CN204583618U - 一种自动化涂胶设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种自动化涂胶设备，组成包括净化工作台、置于净化工作台内的自动涂胶机和热板，净化工作台组成包括工作腔体、进气系统、排气系统；自动涂胶机组成包括注胶机和匀胶机，注胶机包括：点胶针筒和驱动机构，点胶针筒的注胶口设置有第一单向阀；匀胶机包括用于承载硅片的吸盘、用于驱动该吸盘旋转的旋转电机，吸盘的中线轴位置设有与抽气设备相连的吸气管，吸盘的吸气管顶端周围设置有环形储胶槽，自动化涂胶设备还具有用于将硅片从自动涂胶机的吸盘上运转至热板上的机械手机构或推杆机构。本涂胶设备的自动化程度高，借助净化工作台，工作人员可以在普通环境中进行操作，大大降低了硬件门槛。

Description

一种自动化涂胶设备

技术领域

本实用新型涉及一种自动化涂胶设备。

背景技术

微电子技术作为电子信息产业的核心技术之一，已经成为现代电子信息技术，尤其是计算机和通讯技术发展的驱动力。为了在新的科技革命中迎头赶上西方发达国家，必须在微电子技术领域取得快速的发展。

涂覆光刻胶是微电子行业十分常用的工艺步骤。目前现有的涂胶设备要么结构简陋，自动化程度低，工人劳动强度大；要么结构复杂，成本高昂，不利于推广。此外，涂胶和烘干都需要在无尘室中进行，对工作场地的硬件要求较高，并且烘干时会有挥发物质产生，可能对操作人员造成危害，需要即时的进行排放。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是，克服现有技术的上述缺点，提供一种自动化涂胶设备。

为了解决以上技术问题，本实用新型提供的自动化涂胶设备，组成包括净化工作台、以及置于该净化工作台内的自动涂胶机、热板，所述净化工作台组成包括工作腔体、进气系统、排气系统，所述工作腔体的前端部具有供双手伸入的操作通道，所述进气系统包括送风风机、进气腔，所述排气系统包括设置于操作通道下方的排气腔、通过排气管路与该排气腔相连的排气风机；所述自动涂胶机组成包括机架、固定在机架上的注胶机和匀胶机，所述注胶机包括：点胶针筒和驱动机构，驱动电机的输出头与点胶针筒的推杆后端固定，所述点胶针筒的注胶口设置有第一单向阀；所述匀胶机包括用于承载硅片的吸盘、用于驱动该吸盘旋转的旋转电机，吸盘的中线轴位置设有与抽气设备相连的吸气管，吸盘的吸气管顶端周围设置有环形储胶槽，所述自动化涂胶设备还具有用于将硅片从自动涂胶机的吸盘上运转至热板上的机械手机构或推杆机构。

为了解决上述技术问题，本自动化涂胶设备还具有如下进一步的改进：

1、所述进气腔内依次设置有气体过滤层和散流板。

2、所述工作腔体的后端部设置有集风罩，所述集风罩的出气口与排气风机相连；散流板靠近工作腔体前端部的一侧设置有导流分压板，导流分压板呈斜向设置在散流板上方。

3、所述工作腔体的前端具有第一端板，端板的外部具有第二端板，所述第一端板和第二端板开设操作孔，两个操作孔之间为操作通道。

4、所述吸盘的吸气管顶端至吸盘上表面的距离为3-5mm，所述驱动机构为气缸，气缸的活塞杆头部与点胶针筒的推杆后端固定。

本实用新型将涂胶机和、烘干设备置于净化工作台内部，杜绝了涂胶和烘干过程中挥发气体对人体的危害；借助净化工作台，工作人员可以在普通环境中进行操作，而不需要专门的无尘室，这大大降低了科研、教学的硬件门槛，尤其对于科研单位和教学单位具有重大意义。此外，本实用新型提供了可实现自动注胶、自动匀胶、硅片自动运转至热板的一系列硬件保证，借助该硬件可以实现上述功能，使涂覆光刻胶的自动化程度更高，涂覆和烘干质量也更好。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型自动化涂胶设备主视图。

图中标号示意如下：

1-工作腔体，2-操作通道，3-送风风机，4-进气腔，5-气体过滤层，6-散流板，7-导流分压板，8-排气腔，9-排气风机，12-集风罩，13-第一端板，14-第二端板，21-点胶针筒，24注胶口，25-第一单向阀，27-气缸，28-活塞杆，30-推杆，31-吸盘，32-硅片，33-吸气管，34-真空泵，35-热板。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

如图1所示，本实施例自动化涂胶设备，组成包括净化工作台、和置于该净化工作台内的自动涂胶机、热板35。净化工作台组成包括工作腔体1、进气系统、排气系统。工作腔体1的前端部具有供双手伸入的操作通道2，具体的，工作腔体1的前端具有第一端板13，端板的外部具有第二端板14，第一端板13和第二端板14开设操作孔，两个操作孔之间为操作通道2。进气系统包括送风风机3、进气腔4，进气腔4内依次设置有气体过滤层5和散流板6,散流板6靠近工作腔体2前端部的一侧设置有导流分压板7，导流分压板7呈斜向设置在散流板6上方。排气系统包括设置于操作通道2下方的排气腔8、设置于工作腔体2的后端部的集风罩12、分别通过管路与该排气腔8、集风罩12相连的排气风机9。自动涂胶机具有机架（图中未画出），固定在机架上的注胶机和匀胶机。注胶机包括：点胶针筒21和驱动机构，点胶针筒21内填充有胶水，点胶针筒21的注胶口24设置有第一单向阀25。本例中，驱动机构为气缸27，气缸27的活塞杆28头部与点胶针筒21的推杆30后端固定。匀胶机包括用于承载硅片34的吸盘31、用于驱动该吸盘31旋转的旋转电机（图中未画出），吸盘31的中线轴位置设有与真空泵34相连的吸气管33，吸盘31的吸气管33顶端周围设置有环形储胶槽，吸盘的吸气管33顶端至吸盘上表面的距离为3mm，吸盘31的横截面呈W型，储胶槽的深度为10mm。本例的自动化涂胶设备还具有用于将32从自动涂胶机的吸盘31上运转至热板35上的机械手机构（图中未画出）。当然，机械手机构也可以用推杆机构来替代。

工作时，驱动机构下压，实现自动注胶，自动化程度较高。吸盘带动硅片旋转，从点胶针筒滴下的胶水在离心力的作用下向外移动，从而实现自动匀胶，由于硅片的亲水性，甩至硅片边缘的胶水容易流到吸盘的背面，并且因重力作用向中间聚拢。环形储胶槽能够有效阻挡该部分胶水流入吸气管，从而确保匀胶机的正常运转，提高匀胶效率。匀胶完成后，通过机械手机构或者推杆机构将硅片运转至热板进行烘烤，使光刻胶得到干燥。

可见本实施例自动化涂胶设备自动化程度高，并且所有的工作均在净化工作台内部进行，既能保证工作环境的洁净，又能确保挥发性气体不会泄露，并且对试验场地没有严格的要求，降低了实验门槛。

除上述实施例外，本实用新型还可以有其他实施方式，凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本实用新型要求的保护范围。

Claims (5)

1.自动化涂胶设备，组成包括净化工作台、以及置于该净化工作台内的自动涂胶机、热板，所述净化工作台组成包括工作腔体、进气系统、排气系统，所述工作腔体的前端部具有供双手伸入的操作通道，所述进气系统包括送风风机、进气腔，所述排气系统包括设置于操作通道下方的排气腔、通过排气管路与该排气腔相连的排气风机；所述自动涂胶机组成包括机架、固定在机架上的注胶机和匀胶机，所述注胶机包括：点胶针筒和驱动机构，驱动电机的输出头与点胶针筒的推杆后端固定，所述点胶针筒的注胶口设置有第一单向阀；所述匀胶机包括用于承载硅片的吸盘、用于驱动该吸盘旋转的旋转电机，吸盘的中线轴位置设有与抽气设备相连的吸气管，吸盘的吸气管顶端周围设置有环形储胶槽，所述自动化涂胶设备还具有用于将硅片从自动涂胶机的吸盘上运转至热板上的机械手机构或推杆机构。

2.根据权利要求1所述的自动化涂胶设备，其特征在于：所述进气腔内依次设置有气体过滤层和散流板。

3.根据权利要求1所述的自动化涂胶设备，其特征在于：所述工作腔体的后端部设置有集风罩，所述集风罩的出气口与排气风机相连；散流板靠近工作腔体前端部的一侧设置有导流分压板，导流分压板呈斜向设置在散流板上方。

4.根据权利要求1所述的自动化涂胶设备，其特征在于：所述工作腔体的前端具有第一端板，端板的外部具有第二端板，所述第一端板和第二端板开设操作孔，两个操作孔之间为操作通道。

5.根据权利要求1所述的自动化涂胶设备，其特征在于：所述吸盘的吸气管顶端至吸盘上表面的距离为3-5mm，所述驱动机构为气缸，气缸的活塞杆头部与点胶针筒的推杆后端固定。