JP2011247269A5 - - Google Patents

Claims (20)

1. ポンピングシステムであって、
   チャンバおよびダイアフラムを有するポンプであって、前記チャンバは流体収容容量を有するポンプと、
   前記ポンプに接続されたポンプコントローラと、を具備してなり、
   前記ポンプコントローラは、
   ディスペンス動作に作用する、ディスペンス体積および所望のホールドアップ容積を含む一組の要因に基づいて、前記チャンバ内での前記ダイアフラムの位置を特定し、
   前記ポンピングシステムからの流体のディスペンスに先立って、前記ディスペンス動作に作用する前記一組の要因に基づいて特定された前記位置へと前記チャンバ内で前記ダイアフラムを動作させるために前記ポンプを制御するよう動作可能であり、前記チャンバ内での前記ダイアフラムの前記位置はディスペンスサイクルのための前記チャンバ内の最大容積を画定し、前記ディスペンスサイクルのための前記チャンバ内の前記最大容積は前記ディスペンス体積および前記所望のホールドアップ容積を含み、かつ、前記ディスペンスサイクルのための前記チャンバ内の前記最大容積は前記チャンバの前記流体収容容量よりも少ないことを特徴とするポンピングシステム。
2. 前記ポンプは単段ポンプであることを特徴とする請求項１に記載のポンピングシステム。
3. 前記ポンプは多段ポンプであることを特徴とする請求項１に記載のポンピングシステム。
4. 前記ポンプはディスペンスポンプであることを特徴とする請求項１に記載のポンピングシステム。
5. 供給チャンバおよびこの供給チャンバ内で動作する供給段階ダイアフラムと、前記供給段階ダイアフラムを動作させるためのピストンと、前記ピストンを駆動するための供給モータと、を有する供給ポンプをさらに備え、前記供給モータは前記ポンプコントローラによって制御されることを特徴とする請求項４に記載のポンピングシステム。
6. 前記ポンプは供給ポンプであることを特徴とする請求項１に記載のポンピングシステム。
7. ディスペンスチャンバおよびこのディスペンスチャンバ内で動作するディスペンス段階ダイアフラムと、前記ディスペンス段階ダイアフラムを動作させるためのピストンと、前記ピストンを駆動するためのディスペンスモータと、を有するディスペンスポンプをさらに備え、前記ディスペンスモータは前記ポンプコントローラによって制御されることを特徴とする請求項６に記載のポンピングシステム。
8. 前記ディスペンス動作に作用する前記一組の要因はさらに、誤差体積、ディスペンス速度、ディスペンス時間、パージ体積、サックバック体積、ベント体積、プレディスペンス速度、プレディスペンス体積、前記ポンプの有効レンジ、ユーザー規定体積、あるいはその組み合わせを含むことを特徴とする請求項１に記載のポンピングシステム。
9. 前記ディスペンス動作に作用する前記一組の要因はさらに、前記ディスペンス体積を変位させるための複数のカウントを備え、各カウントは前記ダイアフラムの変位に対応することを特徴とする請求項１に記載のポンピングシステム。
10. 前記ポンプは、濾過サイクルが終わった後の位置まで前記チャンバ内で前記ダイアフラムを動作させるために、前記ポンプコントローラによって制御されることを特徴とする請求項１に記載のポンピングシステム。
11. 前記ポンプはさらにモータを備え、かつ、前記ダイアフラムは前記モータによって駆動され、前記モータは前記ポンプコントローラによって制御されることを特徴とする請求項１に記載のポンピングシステム。
12. 前記ポンプはさらに位置センサを備え、前記モータは、前記位置センサからの実時間フィードバックを利用する前記ポンプコントローラによって制御されることを特徴とする請求項１１に記載のポンピングシステム。
13. ポンプのホールドアップ容積を低減する方法であって、
    ディスペンス動作に作用する一組の要因に基づいて、前記ポンプのチャンバ内でのダイアフラムの位置を特定することであって、前記一組の要因はディスペンス体積および所望のホールドアップ容積を含み、前記チャンバは流体収容容量を有するものであることと、
    流体のディスペンスに先立って、前記ディスペンス動作に作用する前記一組の要因に基づいて特定された前記位置へと前記チャンバ内で前記ダイアフラムを動作させるために前記ポンプを制御することと、を備え、前記チャンバ内での前記ダイアフラムの前記位置はディスペンスサイクルのための前記チャンバ内の最大容積を画定し、前記ディスペンスサイクルのための前記チャンバ内の前記最大容積は前記ディスペンス体積および前記所望のホールドアップ容積を含み、かつ、前記ディスペンスサイクルのための前記チャンバ内の最大容積は前記チャンバの前記流体収容容量よりも少ないことを特徴とする方法。
14. 前記所望のホールドアップ体積は、前記ポンプの有効レンジの外にある前記ポンプの容積に対応することを特徴とする請求項１３に記載の方法。
15. 前記ポンプは単段ポンプであることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
16. 前記ポンプは多段ポンプであることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
17. 前記ディスペンス動作に作用する前記一組の要因はさらに、誤差体積、ディスペンス速度、ディスペンス時間、パージ体積、サックバック体積、ベント体積、プレディスペンス速度、プレディスペンス体積、前記ポンプの有効レンジ、ユーザー規定体積、あるいはその組み合わせを含むことを特徴とする請求項１３に記載の方法。
18. 前記ディスペンス動作に作用する前記一組の要因はさらに、前記ディスペンス体積を変位させるための複数のカウントを備え、各カウントは前記ダイアフラムの変位に対応することを特徴とする請求項１３に記載の方法。
19. 前記ポンプは、濾過サイクルが終わった後の位置まで前記チャンバ内で前記ダイアフラムを動作させるために、前記ポンプコントローラによって制御されることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
20. 前記ポンプはさらにモータおよび位置センサを備え、かつ、前記ダイアフラムは前記モータによって駆動され、前記モータは前記位置センサからの実時間フィードバックを利用する前記ポンプコントローラによって制御されることを特徴とする請求項１３に記載の方法。