を参照すると、圧力感知装置１０は、
本体部分１００とそれから張り出している円筒状縁曲げ
壁１０２とを有する端部キャップ９８を含む。縁曲げ壁
１０２の内径はハウジング１２の圧力感知器保持部分１
６の外径より大きい。端部キャップ９８をハウジング１
２に取り付けるために、縁曲げ壁１０２はハウジング１
２の圧力感知器保持部分１６の肩部１０８（図３）上
に、端部キャップ９８の本体部分１００の下面１０４が
可撓性ダイヤフラム９０の上面に重なるように置かれ
る。縁曲げ壁１０２はハウジング１２の肩部１０８を包
むように縁曲げされ、端部キャップ９８をハウジング１
２に固定される。端部キャップ９８はこれ以外の手段に
よっても、ハウジングに締着させることが出来、ハウジ
ング上にねじで固着することも可能である。ダイヤフラ
ムの厚さ、ダイヤフラムの材料、デュロメーター及び側
面３４の長さを適当に選択すると、ダイヤフラム９０が
液状の媒体８８を空洞内に確実に封入し、加圧された媒
体が外界に漏れだしたり、またキャップを被せた後は不
純物が内部に侵入する恐れもない。
本体部分１００とそれから張り出している円筒状縁曲げ
壁１０２とを有する端部キャップ９８を含む。縁曲げ壁
１０２の内径はハウジング１２の圧力感知器保持部分１
６の外径より大きい。端部キャップ９８をハウジング１
２に取り付けるために、縁曲げ壁１０２はハウジング１
２の圧力感知器保持部分１６の肩部１０８（図３）上
に、端部キャップ９８の本体部分１００の下面１０４が
可撓性ダイヤフラム９０の上面に重なるように置かれ
る。縁曲げ壁１０２はハウジング１２の肩部１０８を包
むように縁曲げされ、端部キャップ９８をハウジング１
２に固定される。端部キャップ９８はこれ以外の手段に
よっても、ハウジングに締着させることが出来、ハウジ
ング上にねじで固着することも可能である。ダイヤフラ
ムの厚さ、ダイヤフラムの材料、デュロメーター及び側
面３４の長さを適当に選択すると、ダイヤフラム９０が
液状の媒体８８を空洞内に確実に封入し、加圧された媒
体が外界に漏れだしたり、またキャップを被せた後は不
純物が内部に侵入する恐れもない。
【００２１】図１乃至３を参照すると、端部キャップ９
８の本体部分１００から上方に、コネクタ部分１１０が
伸びている。端部キャップ９８はねじを刻設した外表面
１１２を有する。ねじ外表面１１２は圧力感知装置１０
をエンジンブロックその他圧力測定を必要とする機器に
連結するために、機器側の受け孔（図示せず）に連結す
る。この代わりに、端部キャップ９８の外表面１１２は
平滑で、ホースの端を連結するようにすることも出来る
（図示せず）。
８の本体部分１００から上方に、コネクタ部分１１０が
伸びている。端部キャップ９８はねじを刻設した外表面
１１２を有する。ねじ外表面１１２は圧力感知装置１０
をエンジンブロックその他圧力測定を必要とする機器に
連結するために、機器側の受け孔（図示せず）に連結す
る。この代わりに、端部キャップ９８の外表面１１２は
平滑で、ホースの端を連結するようにすることも出来る
（図示せず）。
【００２２】コネクタ部分１１０はこの部分を通して軸
方向に伸びる通路１１４を有する。通路１１４はより小
径の部分１１６によって端部キャップ９８の本体部分１
００に設けた空洞部分１１８に連結する。より小径の部
分１１６は高圧パルスに対し減衰効果を有している。空
洞部分１１８は端部キャップ９８の本体部分を切り欠い
た面１２２とそれから伸びる円筒状側面１２０とによっ
て形成される。空洞部分１１８の内径はハウジング１２
の圧力感知器保持部分１６に設けた空洞２０の直径と略
等しい。
方向に伸びる通路１１４を有する。通路１１４はより小
径の部分１１６によって端部キャップ９８の本体部分１
００に設けた空洞部分１１８に連結する。より小径の部
分１１６は高圧パルスに対し減衰効果を有している。空
洞部分１１８は端部キャップ９８の本体部分を切り欠い
た面１２２とそれから伸びる円筒状側面１２０とによっ
て形成される。空洞部分１１８の内径はハウジング１２
の圧力感知器保持部分１６に設けた空洞２０の直径と略
等しい。
【００２３】図５乃至８を参照すると、圧力感知装置を
組み立てる工程は、最初にハウジング１２をターミナル
６０、６２及び６４の周りに型取り成形する工程、圧力
感知器２２をハウジング１２の切り欠いた表面２４内の
窪み４０内に配置する工程、及び導線６６、６８及び７
０をターミナル６０、６２及び６４の上面７６に結線す
る工程を含む。図７に示すように、ハウジング１２は保
持ブロック１２４内に配置される。保持ブロック１２４
はハウシング１２本体を受ける円筒状容室１２６と、ハ
ウジング１２を保持部分１６で支える環状支持体１２８
とからなる。円筒状容室１２６は上部１３０、上方支持
体１２８及びその下部１３２とからなる。支持体１２８
は８本の空気導入路１３４（その内２本のみを図示し
た。）があり、上部１３０及び下部１３２の間を連結し
ている。
組み立てる工程は、最初にハウジング１２をターミナル
６０、６２及び６４の周りに型取り成形する工程、圧力
感知器２２をハウジング１２の切り欠いた表面２４内の
窪み４０内に配置する工程、及び導線６６、６８及び７
０をターミナル６０、６２及び６４の上面７６に結線す
る工程を含む。図７に示すように、ハウジング１２は保
持ブロック１２４内に配置される。保持ブロック１２４
はハウシング１２本体を受ける円筒状容室１２６と、ハ
ウジング１２を保持部分１６で支える環状支持体１２８
とからなる。円筒状容室１２６は上部１３０、上方支持
体１２８及びその下部１３２とからなる。支持体１２８
は８本の空気導入路１３４（その内２本のみを図示し
た。）があり、上部１３０及び下部１３２の間を連結し
ている。
【００２４】図６に示すように、シリコン液媒体８８が
圧力感知器２２を完全に覆うように空洞２４内に蓄えら
れる。可撓性のダイヤフラム９０が空洞２４上に配置さ
れる。図７に示すように空洞２２内に空気ポケットが出
来るのを防ぐために、外側シェル１３７と深さ方向案内
１３８を含む空気吸引式設置工具１３６が、可撓性ダイ
ヤフラム９０をハウジング１２上に載せ空洞２４を覆う
ために用いられる。可撓性ダイヤフラム９０は深さ方向
案内１３８に、それを貫通する空気吸引チャンネル１４
０によって吸引保持される。可撓性ダイヤフラム９０の
環状リブ９４はダイヤフラム９０が空気吸引式設置工具
１３６により深さ方向案内１３８上に吸引保持された時
に一時的変形により平らにされる。可撓性ダイヤフラム
９０が空気吸引式設置工具１３６により位置付けられる
と、深さ方向案内１３８は空洞２４の上に置かれ、ダイ
ヤフラム９０は媒体８８と接触し、外側シェル１３７が
保持ブロック１２４と係合して円筒状容室１２６と連通
する気密空洞１４２を形成する。その後吸引装置（図示
せず）によって空洞１４２およびそれに通ずる円筒状容
室１２６の下方部分１３２から空気が引き抜かれる。
圧力感知器２２を完全に覆うように空洞２４内に蓄えら
れる。可撓性のダイヤフラム９０が空洞２４上に配置さ
れる。図７に示すように空洞２２内に空気ポケットが出
来るのを防ぐために、外側シェル１３７と深さ方向案内
１３８を含む空気吸引式設置工具１３６が、可撓性ダイ
ヤフラム９０をハウジング１２上に載せ空洞２４を覆う
ために用いられる。可撓性ダイヤフラム９０は深さ方向
案内１３８に、それを貫通する空気吸引チャンネル１４
０によって吸引保持される。可撓性ダイヤフラム９０の
環状リブ９４はダイヤフラム９０が空気吸引式設置工具
１３６により深さ方向案内１３８上に吸引保持された時
に一時的変形により平らにされる。可撓性ダイヤフラム
９０が空気吸引式設置工具１３６により位置付けられる
と、深さ方向案内１３８は空洞２４の上に置かれ、ダイ
ヤフラム９０は媒体８８と接触し、外側シェル１３７が
保持ブロック１２４と係合して円筒状容室１２６と連通
する気密空洞１４２を形成する。その後吸引装置（図示
せず）によって空洞１４２およびそれに通ずる円筒状容
室１２６の下方部分１３２から空気が引き抜かれる。
【００２５】次にダイヤフラム９０は空気吸引式設置工
具１３６から離され、元の形のようにリブ９４が隆起
し、空洞側面２８に係合する（図８）。このようにし
て、シリコン液の空洞内への封入と可撓性ダイヤフラム
９０の空洞２０上の固着が完了する。ダイヤフラム９０
が空気吸引式設置工具１３６から離される時、ダイヤフ
ラム９０のリブ９４は急速に隆起し、深さ方向案内１３
８から離れる。この時ダイヤフラム９０は媒体８８と接
しているので、ダイヤフラム９０の動くリブ９４の前面
で媒体の伝達波が生じる。空洞１４２内の空気が除去さ
れると、この伝達波は空気ポケットがダイヤフラムの下
側に発生させる傾向を減少させ、その結果、凹所表面２
４、側面２８及び可撓性ダイヤフラム９０によって囲ま
れる空間内では空気ポケットから無縁となる。
具１３６から離され、元の形のようにリブ９４が隆起
し、空洞側面２８に係合する（図８）。このようにし
て、シリコン液の空洞内への封入と可撓性ダイヤフラム
９０の空洞２０上の固着が完了する。ダイヤフラム９０
が空気吸引式設置工具１３６から離される時、ダイヤフ
ラム９０のリブ９４は急速に隆起し、深さ方向案内１３
８から離れる。この時ダイヤフラム９０は媒体８８と接
しているので、ダイヤフラム９０の動くリブ９４の前面
で媒体の伝達波が生じる。空洞１４２内の空気が除去さ
れると、この伝達波は空気ポケットがダイヤフラムの下
側に発生させる傾向を減少させ、その結果、凹所表面２
４、側面２８及び可撓性ダイヤフラム９０によって囲ま
れる空間内では空気ポケットから無縁となる。
【００２６】他の実施例（図示せず）では、可撓性ダイ
ヤフラムは空気吸引式設置工具上に前述したものと逆に
（即ち、環状リブが上側に）置かれ、ダイヤフラムは前
述したように深さ方向案内１３８の周りで変形しない。
外側シェル１３７が保持ブロック１２４と係合する時、
気密空洞１４２内の圧力は均等化され、ダイヤフラムは
空洞２０を覆うようにハウジング１２上に落ちる。この
可撓性ダイヤフラム９０が位置決めされると、端部キャ
ップ９８（図８）はハウジング１２の圧力感知器保持部
分１６の上に配置される。次に縁曲げ壁１０２がハウジ
ングの肩部１０８の周りに縁曲げ加工され、端部キャッ
プ９８が軸方向に移動しないように保持する。
ヤフラムは空気吸引式設置工具上に前述したものと逆に
（即ち、環状リブが上側に）置かれ、ダイヤフラムは前
述したように深さ方向案内１３８の周りで変形しない。
外側シェル１３７が保持ブロック１２４と係合する時、
気密空洞１４２内の圧力は均等化され、ダイヤフラムは
空洞２０を覆うようにハウジング１２上に落ちる。この
可撓性ダイヤフラム９０が位置決めされると、端部キャ
ップ９８（図８）はハウジング１２の圧力感知器保持部
分１６の上に配置される。次に縁曲げ壁１０２がハウジ
ングの肩部１０８の周りに縁曲げ加工され、端部キャッ
プ９８が軸方向に移動しないように保持する。
【００２７】ハウジング１２の凹所表面３０と端部キャ
ップの本体部分１００の下面１０４は、弾性を持つ可撓
性ダイヤフラム９０をその周辺が、端部キャップ９８、
ハウジング１２及びダイヤフラム９０の間の気密シール
となるように挟みつける。このシールは空洞部分２０内
のシリコン媒体８８が外に漏れないようにする。前述し
たように、端部キャップ９８を締め付けることによりダ
イヤフラムに加わる歪み応力は、ダイヤフラム９０のリ
ブ９４により除去される。
ップの本体部分１００の下面１０４は、弾性を持つ可撓
性ダイヤフラム９０をその周辺が、端部キャップ９８、
ハウジング１２及びダイヤフラム９０の間の気密シール
となるように挟みつける。このシールは空洞部分２０内
のシリコン媒体８８が外に漏れないようにする。前述し
たように、端部キャップ９８を締め付けることによりダ
イヤフラムに加わる歪み応力は、ダイヤフラム９０のリ
ブ９４により除去される。
【００２８】使用時には、この圧力感知装置１０は、端
部キャップ９８の連結部分１１０に設けたねじ付き外表
面１１２（図２）により、エンジン等の機構に連結され
る。この機構には高圧環境が存在し、端部キャップ９８
はこの環境下に置かれるので、この環境の圧力は圧力感
知器２２により測定することが出来る。ターミナル６
０、６２及び６４は電力（Ｖｃｃ）を感知器２２に供給
すると共に、感知器２２から生み出された信号（ＯＵ
Ｔ）を取り出し電気的測定装置（図示せず）に送る電気
的結線となる。図８に示すように、高圧環境より流入し
た流体は孔１１８から第１通路１１４及び第２通路１１
６を通って可撓性ダイヤフラム９０上に高圧環境の流体
圧を伝える。媒体８８がこの圧力を圧力感知器２２に伝
え、機構の高圧に対応した信号が感知器がら生み出され
る。この出力信号（ＯＵＴ）は電気的装置（図示せず）
に送られ、処理される。
部キャップ９８の連結部分１１０に設けたねじ付き外表
面１１２（図２）により、エンジン等の機構に連結され
る。この機構には高圧環境が存在し、端部キャップ９８
はこの環境下に置かれるので、この環境の圧力は圧力感
知器２２により測定することが出来る。ターミナル６
０、６２及び６４は電力（Ｖｃｃ）を感知器２２に供給
すると共に、感知器２２から生み出された信号（ＯＵ
Ｔ）を取り出し電気的測定装置（図示せず）に送る電気
的結線となる。図８に示すように、高圧環境より流入し
た流体は孔１１８から第１通路１１４及び第２通路１１
６を通って可撓性ダイヤフラム９０上に高圧環境の流体
圧を伝える。媒体８８がこの圧力を圧力感知器２２に伝
え、機構の高圧に対応した信号が感知器がら生み出され
る。この出力信号（ＯＵＴ）は電気的装置（図示せず）
に送られ、処理される。
【００２９】この発明の種々の実施態様が特許請求の範
囲の記載中に展開されている。
囲の記載中に展開されている。
【図１】この発明の圧力感知装置の見取り図。
【図２】図１に示す圧力感知装置の部分品を展開して示
した見取り図。
した見取り図。
【図３】図１の線３−３で切断した断面を示す断面図。
【図４】図３の部分拡大断面図。
【図５】この発明の装置内に圧力感知器を設置する過程
を示す圧力感知装置の断面図。
を示す圧力感知装置の断面図。
【図６】この発明の装置内に圧力媒体を封入する過程を
示す、図１に示す圧力感知装置の断面図。
示す、図１に示す圧力感知装置の断面図。
【図７】図１に示す圧力感知装置とそれにダイヤフラム
を設置する工具の断面、及びダイヤフラムをハウジング
上、媒体に被せる工程を示す図。
を設置する工具の断面、及びダイヤフラムをハウジング
上、媒体に被せる工程を示す図。
【図８】この発明の装置上に端部キャップを締め固める
工程を示す図。
工程を示す図。
【図９】感知ブリッジと増幅回路を含む圧力感知器の回
路図である。
路図である。
１０ 圧力感知装置 １２ ハウジング ２０ 空洞 ２２ 圧力感知器 ２３ 接地線 ２４ 凹所表面 ３９ 感知ブリッジ ４０ 窪み ４１ 増幅回路 ６０、６２、６４ ターミナル ７２ ランド ８８ 圧力媒体 ９０ ダイヤフラム ９４ リブ ９８ 端部キャップ １００ 本体部分 １０２ 縁曲げ壁 １０８ 肩部 １１０ コネクタ部分 １１２ 外表面 １１４ 通路 １２４ 保持ブロック １２６ 容室 １３６ 設置工具
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ローレンス ビー ライマー アメリカ合衆国 ウイスコンシン州 53546 ジェインズヴィル チャーチル ドライブ 3812
Claims (37)
- 【請求項１】 凹所表面とそれから連続して伸びる側壁
面とからなる空洞が形成されたハウジングと、前記凹所
表面に配置され、感知ブリッジと増幅回路とからなる圧
力感知器と、前記ハウジングの凹所表面の上方に配置さ
れ、前記空洞をハウジングと共に完全に密封するシール
を形成するダイヤフラムと、前記凹所表面と前記ダイヤ
フラムとの間に貯められ、前記ダイヤフラム上に加わる
圧力を前記圧力感知器に伝えるように前記密封された空
洞内に完全に充てんされる圧力媒体とから構成された、
圧力を測定するための圧力感知装置。 - 【請求項２】 前記圧力感知器に機能的に接続され、前
記ダイヤフラム上に加わる圧力に応じて移動することが
ないように少なくとも１個のランド部を持ち、ハウジン
グがその周りに型取り成形された少なくとも１個の導電
性ターミナルを更に有する、請求項１に記載の圧力感知
装置。 - 【請求項３】 前記ターミナルのランド部は、前記媒体
が前記ハウジングから漏洩するのを防止するためハウジ
ング内に係合するテーパーになった環状表面を有する、
請求項２に記載の圧力感知装置。 - 【請求項４】 前記ダイヤフラムを前記ハウジングに固
着し、前記媒体を前記空洞内に密封するために、前記ハ
ウジングに連結される端部キャップを更に有する、請求
項１に記載の圧力感知装置。 - 【請求項５】 前記端部キャップには前記ダイヤフラム
に圧力を伝達する通路が設けられた、請求項４に記載の
圧力感知装置。 - 【請求項６】 前記ダイヤフラムは、歪み応力に耐える
柔軟性のある円板状の可撓性ダイヤフラムである、請求
項１に記載の圧力感知装置。 - 【請求項７】 前記凹所表面に、前記圧力感知器を受容
する窪みを設け、前記窪みは前記圧力感知器が前記凹所
表面に沿って移動することなく保持されるように寸法及
び深さを規定された、請求項１に記載の圧力感知装置。 - 【請求項８】 １つの凹所表面とこの凹所表面から伸び
る少なくとも１個の側壁面とによって形成された空洞を
有するハウジングと、前記空洞の上方を水密に密閉す
る、柔軟性のある可撓性ダイヤフラムを含む手段と、前
記空洞の凹所表面に載置され、前記可撓性ダイヤフラム
上に加わる圧力に対応した信号を発生する圧力感知器
と、前記空洞内を完全に満たし、前記可撓性ダイヤフラ
ムに加わる圧力を前記圧力感知器に伝える媒体とからな
る、圧力を測定するための圧力感知装置。 - 【請求項９】 前記ハウジングを貫通して前記空洞に至
るまで伸び、前記圧力感知器と機能的に連結された少な
くとも１個のターミナルを更に含む、請求項８に記載の
圧力感知装置。 - 【請求項１０】 前記ターミナル表面から外側放射方向
に伸長する少なくとも１個のランド部を有し、前記ラン
ド部は前記ダイヤフラムに加わる圧力に応じて移動する
ことがなく、且つ前記媒体が前記空洞がら漏洩するのを
防止するように前記ハウジングがその周りに型取り成形
されたターミナルを有する、請求項９に記載の圧力感知
装置。 - 【請求項１１】 前記ハウジングに連結され、前記ダイ
ヤフラムを前記ハウジングに固着して前記媒体を前記空
洞内に密封するようにし、且つ前記ダイヤフラムに圧力
を伝える通路を設けた端部キャップを更に含む、請求項
８に記載の圧力感知装置。 - 【請求項１２】 前記感知装置を圧力機構に連結させる
コネクタを更に含む、請求項１１に記載の圧力感知装
置。 - 【請求項１３】 前記コネクタは前記端部キャップ外表
面上にねじを刻設した端部分を含む、請求項１２に記載
の圧力感知装置。 - 【請求項１４】 前記媒体はシリコン液体である、請求
項８に記載の圧力感知装置。 - 【請求項１５】 前記圧力感知器を前記窪み表面に接着
するための接着剤を更に含む、請求項８に記載の圧力感
知装置。 - 【請求項１６】 前記ダイヤフラムはその上面に環状の
歪み解消リブを形成した、請求項８に記載の圧力感知装
置。 - 【請求項１７】 凹所表面とこれから伸長した少なくと
も１個の側壁面とからなる空洞を有するハウジングと、
前記空洞の上方に伸長され、前記ハウジングと共に前記
空洞を水密に密閉する、環境の圧力に晒されたダイヤフ
ラムと、前記空洞の凹所表面に載置され、前記ダイヤフ
ラム上に加わる圧力に対応した信号を発生する圧力感知
器と、前記空洞内を完全に満たし、前記ダイヤフラムに
加わる圧力を前記圧力感知器に伝える圧力媒体と、前記
ハウジングを貫通して前記空洞に連結するように伸びて
前記圧力感知器と機能的に接続され、１個の中心軸部分
とそれから外側放射方向に伸長する少なくとも１個のラ
ンド部を有し、前記ランド部は前記中心軸部分を囲み前
記ハウジングとの間で二次的水密性シールとなる肩部を
構成する、少なくとも１個のターミナルとからなる、圧
力を測定するための圧力感知装置。 - 【請求項１８】 前記肩部は、前記媒体が前記ハウジン
グから漏洩するのを防止するため、前記軸を横断しハウ
ジング内に係合するようテーパーになった環状表面を有
する、請求項１７に記載の圧力感知装置。 - 【請求項１９】 前記ダイヤフラムを前記ハウジングに
固着し、前記媒体を前記空洞内に密封するために、前記
ハウジングに連結され、且つ圧力を前記ダイヤフラムに
伝える通路を設けた端部キャップを更に含む、請求項１
７に記載の圧力感知装置。 - 【請求項２０】 圧力感知装置を圧力機構に連結させる
コネクタを更に含む、請求項１９に記載の圧力感知装
置。 - 【請求項２１】 前記コネクタは前記端部キャップ外表
面上にねじを刻設した端部分を含む、請求項２０に記載
の圧力感知装置。 - 【請求項２２】 前記媒体はシリコン液体である、請求
項１７に記載の圧力感知装置。 - 【請求項２３】 前記ダイヤフラムはその上面に環状の
歪み解消リブを形成した、請求項１７に記載の圧力感知
装置。 - 【請求項２４】 下記の工程からなる圧力感知装置の製
造方法。（イ）凹所表面とこれから伸長した側壁面とか
らなる空洞を有し、且つ外表面を有するハウジングを形
成する工程、（ロ）圧力感知器を前記凹所表面に配置す
る工程、（ハ）媒体を前記空洞に充てんする工程、
（ニ）前記（ハ）工程の後、前記空洞の上方にダイヤフ
ラムを置き、前記媒体が前記空洞に完全に充てんされる
ように、前記ダイヤフラムで前記空洞を閉じる工程 - 【請求項２５】 前記（イ）工程は下記の工程を更に含
む、請求項２４に記載の圧力感知装置の製造方法。 （ホ）導電性のターミナルを具える工程 （ヘ）前記ターミナルが前記空洞と前記外表面との間に
伸長するように、前記ハウジングを前記ターミナルの周
りに型取り成形する工程 - 【請求項２６】 更に前記ダイヤフラムに加わる圧力に
応じて移動することがなく、且つ前記媒体が前記空洞が
ら漏洩するのを防止するように前記ハウジングに係合し
たランド部を持つターミナルを具える付加的な工程を更
に含む、請求項２５に記載の圧力感知装置の製造方法。 - 【請求項２７】 更に端部キャップを前記ハウジングに
連結し、圧力を前記ダイヤフラムに伝えるようにする工
程を付加的に含む、請求項２４に記載の圧力感知装置の
製造方法。 - 【請求項２８】 更に前記ダイヤフラムを前記ハウジン
グの定位置に固着し前記媒体を前記空洞内に密封するた
めに、端部キャップを前記ハウジングに連結する付加的
な工程を更に含む、請求項２４に記載の圧力感知装置の
製造方法。 - 【請求項２９】 前記圧力感知器を前記凹所表面に配置
する工程は、前記圧力感知器を前記凹所表面に糊により
接着する付加的な工程を更に含む、請求項２４に記載の
圧力感知装置の製造方法。 - 【請求項３０】 ハウジングと、前記ハウジング内の導
電性ターミナルとからなり、前記ターミナルは中心軸
と、前記軸に沿って伸長した中心部分と、前記中心部分
を囲む肩部よりなる少なくとも１個のランドからなり、
前記ハウジングと前記ターミナルとの間の流体の漏洩を
前記ハウジングと共に防止するシールとなる面を有する
装置。 - 【請求項３１】 前記面は前記中心軸を横断するように
した、請求項３０に記載の装置。 - 【請求項３２】 前記ハウジングは前記ターミナルの肩
部面と対応する面を有する肩部を含む、請求項３０に記
載の装置。 - 【請求項３３】 前記ターミナルは前記ハウジング内に
型取り成形される、請求項３０に記載の装置。 - 【請求項３４】 前記ランドは前記中心軸から放射方向
外側に伸長している、請求項３０に記載の装置。 - 【請求項３５】 ハウジング内に支持され、該ハウジン
グと共に水密性シールを形成する、中心軸を持つターミ
ナルであって、前記中心軸に沿って伸長した中心部分
と、前記中心部分を囲む肩部よりなる複数のランドから
なり、各ランドは前記中心部分を囲む肩部を形成し、且
つ各肩部は流体の漏洩を前記ハウジングの部分と共に水
密シールを形成する面を有する、導電性ターミナル。 - 【請求項３６】 前記複数のランドは前記中心軸から放
射方向外側に伸長する、請求項３５に記載の導電性ター
ミナル。 - 【請求項３７】 前記面は前記中心軸を横断する、請求
項３５に記載の導電性ターミナル。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US22830594A | 1994-04-15 | 1994-04-15 | |
| US08/228305 | 1994-04-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07294358A true JPH07294358A (ja) | 1995-11-10 |
Family
ID=22856622
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8894795A Pending JPH07294358A (ja) | 1994-04-15 | 1995-04-14 | 圧力感知装置及びその製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0677727A3 (ja) |
| JP (1) | JPH07294358A (ja) |
| CA (1) | CA2145696A1 (ja) |
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| JP2011237254A (ja) * | 2010-05-10 | 2011-11-24 | Hitachi Automotive Systems Ltd | 温度検出機能付き圧力検出装置 |
| CN112113699A (zh) * | 2019-06-21 | 2020-12-22 | 霍尼韦尔国际公司 | 微模制流体压力传感器壳体 |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| DE19605795A1 (de) * | 1996-02-16 | 1997-08-21 | Duerrwaechter E Dr Doduco | Anordnung aus einer elektrischen Leiterplatte und einem elektrischen Druckaufnehmer |
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- 1995-03-28 CA CA 2145696 patent/CA2145696A1/en not_active Abandoned
- 1995-04-12 EP EP95400831A patent/EP0677727A3/en not_active Withdrawn
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0677727A2 (en) | 1995-10-18 |
| EP0677727A3 (en) | 1996-08-07 |
| CA2145696A1 (en) | 1995-10-16 |
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