CN203955454U - 一种微电子行业用自动涂胶装置 - Google Patents
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Abstract
一种微电子行业用自动涂胶装置,具有注胶机和匀胶机,注胶机包括:点胶针筒、驱动机构、进胶管以及储胶室,驱动电机的输出头与点胶针筒的推杆后端固定,点胶针筒的下部通过进胶管与储胶室相连,进胶管内设置有第一单向阀,点胶针筒的注胶口设置有第二单向阀;匀胶机包括用于承载硅片的吸盘、驱动该吸盘旋转的旋转电机,吸盘的中线轴位置设有与抽气设备相连的吸气管,吸气管顶端周围设置有环形储胶槽,吸气管顶端至吸盘上表面的距离为3-5mm。本装置可实现自动注胶、自动补胶、自动匀胶,且能防止胶水进入吸盘的吸气管。其自动化程度高,大大降低劳动强度,且每次注胶的量都一致,减少浪费,降低生产成本,减少对环境的污染。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种注胶机,特别适合用于微电子行业的注胶工艺。
背景技术
微电子技术作为电子信息产业的核心技术之一,已经成为现代电子信息技术,尤其是计算机和通讯技术发展的驱动力。为了在新的科技革命中迎头赶上西方发达国家,必须在微电子技术领域取得快速的发展。
注胶是微电子行业十分常用的工艺步骤。目前现有的注胶设备要么结构简陋,自动化程度低,工人劳动强度大;要么结构复杂,成本高昂,不利于推广。
发明内容
本实用新型的目的在于,克服上述现有技术的缺陷,提供一种微电子行业用自动涂胶装置,结构简单,自动化程度高。
上述目的由下述技术方案来实现:本实用新型提供的微电子行业用自动涂胶装置,具有机架、固定在机架上的注胶机和匀胶机,其特征在于:所述注胶机包括:点胶针筒、驱动机构、进胶管以及储胶室,所述驱动电机的输出头与点胶针筒的推杆后端固定,所述点胶针筒的下部连接进胶管的第一端,进胶管的第二端与储胶室相连,所述进胶管内设置有第一单向阀,所述点胶针筒的注胶口设置有第二单向阀;所述匀胶机包括用于承载硅片的吸盘、用于驱动该吸盘旋转的旋转电机,吸盘的中线轴位置设有与抽气设备相连的吸气管,吸盘的吸气管顶端周围设置有环形储胶槽,所述吸盘的吸气管顶端至吸盘上表面的距离为3-5mm。
本实用新型还具有如下改进:
1、所述驱动机构为步进电机,步进电机的输出头依次通过连杆、摇臂与点胶针筒的推杆后端固定。
2、所述驱动机构为伸缩电机,伸缩电机的伸缩杆端部与点胶针筒的推杆后端固定。
3、所述驱动机构为马达,马达的输出头固定有齿轮,所述齿轮啮合有齿条,齿条的下端与点胶针筒的推杆后端固定。
4、所述驱动机构为伸缩气缸,所述伸缩气缸的活塞杆头部与点胶针筒的推杆后端固定。
5、所述进胶管和储胶室内填充有胶水。
6、所述吸盘的横截面呈W型。
7、所述储胶槽的深度为8-12mm。
8、靠近吸气管一侧的储胶槽内壁与水平面的夹角为75-85°,远离吸气管一侧的储胶槽内壁与水平面的夹角为55-65°。
驱动机构下压点胶针筒的推杆时,第一单向阀关闭,第二单向阀打开,使胶水从注胶口被挤出,滴至硅片上表面;当驱动机构上抬点胶针筒的推杆时,第一单向阀打开,第二单向阀关闭,使储胶室内的胶水通过进胶管被吸入点胶针筒内。本实用新型采用甩动方式实现匀胶(表面涂敷),吸气管顶端不直接与承载的硅片接触,在甩动过程中,硅片背面的胶水在重力的作用下流入储胶槽进行存储,阻挡胶水被吸入吸气管内,避免了吸气管因吸入胶水而导致的吸力不足或堵塞,同时避免了损伤匀胶机。
本装置可实现自动注胶、自动补胶、自动匀胶,且能防止胶水进入吸盘的吸气管。其自动化程度高,大大降低劳动强度,且每次注胶的量都一致,减少浪费,降低生产成本,减少对环境的污染。
本实用新型结构简单、设计巧妙,使用方便,且易于维护。本装置的生产成本低,功能可满足实际生产需要,适于在微电子行业广泛运用。
附图说明
图1 是本实用新型自动涂胶装置的结构示意图。
具体实施方式
如图1所述,本实施例微电子行业用自动涂胶装置,具有机架(图中未画出),固定在机架上的注胶机A和匀胶机B。
注胶机A包括:点胶针筒1、驱动机构、进胶管2以及储胶室3,点胶针筒1的下部连接进胶管2的第一端,进胶管2的第二端与储胶室3相连,进胶管2内设置有第一单向阀6,点胶针筒1的注胶口4设置有第二单向阀5。如图1所示,点胶针筒1、进胶管2和储胶室3内填充有胶水。本例中,驱动机构马达7,马达7的输出头固定有齿轮8,齿轮8啮合有齿条9,齿条9的下端与点胶针筒1的推杆10后端固定。
除此之外,驱动机构还可以采用步进电机、伸缩电机、伸缩气缸等。
当采用步进电机时,步进电机的输出头依次通过连杆、摇臂与点胶针筒的推杆后端固定。
当采用伸缩电机时,伸缩电机的伸缩杆端部与点胶针筒的推杆后端固定。
当采用为伸缩气缸时,伸缩气缸的活塞杆头部与点胶针筒的推杆后端固定。
由于上述几种方案对于机械领域技术人员来说,阅读本说明书,结合现有技术即可实现,因此本实施例不再对上述几种方案进行详细阐述。
驱动机构下压、抬升推杆了,第一第二单向阀互相配合,实现自动注胶和自动充胶,自动化程度较高。
匀胶机B包括用于承载硅片14的吸盘11、用于驱动该吸盘11旋转的旋转电机(图中未画出),吸盘11的中线轴位置设有与抽气设备14相连的吸气管14,吸盘11的吸气管14顶端周围设置有环形储胶槽12,吸盘的吸气管13顶端至吸盘上表面的距离为3mm,吸盘11的横截面呈W型,储胶槽13的深度为10mm,靠近吸气管一侧的储胶槽内壁与水平面的夹角为80°,远离吸气管一侧的储胶槽内壁与水平面的夹角为60°。
吸盘带动硅片旋转,从点胶针筒滴下的胶水在离心力的作用下向外移动,从而实现自动匀胶,由于硅片的亲水性,甩至硅片边缘的胶水容易流到吸盘的背面,并且因重力作用向中间聚拢。环形储胶槽能够有效阻挡该部分胶水流入吸气管,从而确保匀胶机的正常运转,提高匀胶效率。
除上述实施例外,本实用新型还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案,均落在本实用新型要求的保护范围。
Claims (8)
1.一种微电子行业用自动涂胶装置,具有机架、固定在机架上的注胶机和匀胶机,其特征在于:所述注胶机包括:点胶针筒、驱动电机、进胶管以及储胶室,所述驱动电机的输出头与点胶针筒的推杆后端固定,所述点胶针筒的下部连接进胶管的第一端,进胶管的第二端与储胶室相连,所述进胶管内设置有第一单向阀,所述点胶针筒的注胶口设置有第二单向阀;所述匀胶机包括用于承载硅片的吸盘、用于驱动该吸盘旋转的旋转电机,吸盘的中线轴位置设有与抽气设备相连的吸气管,吸盘的吸气管顶端周围设置有环形储胶槽,所述吸盘的吸气管顶端至吸盘上表面的距离为3-5mm。
2.根据权利要求1所述的微电子行业用自动涂胶装置,其特征在于:所述驱动电机为步进电机,步进电机的输出头依次通过连杆、摇臂与点胶针筒的推杆后端固定。
3.根据权利要求1所述的微电子行业用自动涂胶装置,其特征在于:所述驱动电机为伸缩电机,伸缩电机的伸缩杆端部与点胶针筒的推杆后端固定。
4.根据权利要求1所述的微电子行业用自动涂胶装置,其特征在于:所述驱动电机为马达,马达的输出头固定有齿轮,所述齿轮啮合有齿条,齿条的下端与点胶针筒的推杆后端固定。
5.根据权利要求1-4任一项所述的微电子行业用自动涂胶装置,其特征在于:所述进胶管和储胶室内填充有胶水。
6.根据权利要求1所述的微电子行业用自动涂胶装置,其特征在于:所述吸盘的横截面呈W型。
7.根据权利要求1所述的微电子行业用自动涂胶装置,其特征在于:所述储胶槽的深度为8-12mm。
8.根据权利要求1所述的微电子行业用自动涂胶装置,其特征在于:靠近吸气管一侧的储胶槽内壁与水平面的夹角为75-85°,远离吸气管一侧的储胶槽内壁与水平面的夹角为55-65°。
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