JP5002420B2 - 圧力センサの製造方法および圧力センサ - Google Patents
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ただし、図面はもっぱら解説のためのものであって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
したがって、圧力室内へのシリコンオイルの封入作業が、容易に短時間に行なうことができる。
11bを介して接続された複数個の電極12と、前記感圧素子11の外周部と前記ヘッダー9との間を覆い前記複数個の電極11a間より内部にシリコンオイル等の侵入を阻止するとともに、該感圧素子11の固定も図るためにエポキシ系接着剤を塗布あるいは充填して形成したカバーシール19と、前記複数個の電極12に接続された前記ケーシング本体2の一端部に取付けられた基板13と、この基板13に接続された複数のリードピン14と、前記圧力室7内に収納されたシリコンオイル15と、前記ケーシング本体2の一端部に位置する前記ヘッダー9や前記基板13を覆うように溶着固定された大気開放孔16となるパイプ16aおよび前記リードピン14が貫通するカバー体17とからなり、前記ヘッダー9を前記ケーシング本体2の内壁面に溶着固定する前に、図5に示すように前記圧力室7内を真空にして、該圧力室7内に冷却して固体状に加工したシリコンオイル15を収納した後、図6に示すように前記ヘッダー9の外周部をケーシング本体2のヘッダー収納凹部2aの底面に密封状態で溶着固定し、カバー体17を取付ける。
すなわち、シリコンオイル15の封入をヘッダー9のケーシング本体2への固定だけて行なうことができる。
[発明を実施するための異なる形態]
3:圧力導入孔、 4:継手、
5、5A:ケーシング、 6:受圧室、
7:圧力室、 8:隔膜ダイアフラム、
9、9A、9B:ヘッダー、 10:大気導入孔、
11:感圧素子、 11a:電極(感圧素子)、
11b:半田、 12:電極(基板)、
13:基板、 14:リードピン、
15、15A、15B:シリコンオイル、
16:大気開放孔、 17:カバー体、
18:感圧素子収納凹部、 19:カバーシール、
20:ボンディングワイヤ。
Claims (2)
- ケーシング内を受圧室と圧力室とに分離する隔膜ダイアフラムを設ける圧力センサにおいて、真空にした状態で前記ケーシングの圧力室内に、冷却して固体状に加工したシリコンオイルを収納した後、ヘッダーの外周部をケーシング内に溶着固定あるいは隔膜ダイアフラムの外周部をケーシングに溶着固定して圧力室が密閉できるように固定したことを特徴とする圧力センサの製造方法。
- 圧力導入孔が形成されたケーシングと、このケーシング内を前記圧力導入孔と連通する受圧室と圧力室とに分離する隔膜ダイアフラムと、前記圧力室内を真空にした状態で、冷却して固体状に加工して収納されたシリコンオイルと、前記ケーシングの反隔膜ダイアフラム側を密閉状態で固定したほぼ中央部の内側あるいは外側にセンサチップが取付けられたヘッダーとを備えることを特徴とする圧力センサ。
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