JP2013224834A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧力検出素子21、受圧用のダイアフラム25、ダイアフラムに圧力を検出すべき流体を導入する加圧空間27、オイルが充填されダイアフラムを介して圧力検出素子に圧力を伝達する受圧空間26、及び圧力検出素子の出力信号を取り出すための出力用リードピン33を備えた圧力検出部3と、圧力検出部の外周部に全周溶接されたリング状部材36と、圧力検出部を収容するカバー35とを備え、リング状部材をカバー内部のカバー段差部35aに装着した状態で、カバーの両端を充填材で充填した圧力センサ1。圧力検出部は、ダイアフラムを挟むように設けられたベース23及び受け部材24を備え、圧力検出素子はベースに設けられると共に、ベース及びダイアフラムにより画定される領域にオイルを充填して受圧空間を形成することができる。
【選択図】図1
Description
2 圧力検出部
3 コネクタ接続部
21 圧力検出素子
22 流体流入部
23 べース
23a 貫通孔
23b ハーメチックシール
24 受け部材
25 ダイアフラム
26 受圧空間
27 加圧空間
29 ワイヤ
31 配線基板
32 外部出力用リード線
33 出力用リードピン
34 コネクタ
35 カバー
35a 環状段部(カバー段差部)
35b 大径内周部
35c 凹凸部
36 リング状部材
36a 外周面
36b 交点
41、42 空間
46 リング状部材
46c 位置決め段差部
47 接続部
48 溶接部
56 リング状部材
56a 外周面
Claims (5)
- 圧力検出素子、受圧用のダイアフラム、該ダイアフラムに圧力を検出すべき流体を導入する加圧空間、オイルが充填されダイアフラムを介して圧力検出素子に圧力を伝達する受圧空間、及び圧力検出素子の出力信号を取り出すための出力用リードピンを備えた圧力検出部と、
該圧力検出部の外周部に全周溶接されたリング状部材と、
前記圧力検出部を収容するカバーとを備え、
前記リング状部材を前記カバー内部のカバー段差部に装着した状態で、前記カバーの両端を充填材で充填したことを特徴とする圧力センサ。 - 前記圧力検出部は、前記ダイアフラムを挟むように設けられたベース及び受け部材を備え、
前記圧力検出素子は前記ベースに設けられると共に、該ベース及び前記ダイアフラムにより画定される領域にオイルが充填されて受圧空間が形成されることを特徴とする請求項1記載の圧力センサ。 - 前記リング状部材は、前記ベースの外周部に突合せた後、全周溶接されることを特徴とする請求項2記載の圧力センサ。
- 前記リング状部材は、厚肉部及び薄肉部を備え、
前記厚肉部及び薄肉部の間の位置決め段差部に前記ベースを当接させた状態で、前記リング状部材及び前記ベースが溶接されることを特徴とする請求項2記載の圧力センサ。 - 前記カバーは、前記カバー段差部に隣接して大径内周部を備え、
該大径内周部には、少なくともその一部に凹凸部が形成されたことを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の圧力センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012096148A JP5866246B2 (ja) | 2012-04-20 | 2012-04-20 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012096148A JP5866246B2 (ja) | 2012-04-20 | 2012-04-20 | 圧力センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013224834A true JP2013224834A (ja) | 2013-10-31 |
JP5866246B2 JP5866246B2 (ja) | 2016-02-17 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2012096148A Active JP5866246B2 (ja) | 2012-04-20 | 2012-04-20 | 圧力センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5866246B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017146136A (ja) * | 2016-02-16 | 2017-08-24 | 株式会社不二工機 | 圧力検出ユニット及びこれを用いた圧力センサ |
CN107543650A (zh) * | 2016-06-29 | 2018-01-05 | 株式会社鹭宫制作所 | 压力传感器及压力传感器的制造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9534975B2 (en) * | 2014-08-25 | 2017-01-03 | Measurement Specialties, Inc. | Freeze proof protection of pressure sensors |
JP7079485B2 (ja) | 2018-07-10 | 2022-06-02 | 株式会社不二工機 | 圧力検出ユニット、その製造方法、および圧力検出ユニットを用いた圧力センサ並びにその製造方法 |
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JP5833835B2 (ja) * | 2011-05-11 | 2015-12-16 | 株式会社不二工機 | 圧力センサ |
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2012
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP5866246B2 (ja) | 2016-02-17 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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