CN203508480U - 一种硅片的清洗装置 - Google Patents
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Abstract
一种硅片的清洗装置，涉及一种清洗装置，由浮箱（1）、载片盒、连接杆（3）、旋转拨杆（7）和卡槽（6）组成，通过在载片盒上安装带有导轨（5）的卡槽（6），并在导轨（5）内设置旋转拨杆（7），再用带有浮箱（1）的连接杆（3）与旋转拨杆（7）相连接，通过浮箱（1）的移动使硅片（2）旋转，从而达到清洗硅片的表面洁净度一致的目的，本实用新型结构简单，使用方便，实用性极强，同时简化了操作步骤，极大的提高了工作效率，清洗效果好，解决了实际出现的硅片颜色不一致的问题。
Description
【技术领域】
本实用新型涉及一种清洗装置，尤其是涉及一种硅片的清洗装置。
【背景技术】
已知的，目前在半导体硅片超声波清洗机构中，超声波能量均匀的作用到硅片表面上，以更好的对硅片表面起到干净均匀的清洗效果。但是在现有的硅片超声波清洗机构上，由于硅片需要先竖直插到塑料硅片载片盒中，再放到超声波清洗槽中进行硅片的超声清洗，而塑料载片盒会对超声波能量的传递造成阻挡作用，从而使超声波能量不能传递到硅片与塑料载片盒接触的部位，导致硅片与塑料载片盒接触部位不能被清洗干净，造成整个硅片表面清洗不均匀，使硅片表面洁净度不一致，目视颜色不一致，不能满足客户对硅片表面颜色一致的要求。
【发明内容】
为了克服背景技术中的不足，本实用新型公开了一种硅片的清洗装置，本实用新型通过在载片盒上安装带有导轨的卡槽，并在导轨内设置旋转拨杆，再用带有浮箱的连接杆与旋转拨杆相连接，通过浮箱带动连接杆的移动使硅片旋转，从而达到使清洗硅片表面洁净度一致的目的。
为了实现所述发明目的，本实用新型采用如下技术方案：
一种硅片的清洗装置，包括浮箱、载片盒、连接杆、旋转拨杆和卡槽，在载片盒上设有卡槽，卡槽上设有导轨，导轨上设有旋转拨杆，旋转拨杆的一端与连接杆的一端相连接，连接杆的另一端与浮箱相连接。
所述卡槽为U型结构，卡槽置于载片盒的下部。
所述载片盒由第一卡边和第二卡边组成，第一卡边和第二卡边为相同结构，第一卡边和第二卡边上部为U型结构。
所述连接杆置于卡槽的外侧。
所述旋转拨杆的一端置于导轨内，旋转拨杆的另一端与连接杆垂直连接。
由于采用了上述技术方案，本实用新型具有如下有益效果：
本实用新型所述的一种硅片的清洗装置，包括浮箱、载片盒、连接杆、旋转拨杆和卡槽，通过在载片盒上安装带有导轨的卡槽，并在导轨内设置旋转拨杆，再用带有浮箱的连接杆与旋转拨杆相连接，通过浮箱的移动使硅片旋转，从而达到清洗硅片的表面洁净度一致的目的，本实用新型结构简单，使用方便，实用性极强，同时简化了操作步骤，极大的提高了工作效率，清洗效果好，解决了实际出现的硅片颜色不一致的问题。
【附图说明】
图1是本实用新型的立体结构示意图。
图中：1、浮箱；2、硅片；3、连接杆；4、第一卡边；5、导轨；6、卡槽；7、旋转拨杆；8、第二卡边。
【具体实施方式】
通过下面的实施例可以详细的解释本实用新型，公开本实用新型的目的旨在保护本实用新型范围内的一切技术改进。
结合附图1所述的一种硅片的清洗装置，包括浮箱1、载片盒、连接杆3、旋转拨杆7和卡槽6，载片盒由第一卡边4和第二卡边8组成，在载片盒上设有卡槽6，卡槽6上设有导轨5，导轨5上设有旋转拨杆7，旋转拨杆7的一端与连接杆3的一端相连接，连接杆3的另一端与浮箱1相连接；所述卡槽6为U型结构，卡槽6置于载片盒的下部；所述第一卡边4和第二卡边8为相同结构，第一卡边4和第二卡边8上部为U型结构；所述连接杆3置于卡槽6的外侧；所述旋转拨杆7的一端置于导轨5内，旋转拨杆7的另一端与连接杆3垂直连接。
实施本实用新型所述的一种硅片的清洗装置，在工作时浮箱1与旋转拨杆7通过连接杆3连接起来，当清洗机的抛动系统带着载片盒上下抛动的时候，浮箱1会在浮力的作用下漂浮在硅片清洗液的液面上，当抛动系统向下运动的时候，硅片旋转拨杆7通过连接杆3在浮箱1提供浮力的作用下沿着导轨5向上运动，旋转拨杆7在沿着导轨5向上运动的同时会带着硅片2进行旋转；当抛动系统向上运动的时候，旋转拨杆7会沿着导轨5向下运动，这样形成一个运动周期，经过设定好的时间后即能达到清洗的效果，即完成本实用新型。
本实用新型未详述部分为现有技术。
Claims (5)
1.一种硅片的清洗装置，包括浮箱（1）、载片盒、连接杆（3）、旋转拨杆（7）和卡槽（6），其特征是：载片盒由第一卡边（4）和第二卡边（8）组成，在载片盒上设有卡槽（6），卡槽（6）上设有导轨（5），导轨（5）上设有旋转拨杆（7），旋转拨杆（7）的一端与连接杆（3）的一端相连接，连接杆（3）的另一端与浮箱（1）相连接。
2.根据权利要求1所述的一种硅片的清洗装置，其特征是：所述卡槽（6）为U型结构，卡槽（6）置于载片盒的下部。
3.根据权利要求1所述的一种硅片的清洗装置，其特征是：所述第一卡边（4）和第二卡边（8）为相同结构，第一卡边（4）和第二卡边（8）上部为U型结构。
4.根据权利要求1所述的一种硅片的清洗装置，其特征是：所述连接杆（3）置于卡槽（6）的外侧。
5.根据权利要求1所述的一种硅片的清洗装置，其特征是：所述旋转拨杆（7）的一端置于导轨（5）内，旋转拨杆（7）的另一端与连接杆（3）垂直连接。
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| CN201320508772.7U CN203508480U (zh) | 2013-08-20 | 2013-08-20 | 一种硅片的清洗装置 |
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| CN203508480U true CN203508480U (zh) | 2014-04-02 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105363706A (zh) * | 2015-12-14 | 2016-03-02 | 宋晓庆 | 一种精子计数板清洁器及所述液压机 |
| CN107626681A (zh) * | 2017-11-08 | 2018-01-26 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 晶体板条元件超声清洗的装夹装置 |
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- 2013-08-20 CN CN201320508772.7U patent/CN203508480U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105363706A (zh) * | 2015-12-14 | 2016-03-02 | 宋晓庆 | 一种精子计数板清洁器及所述液压机 |
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| CN107626681B (zh) * | 2017-11-08 | 2024-01-19 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 晶体板条元件超声清洗的装夹装置 |
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