CN113443279A - 存储容器及供应系统 - Google Patents

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Changxin Memory Technologies Inc
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Abstract

本发明实施例提供一种存储容器及供应系统，存储容器包括：侧壁部、封口部和可移动部件；侧壁部、封口部以及可移动部件围成容纳空间；封口部适于密封侧壁部的顶部，且封口部上具有与容纳空间连通的孔洞，孔洞用于连接出液管道的进液端；可移动部件适于密封侧壁部的底部，且还适于沿平行于侧壁部的底部指向顶部的方向上下移动。可移动部件用于连接控制装置，控制装置控制可移动部件于侧壁部的底部指向顶部的方向上下移动，以将容纳空间内的光刻胶通过孔洞排出。通过可移动部件平行于侧壁部的底部指向顶部的方向上下移动，改变容纳空间的容积，进而使光刻胶从封口部中的孔洞被压出，避免可光刻胶与空气的接触，从而避免了有气体溶解在光刻胶中。

Description

存储容器及供应系统
技术领域
本发明涉及半导体制程工艺领域，特别涉及一种存储容器及供应系统。
背景技术
光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。目前，在半导体制程工艺中对光刻胶的取用是通过气体将光刻胶从存储容器中压出。
然而，发明人发现通过气体将光刻胶从储存容器中压出的过程中，气体会溶解在光刻胶中，使得光刻胶中产生气泡，这些气泡会导致光刻胶在涂敷过程中出现异常。
发明内容
本发明实施例提供一种存储容器及供应系统，避免光刻胶与空气的接触，从而避免了有气体溶解在光刻胶中。
为解决上述技术问题，本发明的实施例提供了一种存储容器，用于容纳和取出光刻胶，包括：侧壁部、封口部和可移动部件；侧壁部、封口部以及可移动部件围成容纳空间；封口部适于密封侧壁部的顶部，且封口部上具有与容纳空间连通的孔洞，孔洞用于连接出液管道的进液端；可移动部件适于密封侧壁部的底部，且还适于沿平行于侧壁部的底部指向顶部的方向上下移动。可移动部件用于连接控制装置，控制装置控制可移动部件于侧壁部的底部指向顶部的方向上下移动，以将容纳空间内的光刻胶通过孔洞排出。
相对于现有技术而言，本发明实施例提供了一种新的用于容纳和取出光刻胶的存储容器，通过可移动部件平行于侧壁部的底部指向顶部的方向上下移动，使得侧壁部、封口部以及可移动部件围成容纳空间变小，从而使光刻胶从封口部中的孔洞被压出，避免可光刻胶与空气的接触，从而避免了有气体溶解在光刻胶中，解决了现有技术中溶解在光刻胶中的气泡会导致光刻胶在涂敷过程中出现异常。
另外，控制装置集成在可移动部件中。
另外，可移动部件用于连接控制装置，控制装置控制可移动部件于侧壁部的底部指向顶部的方向上下移动，包括：存储容器还包括推动杆，推动杆用于连接控制装置；控制装置通过移动推动杆，推动可移动部件于侧壁部的底部指向顶部的方向上下移动。
另外，可移动部件用于连接控制装置，控制装置控制可移动部件于侧壁部的底部指向顶部的方向上下移动，包括：可移动部件包括密封部和支撑杆；密封部或支撑杆用于连接控制装置，控制装置控制密封部于侧壁部的底部指向顶部的方向上下移动。
另外，密封部固定在支撑杆顶部；支撑杆连接控制装置，控制装置用于控制支撑杆带动密封部于侧壁部的底部指向顶部的方向上下移动。
另外，支撑杆上具有螺旋纹或卡口，控制装置具有与支撑杆上吻合的螺旋纹或卡口；控制装置通过螺旋纹控制支撑杆旋转，使支撑杆于侧壁部的底部指向顶部的方向上下移动；或，控制装置通过卡口，控制支撑杆于侧壁部的底部指向顶部的方向上下移动。
另外，存储容器还包括固定部，固定部位于侧壁部的底部边缘，固定部用于，使支撑杆平行于侧壁部的底部指向顶部方向固定在于存储容器内；密封部可移动地设置在支撑杆上；密封部用于连接控制装置，控制装置用于控制密封部，使密封部于侧壁部的底部指向顶部的方向上下移动。
另外，支撑杆上具有螺旋纹或卡口，密封部具有与支撑杆上吻合的螺旋纹或卡口；控制装置通过密封部上的螺旋纹，控制密封部于支撑杆上旋转，使密封部于支撑杆上移动；或，控制装置通过密封部上的卡口，控制密封部于支撑杆上移动。
另外，密封部的表面设置有包覆容纳空间中的支撑杆的薄膜层。通过密封部表面的薄膜层，隔离容纳空间中的光刻胶与支撑杆。
另外，存储容器还包括销口，销口可移动地设置在支撑杆上，且销口位于密封部下方。通过位于密封部下方的销口支撑，防止密封部下滑。
另外，支撑杆顶部固定有杆帽，杆帽尺寸大于支撑杆尺寸。通过支撑杆顶部的杆帽，防止密封部从顶部脱离支撑杆。
另外，密封部包括活塞和密封环，密封环位于活塞边缘。通过密封环，防止容纳空间中的光刻胶通过密封部泄漏。
另外，封口部上具有孔洞，孔洞用于连接出液管道的进液端，包括：封口部上具有N个孔洞，N为大于等于2的自然数；N个孔洞中的每一个孔洞都连接一个子管道的进液端，N个子管道的出液端用于连接出液管道的进液端。通过多个孔洞排出容纳空间的光刻胶，避免了因单个孔洞可能产生的压力过大的问题。
另外，N个子管道的出液端用于连接出液管道的进液端，包括：N个子管道的出液端用于连接M个出液管道的进液端，M为大于等于2的自然数，且M小于N；M个出液管道中每一个出液管道都连接N个子管道中的至少一个。通过设置多个出液管道，使一个存储容器可以为多个出液管道供给光刻胶，实现一个存储容器中的光刻胶可以同时供应给不同的半导体制程。
另外，所述存储容器还包括阀门，阀门安装在子管道或出液管道的至少一个中。通过阀门可以控制一个出液管道连接的子管道的使用数量，以及控制出液管道的使用数量，还用于可移动部件不工作时，关闭阀门避免光刻胶与空气相接触。
本发明实施例还提供了一种供应系统，包括：控制装置、出液管道以及上述存储容器；出液管道的进液端连接存储容器中的封口部上的孔洞；控制装置连接存储容器中的可移动部件，用于控制可移动部件于存储容器中的侧壁部的底部指向顶部的方向上下移动，以将存储容器内容纳的光刻胶通过孔洞进入出液管道；出液管道的出液端用于对从存储容器中取出的光刻胶进行应用。
相比于现有技术而言，本实施例提供的供应系统，通过控制装置，控制存储容器中的可移动部件于侧壁部的底部指向顶部的方向上下移动，以将容纳空间内的光刻胶通过孔洞排出，并通过出液管道对排出的光刻胶进行应用，防止气体溶解在光刻胶中产生气泡，从而避免了现有技术中由于溶解在光刻胶中的气泡导致的光刻胶在涂敷过程中出现异常的问题。
附图说明
一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。
图1为本发明第一实施例提供的存储容器的结构示意图；
图2为本发明第一实施例提供的封口部中孔洞的布局及连接示意图；
图3为本发明第一实施例提供的一种控制装置通过推动部推可移动部件的实施示意图；
图4和图5为本发明第一实施例提供的可移动部件的具体结构示意图；
图6为本发明第一实施例提供的密封部的结构示意图；
图7为本发明第一实施例提供的存储容器的具体结构示意图；
图8为本发明第二实施例提供的供应系统的结构示意图。
具体实施方式
目前，通过气体将光刻胶从储存容器中压出的过程中，气体会溶解在光刻胶中，使得光刻胶中产生气泡，这些气泡会导致光刻胶在涂敷过程中出现异常。
为解决上述问题，本发明第一实施例提供了一种存储容器，用于容纳和取出光刻胶，通过可移动部件平行于侧壁部的底部指向顶部的方向上下移动，使得侧壁部、封口部以及可移动部件围成容纳空间变小，从而使光刻胶从封口部中的孔洞被压出，避免可光刻胶与空气的接触，从而避免了有气体溶解在光刻胶中，解决了现有技术中溶解在光刻胶中的气泡会导致光刻胶在涂敷过程中出现异常。
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的各实施例进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本发明各实施例中，为了使读者更好地理解本申请而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施例的种种变化和修改，也可以实现本申请所要求保护的技术方案。以下各个实施例的划分是为了描述方便，不应对本发明的具体实现方式构成任何限定，各个实施例在不矛盾的前提下可以相互结合，相互引用。
参考图1，存储容器100，用于容纳和取出光刻胶，包括：侧壁部101、封口部102和可移动部件103；侧壁部101、封口部102以及可移动部件103围成容纳空间104，容纳空间104用于容纳光刻胶；封口部102适于密封侧壁部101的顶部，封口部102上具有与容纳空间104连通的孔洞112，孔洞112用于连接出液管道(未图示)的进液端；可移动部件103适于密封侧壁部101的底部，且还适于平行于侧壁部101的底部指向顶部的方向上下移动；可移动部件103用于连接控制装置(未图示)，控制装置(未图示)控制可移动部件103于侧壁部101的底部指向顶部的方向上下移动，以将容纳空间104内的光刻胶通过孔洞112排出。
下面将结合附图对本实施例提供的存储容器100进行具体说明。
对于侧壁部101，在本实施例中，侧壁部101以柱状为例进行说明，并不构成对本方案的限定；在其他实施例中，侧壁部可以是方形。在具体应用中，本领域技术人员理解可以根据实际需求设置侧壁部的形状。
具体地，参考图7，侧壁部101为柱状，侧壁部101的厚度为1mm～2.5mm，例如1.3mm、1.7mm、2.0mm或者2.3mm。需要说明的是，在本实施例中，侧壁部101的材料可以为玻璃。侧壁部101包括瓶颈部111和瓶身部121，瓶颈部111的高度为8cm，瓶身部121的高度为24cm。瓶身部121内表面直径为15cm，瓶颈部111的内表面直径为3cm。
对于封口部102，参考图2，封口部102上具有N个孔洞112，N为大于等于2的自然数。本实施例以5(N＝5)个孔洞112为例进行说明，并不构成对本方案的限定，在具体的使用过程中，可以根据存储容器100的大小或者存储容器100的具体使用情况，进而设置孔洞112的数量。
具体地，参考图7，封口部102的直径为4cm，孔洞112的直径为1cm。
继续参考图2，N个孔洞112中的每一个孔洞112都连接一个子管道105的进液端，N个子管道105的出液端用于连接出液管道300。通过多个孔洞112排出容纳空间104的光刻胶，避免了因单个孔洞112可能产生的压力过大的问题。
具体地，N个子管道105的出液端用于连接M个出液管道300的进液端，M为大于等于2的自然数，且M小于N。本实施例以2(M＝2)个出液管道300为例进行说明，并不构成对本方案的限定，在具体的使用过程中，可以根据存储容器100的大小或者存储容器100的具体使用情况，进而设置出液管道300的数量。
M个出液管道300中每一个出液管道300都连接N个子管道105中的至少一个，本实施例以5个子管道105连接2个出液管道300为例进行图示。通过设置多个出液管道300，使一个存储容器100可以为多个出液管道300供给光刻胶，实现一个存储容器100中的光刻胶可以同时供应给不同的半导体制程。
另外，存储容器100还包括阀门601，阀门601安装在子管道105或出液管道300的至少一个中。在本实施例中，阀门601安装在子管道105以及出液管道300中。通过阀门601可以控制一个出液管道300连接的子管道105的使用数量，以及控制出液管道300的使用数量，还用于可移动部件103不工作时，关闭阀门601避免光刻胶与空气相接触。
继续参考图1，对于可移动部件103，随着可移动部件103的上下移动，容纳空间104的容积也随之变大或变小，当容纳空间104变小时，容纳空间104中容纳的光刻胶通过封口部102中的孔洞112排出。
可移动部件103用于连接控制装置(未图示)，控制装置(未图示)控制可移动部件103于侧壁部101的底部指向顶部的方向上下移动，以将容纳空间104内的光刻胶通过孔洞112排出。需要说明是的，控制装置(未图示)可以集成在可移动部件103中。
参考图3，存储容器100还包括推动杆201，推动杆201用于连接控制装置200，控制装置200通过移动推动杆201，推动可移动部件103于侧壁部101的底部指向顶部的方向上下移动。
具体地，推动杆201的部分杆部于控制装置200中，控制装置200控制推动杆201的伸出长度，进而推动可移动部件103侧壁部101的底部指向顶部的方向上下移动。另外，推动杆201的顶部面积大于杆部，用于增大推动杆201与可移动部件103的接触面积，防止推动杆201对可移动部件103的压力过大而推穿。
可移动部件103包括密封部和支撑杆。密封部或支撑杆用于连接控制装置200，控制装置200控制密封部于侧壁部101的底部指向顶部的方向上下移动。本实施例提供了密封部与支撑杆的两种具体实现方式，下面结合附图对密封部与支撑杆的实现方式进行详细描述。
方式一：参考图4，密封部301固定在支撑杆302顶端，支撑杆302连接控制装置200，控制装置200用于控制支撑杆302带动密封部301与侧壁部101的底部指向顶部的方向上下移动。
具体地，支撑杆302的部分杆部于控制装置200中，控制装置200控制支撑杆302的伸出长度，进而推动可移动部件103侧壁部101的底部指向顶部的方向上下移动。
需要说明的是，支撑杆302与控制装置200的连接可以通过螺旋纹或卡口实现。具体地，支撑杆302上具有螺旋纹或卡口，控制装置200具有与支撑杆302上吻合的螺旋纹或卡口；控制装置200通过螺旋纹控制支撑杆302旋转，使支撑杆302于侧壁部101的底部指向顶部的方向上下移动；或，控制装置200通过卡口，控制支撑杆302于侧壁部101的底部指向顶部的方向上下移动。
具体地，参考图7，支撑杆602的直径为3cm，支撑杆602的长度为26cm。支撑杆602的长度略大于瓶身部121的高度，可以将瓶身部121中容纳的光刻胶全部压出，直径比瓶身部121小得到瓶颈部111可以防止可移动部件滑脱。密封部包括活塞601和密封环603。其中密封部的直径为与瓶身部121内表面直径相同的15cm。其中，活塞601的直径为11cm～14cm。密封环的厚度为0.5cm～2cm。具体地，活塞直径与密封环厚度的两倍之和与密封部的直径相同。通过密封环603，防止容纳空间104中的光刻胶通过密封部泄漏。活塞601固定在支撑杆602顶部，密封环603固定在活塞601边缘。控制装置200控制活塞601于侧壁部101的底部指向顶部的方向上下移动，以将容纳空间104内的光刻胶通过孔洞112排出。
方式二：参考图5，存储容器100还包括固定部403，固定部403位于侧壁部101的底部边缘，固定部403用于，使支撑杆402平行于侧壁部101的底部指向顶部方向固定在于存储容器100内。
密封部401可移动地设置在支撑杆402上；密封部401用于连接控制装置200，控制装置200用于控制密封部401，使密封部401于侧壁部101的底部指向顶部的方向上下移动。
需要说明是的，密封部401于支撑杆402的连接可以通过螺旋纹或卡口实现。具体地，支撑杆402上具有螺旋纹或卡口，密封部401具有与支撑杆402上吻合的螺旋纹或卡口；控制装置200通过密封部401上的螺旋纹，控制密封部401于支撑杆402上旋转，使密封部401于支撑杆402上移动；或，控制装置200通过密封部401上的卡口，控制密封部401于支撑杆402上移动。
在本方式中，密封部401的表面设置有包覆容纳空间104中的支撑杆402的薄膜层406。通过薄膜层406隔离容纳空间104中的光刻胶与支撑杆402。
在本方式中，存储容器100还包括销口404，销口404可移动地设置在支撑杆402上，且销口404位于密封部401下方。通过位于密封部401下方的销口404支撑，防止密封部401下滑。
在本方式中，支撑杆402顶部固定有杆帽405，杆帽405尺寸大于支撑杆402尺寸。通过支撑杆402顶部的杆帽405，防止密封部401从顶部脱离支撑杆402。
需要说明的是，参考图6，密封部包括活塞501和密封环502，密封环502位于活塞501边缘。通过密封环502，防止容纳空间104中的光刻胶通过密封部泄漏。若应用于方式二，则活塞中间具有活塞孔503，活塞孔503的尺寸与支撑杆402的尺寸相同。
相对于现有技术而言，本发明实施例提供了一种新的用于容纳和取出光刻胶的存储容器100，通过可移动部件103平行于侧壁部101的底部指向顶部的方向上下移动，使得侧壁部101、封口部102以及可移动部件103围成容纳空间104变小，从而使光刻胶从封口部102中的孔洞112被压出，避免可光刻胶与空气的接触，从而避免了有气体溶解在光刻胶中，解决了现有技术中溶解在光刻胶中的气泡会导致光刻胶在涂敷过程中出现异常。
本发明第二实施例涉及一种供应系统，参考图8，供应系统包括：控制装置200、出液管道300以及上述存储容器100。出液管道300的进液端连接存储容器100中的封口部102上的孔洞112；控制装置200连接存储容器100中的可移动部件103，用于控制可移动部件103于存储容器100中的侧壁部101的底部指向顶部的方向上下移动，已将存储容器100内容纳的光刻胶通过孔洞112进入出液管道300；出液管道300的出液端用于对存储容器100中取出的光刻胶进行应用。
下面将结合附图对本实施例的供应系统进行具体说明。
具体地，存储容器100包括：侧壁部101、封口部102和可移动部件103。侧壁部101、封口部102以及可移动部件103围成容纳空间104，容纳空间104用于容纳光刻胶。封口部102适于密封侧壁部101的顶部，封口部102上具有孔洞112，孔洞112用于连接出液管道300的进液端。
随着可移动部件103的上下移动，容纳空间104的容积也随之变大或变小，当容纳空间104变小时，容纳空间104中容纳的光刻胶通过封口部102中的孔洞112排出。
通过把控控制装置200控制可移动部件103的上移速率进而控制光刻胶的排出速率。具体地，通过控制装置200控制可移动部件103上下移动的速率集合侧壁部101的横截面积可以得知单位时间内排出的光刻胶的体积。
与现有技术相比，本实施例提供的供应系统，通过控制装置200，控制存储容器100中的可移动部件103于侧壁部101的底部指向顶部的方向上下移动，以将容纳空间104内的光刻胶通过孔洞112排出，并通过出液管道300对排出的光刻胶进行应用，防止气体溶解在光刻胶中产生气泡，从而避免了现有技术中由于溶解在光刻胶中的气泡导致的光刻胶在涂敷过程中出现异常的问题。
值得一提的是，本实施例中所涉及到的各单元均为逻辑单元，在实际应用中，一个逻辑单元可以是一个物理单元，也可以是一个物理单元的一部分，还可以以多个物理单元的组合实现。此外，为了突出本发明的创新部分，本实施例中并没有将与解决本发明所提出的技术问题关系不太密切的单元引入，但这并不表明本实施例中不存在其它的单元。
由于第一实施例与本实施例相互对应，因此本实施例可与第一实施例互相配合实施。第一实施例中提到的相关技术细节在本实施例中依然有效，在第一实施例中所能达到的技术效果在本实施例中也同样可以实现，为了减少重复，这里不再赘述。相应地，本实施例中提到的相关技术细节也可应用在第一实施例中。
本领域的普通技术人员可以理解，上述各实施例是实现本发明的具体实施例，而在实际应用中，可以在形式上和细节上对其作各种改变，而不偏离本发明的精神和范围。

Claims (16)

1.一种存储容器，用于容纳和取出光刻胶，其特征在于，包括：
侧壁部、封口部和可移动部件，所述侧壁部、所述封口部以及所述可移动部件围成容纳空间；
所述封口部适于密封所述侧壁部的顶部，且所述封口部上具有与所述容纳空间连通的孔洞，所述孔洞用于连接出液管道的进液端；
所述可移动部件适于密封所述侧壁部的底部，且还适于沿平行于所述侧壁部的底部指向顶部的方向上下移动；
所述可移动部件用于连接控制装置，所述控制装置控制所述可移动部件于所述侧壁部的底部指向顶部的方向上下移动，以将所述容纳空间内的光刻胶通过所述孔洞排出。
2.根据权利要求1所述的存储容器，其特征在于，所述控制装置集成在所述可移动部件中。
3.根据权利要求1所述的存储容器，其特征在于，所述可移动部件用于连接控制装置，所述控制装置控制所述可移动部件于所述侧壁部的底部指向顶部的方向上下移动，包括：
所述存储容器还包括推动杆，所述推动杆用于连接所述控制装置；
所述控制装置通过移动所述推动杆，推动所述可移动部件于所述侧壁部的底部指向顶部的方向上下移动。
4.根据权利要求1所述的存储容器，其特征在于，所述可移动部件用于连接控制装置，所述控制装置控制所述可移动部件于所述侧壁部的底部指向顶部的方向上下移动，包括：
所述可移动部件包括密封部和支撑杆；
所述密封部或所述支撑杆用于连接所述控制装置，所述控制装置控制所述密封部于所述侧壁部的底部指向顶部的方向上下移动。
5.根据权利要求4所述的存储容器，其特征在于，所述密封部固定在所述支撑杆顶部；所述支撑杆连接所述控制装置，所述控制装置用于控制所述支撑杆带动所述密封部于所述侧壁部的底部指向顶部的方向上下移动。
6.根据权利要求5所述的存储容器，其特征在于，包括：
所述支撑杆上具有螺旋纹或卡口，所述控制装置具有与所述支撑杆上吻合的螺旋纹或卡口；
所述控制装置通过所述螺旋纹控制所述支撑杆旋转，使支撑杆于所述侧壁部的底部指向顶部的方向上下移动；
或，所述控制装置通过所述卡口，控制支撑杆于所述侧壁部的底部指向顶部的方向上下移动。
7.根据权利要求4所述的存储容器，其特征在于，包括：
所述存储容器还包括固定部，所述固定部位于所述侧壁部的底部边缘，所述固定部用于，使所述支撑杆平行于所述侧壁部的底部指向顶部方向固定在于所述存储容器内；
所述密封部可移动地设置在所述支撑杆上；所述密封部用于连接所述控制装置，所述控制装置用于控制所述密封部，使所述密封部于所述侧壁部的底部指向顶部的方向上下移动。
8.根据权利要求7所述的存储容器，其特征在于，包括：
所述支撑杆上具有螺旋纹或卡口，所述密封部具有与所述支撑杆上吻合的螺旋纹或卡口；
所述控制装置通过所述密封部上的螺旋纹，控制所述密封部于所述支撑杆上旋转，使所述密封部于所述支撑杆上移动；
或，所述控制装置通过所述密封部上的卡口，控制所述密封部于所述支撑杆上移动。
9.根据权利要求7所述的存储容器，其特征在于，所述密封部的表面设置有包覆所述容纳空间中的所述支撑杆的薄膜层。
10.根据权利要求7所述的存储容器，其特征在于，所述存储容器还包括销口，所述销口可移动地设置在所述支撑杆上，且所述销口位于所述密封部下方。
11.根据权利要求7所述的存储容器，其特征在于，所述支撑杆顶部固定有杆帽，所述杆帽尺寸大于所述支撑杆尺寸。
12.根据权利要求4-11中任一项所述的存储容器，其特征在于，所述密封部包括活塞和密封环，所述密封环位于所述活塞边缘。
13.根据权利要求1所述的存储容器，其特征在于，所述封口部上具有孔洞，所述孔洞用于连接出液管道的进液端，包括：
所述封口部上具有N个孔洞，所述N为大于等于2的自然数；
所述N个孔洞中的每一个孔洞都连接一个子管道的进液端，N个所述子管道的出液端用于连接所述出液管道的进液端。
14.根据权利要求13所述的存储容器，其特征在于，所述N个所述子管道的出液端用于连接所述出液管道的进液端，包括：
所述N个所述子管道的出液端用于连接M个出液管道的进液端，所述M为大于等于2的自然数，且所述M小于所述N；
所述M个出液管道中每一个出液管道都连接所述N个所述子管道中的至少一个。
15.根据权利要求13或14所述的存储容器，其特征在于，所述存储容器还包括阀门，所述阀门安装在所述子管道或所述出液管道的至少一个中。
16.一种供应系统，其特征在于，包括：
控制装置、出液管道以及如权利要求1-15中任一项所述的存储容器；
所述出液管道的进液端连接所述存储容器中的封口部上的孔洞；
所述控制装置连接存储容器中的可移动部件，用于控制所述可移动部件于所述存储容器中的侧壁部的底部指向顶部的方向上下移动，以将所述存储容器内容纳的光刻胶通过所述孔洞进入所述出液管道；
所述出液管道的出液端用于对从所述存储容器中取出的光刻胶进行应用。
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