CN115632024A - 一种用于硅片清洗机的传送装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了硅片清洗技术领域的一种用于硅片清洗机的传送装置，包括清洗槽，所述清洗槽顶部固定连接有若干个喷头，所述清洗槽内部设置有框体，所述框体转动连接有两个底板，两个所述底板关于框体对称布置，底板向下转动与向上转动时分离板的移动方向相反，并且能够推动的倾斜堆叠的硅片也相反，从而在两者的作用下使堆叠的硅片能够顺利地分离，提高清洗时的效率，通过弧形板与弧形顶板能够使硅片与弧形板接触时向两侧散开，防止硅片集中在一处区域时造成分离板难以推动硅片的现象，分离板与连接杆滑动连接，在硅片堆积难以推动时，分离板会沿着连接杆向上滑动，从而使分离板越过硅片，防止分离板挤压硅片造成硅片损坏。

Description

一种用于硅片清洗机的传送装置
技术领域
本发明涉及硅片清洗技术领域，具体为一种用于硅片清洗机的 传送装置。
背景技术
由于硅元素具有光电效应，所以在光伏领域，大多使用硅片完 成太阳能到电能的转换；对硅片清洗时，是利用料篮将硅片进行盛 放，然后人工将料篮放入清洗槽进行喷淋冲洗即可；现使用的料篮 结构简单，硅片堆叠，粘贴在一起的硅片很难完成清洁工作。
基于此，本发明设计了一种用于硅片清洗机的传送装置，以解 决上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于硅片清洗机的传送装置，以解 决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于硅片清 洗机的传送装置，包括清洗槽，所述清洗槽顶部固定连接有若干个 喷头，所述清洗槽内部设置有框体，所述框体转动连接有两个底板， 两个所述底板关于框体对称布置，所述框体与底板均开设有若干个 通孔，两个所述底板顶面均固定连接有弧形板，所述弧形板顶面固 定连接有弧形顶板，两个所述底板上方均设置有连接杆，两个所述 连接杆分别两个所述底板滑动连接，所述连接杆滑动连接有若干个 分离板，所述分离板均为弧形，所述分离板底端均开设有倾斜面， 所述清洗槽前后方均设置有驱动组件，所述驱动组件用于驱动两个 底板同时绕转动轴进行上下方向的转动，所述框体左右两侧均设置 有直线驱动组，所述直线驱动组用于驱动框体在清洗槽之中升降与 固定。
作为本发明的进一步方案，所述驱动组件包括电机与两个驱动 杆，所述电机固定连接有往复丝杆，所述往复丝杆螺纹连接有连接 件，所述连接件与框体侧壁滑动连接，所述连接件固定连接有两个L 型杆，两个所述驱动杆均与框体转动连接，两个所述驱动杆均滑动 连接有连接块，两个所述连接块分别与两个所述连接杆端部转动连 接，两个所述L型杆一侧均设置有传动组，所述传动组用于在连接 件下降和上升时分别驱动两个驱动杆左右摆动，连接件底部固定连 接有横杆，所述横杆左右两端均固定连接有转轴，两个所述转轴均 转动连接有滑块，两个所述滑块分别与两个所述底板侧壁滑动连接； 两个所述滑块均固定连接有用于其复位的弹簧。
作为本发明的进一步方案，所述传动组包括第一固定杆与第二 固定杆，所述第一固定杆与第二固定杆固定连接，所述第一固定杆 转动连接有若干个第一棘爪，所述第二固定杆转动连接有若干个第 二棘爪，所述第一棘爪啮合有第一棘轮，所述第一棘轮固定连接有 第二棘轮，所述第二棘轮与驱动杆的转动轴固定连接，若干个所述 第二棘爪均能够与第二棘轮啮合。
作为本发明的进一步方案，所述直线驱动组包括固定片，所述 固定片固定与框体固定连接，所述固定片滑动连接有支撑片，所述 支撑片底部与清洗槽之间固定连接有两个气缸。
作为本发明的进一步方案，所述框体顶部固定连接有两个把手。
作为本发明的进一步方案，所述弧形顶板开设有通槽。
作为本发明的进一步方案，两个所述底板均呈U型。
作为本发明的进一步方案，所述电机为步进电机。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
底板向下转动与向上转动时分离板的移动方向相反，并且能够推动 的倾斜堆叠的硅片也相反，从而在两者的作用下使堆叠的硅片能够 顺利地分离，提高清洗时的效率，通过弧形板与弧形顶板能够使硅 片与弧形板接触时向两侧散开，防止硅片集中在一处区域时造成分 离板难以推动硅片的现象，分离板与连接杆滑动连接，在硅片堆积 难以推动时，分离板会沿着连接杆向上滑动，从而使分离板越过硅 片，防止分离板挤压硅片造成硅片损坏。
附图说明
图1为本发明总体结构示意图；
图2为本发明清洗槽的剖视图；
图3为图2中A处的局部放大图；
图4为本发明转轴与滑块的连接关系与位置关系示意图；
图5为本发明底板与驱动组件的位置关系示意图；
图6为本发明连接杆与分离板的结构示意图；
图7为本发明传动组的结构示意图；
图8为本发明弧形顶板与弧形板的位置关系和连接管事示意图；
图9为本发明直线驱动组的结构示意图；
图10为本发明固定片与支撑片的侧视图。
附图中，各标号所代表的部件列表如下：
1、清洗槽；2、喷头；3、框体；4、底板；5、弧形板；6、弧 形顶板；8、分离板；9、电机；10、往复丝杆；11、连接件；12、L 型杆；13、驱动杆；14、连接块；15、横杆；16、转轴；17、滑块；18、弹簧；19、第一固定杆；20、第二固定杆；21、第一棘爪；22、 第二棘爪；23、第一棘轮；24、第二棘轮；25、固定片；26、支撑 片；27、气缸；28、把手。
具体实施方式
请参阅图1-10，本发明提供一种技术方案：一种用于硅片清洗 机的传送装置，包括清洗槽1，清洗槽1顶部固定连接有若干个喷头 2，清洗槽1内部设置有框体3，框体3转动连接有两个底板4，两 个底板4关于框体3对称布置，框体3与底板4均开设有若干个通 孔，两个底板4顶面均固定连接有弧形板5，弧形板5顶面固定连接 有弧形顶板6，两个底板4上方均设置有连接杆7，两个连接杆7分 别两个底板4滑动连接，连接杆7滑动连接有若干个分离板8，分离 板8均为弧形，分离板8底端均开设有倾斜面，清洗槽1前后方均 设置有驱动组件，驱动组件用于驱动两个底板4同时绕转动轴进行 上下方向的转动，框体3左右两侧均设置有直线驱动组，直线驱动 组用于驱动框体3在清洗槽1之中升降与固定。
上述方案在投入实际使用时，启动直线驱动组，直线驱动组工 作时带动整个框体3从清洗槽1之中上升，然后将硅片放入框体3 内部(放入硅片的数量不能够过多，使得硅片平铺在底板4上后还 要留有一定的余量空间)，而后直线驱动组带动框体3下降，此时开 启多个喷头2与驱动组件，喷头2对底板4上的硅片进行喷淋清洗， 驱动组件工作时首先会带动两个底板4绕转动轴转动一定角度，两 个底板4转动时上方堆叠的硅片在底板4倾斜的作用下会顺着底板4 倾斜的方向向弧形顶板6下方滑动，弧形板5的厚度大于一个硅片 的厚度，硅片向弧形顶板6下方滑动时底层的硅片会与弧形板5接 触，而弧形顶板6则会对底层硅片上方堆叠的硅片进行一个推动的 作用，从而使底层的硅片与上方堆叠的硅片进行分离，防止硅片出 现向覆盖的情况，驱动组件工作时会带动连接杆7与若干个分离板8 沿着底板4向上移动，分离板8移动时会推动上层的硅片移动，从 而使上层的硅片向底板4后方移动，当移动到空隙的位置时上层的 硅片直接落入到空隙之中，防止硅片堆叠，但是有的硅片堆叠时可 能是处于倾斜状态的，即倾斜堆叠的硅片的表面是顺着分离板8移 动的方向或者是与分离板8移动方向相反的；
当倾斜堆叠的硅片的表面与分离板8表面方向相同时，分离板8 推动不了硅片移动，而是沿着倾斜的硅片移动，并且在分离板8移 动时会向连接杆7内部滑动，直到分离板8越过倾斜堆叠的硅片， 当倾斜堆叠的硅片表面与分离板8移动方向相反时，分离板8会推动倾斜堆叠的硅片的外圈，并且推动硅片移动，直到硅片移动到空 隙位置或底板4后方的余量空间位置时硅片则会直接的贴合在底板 4表面，驱动组件驱动底板4绕转动轴向下倾斜到极限位置后驱动组 件会带动底板4复位，底板4复位的过程中连接杆7与分离板8不 会移动，底板4复位后连接杆7与分离板8则会靠近底板4两侧的 位置进行停留，而后驱动组件带动底板4向上转动，此时连接杆7 与分离板8则会沿着底板4向上移动，分离板8移动时会将分离板8 第一次推动不了的硅片进行推动，即底板4向下转动与向上转动时 分离板8的移动方向相反，并且能够推动的倾斜堆叠的硅片也相反， 从而在两者的作用下使堆叠的硅片能够顺利地分离，提高清洗时的 效率；
底板4向下转动与向上转动时分离板8的移动方向相反，并且 能够推动的倾斜堆叠的硅片也相反，从而在两者的作用下使堆叠的 硅片能够顺利地分离，提高清洗时的效率，通过弧形板5与弧形顶 板6能够使硅片与弧形板5接触时向两侧散开，防止硅片集中在一 处区域时造成分离板8难以推动硅片的现象，分离板8与连接杆7 滑动连接，在硅片堆积难以推动时，分离板8会沿着连接杆7向上 滑动，从而使分离板8越过硅片，防止分离板8挤压硅片造成硅片 损坏。
作为本发明的进一步方案，驱动组件包括电机9与两个驱动杆 13，电机9固定连接有往复丝杆10，往复丝杆10螺纹连接有连接件 11，连接件11与框体3侧壁滑动连接，连接件11固定连接有两个L 型杆12，两个驱动杆13均与框体3转动连接，两个驱动杆13均滑 动连接有连接块14，两个连接块14分别与两个连接杆7端部转动连 接，两个L型杆12一侧均设置有传动组，传动组用于在连接件11 下降和上升时分别驱动两个驱动杆13左右摆动，连接件11底部固 定连接有横杆15，横杆15左右两端均固定连接有转轴16，两个转 轴16均转动连接有滑块17，两个滑块17分别与两个底板4侧壁滑 动连接；两个滑块17均固定连接有用于其复位的弹簧18。
上述驱动组在工作时，启动电机9，初始条件下连接件11位于 往复丝杆10的中间位置，电机9工作时带动往复丝杆10转动，往 复丝杆10转动时带动连接件11向下移动，连接件11向下移动时带 动横杆15下降，横杆15下降时通过转轴16带动滑块17沿着底板4 侧壁滑动，从而使底板4向下倾斜，滑块17滑动时会挤压弹簧18， 连接件11下降时会带动两个L型杆12下降，两个L型杆12下降时 传动组会驱动两个驱动杆13转动，两个驱动杆13转动时会带动连 接杆7沿着底板4向一侧移动，在移动时过程中分离板8对堆叠的 硅片进行推动，使4堆叠的硅片能够分离，当连接件11下降到往复 丝杆10下方的极限位置后两个底板4也倾斜到极限位置，然后往复 丝杆10带动连接件11上升，在连接件11上升到往复丝杆10的中间位置，即初始位置的这段时间中，传动组是不会带动连接杆7与 分离板8移动的，当连接件11到达初始位置后，往复丝杆10带动 连接件11上升，然后传动组带动驱动杆13转动，驱动杆13带动连 接杆7与分离板8向初始位置复位，在复位的过程中再次对堆叠的 硅片进行分离。
作为本发明的进一步方案，传动组包括第一固定杆19与第二固 定杆20，第一固定杆19与第二固定杆20固定连接，第一固定杆19 转动连接有若干个第一棘爪21，第二固定杆20转动连接有若干个第 二棘爪22，第一棘爪21啮合有第一棘轮23，第一棘轮23固定连接有第二棘轮24，第二棘轮24与驱动杆13的转动轴固定连接，若干 个第二棘爪22均能够与第二棘轮24啮合。
上述传动组在工作时，往复丝杆10带动连接件11从初始位置 下降时L型杆12带动第一固定杆19与第二固定杆20下降，第一固 定杆19下降时若干个第一棘爪21与第一棘轮23啮合，而第二棘爪 22与第二棘轮24不啮合，第一棘轮23带动驱动杆13转动，驱动杆 13带动连接杆7移动，当往复丝杆10带动连接件11复位时，第一 棘轮23与若干个第一棘爪21不啮合，当连接件11位于初始位置后， 往复丝杆10带动连接件11上升，第二棘爪22与第二棘轮24啮合， 第一棘轮23与第一棘爪21不啮合，而后驱动杆13反向转动，从而 使连接杆7与分离板8反向移动。
作为本发明的进一步方案，直线驱动组包括固定片25，固定片 25固定与框体3固定连接，固定片25滑动连接有支撑片26，支撑 片26底部与清洗槽1之间固定连接有两个气缸27。
上述直线驱动组在工作时，放置硅片是，启动气缸27，气缸27 伸长带动框体3从清洗槽1内部上升，然后硅片放入到底板4上方， 并且把固定片25插入支撑片26内，而后气缸27伸缩带动框体3下 降，不需要人工投放框体3。
作为本发明的进一步方案，框体3顶部固定连接有两个把手28。
上述方案在工作时，通过把手28方便框体3的取放。
作为本发明的进一步方案，弧形顶板6开设有通槽。
上述方案在工作时，通过通槽能够方便喷头2对硅片进行清洗 喷淋。
作为本发明的进一步方案，两个底板4均呈U型。
上述方案在工作时，U型的底板4能够防止底板4倾斜时硅片 从底板4两侧滑落。
作为本发明的进一步方案，电机9为步进电机。
上述方案在工作时，步进电机方便控制，在停止后是连接件11 处于初始位置。
工作原理：启动直线驱动组，直线驱动组工作时带动整个框体3 从清洗槽1之中上升，然后将硅片放入框体3内部(放入硅片的数 量不能够过多，使得硅片平铺在底板4上后还要留有一定的余量空 间)，而后直线驱动组带动框体3下降，此时开启多个喷头2与驱动组件，喷头2对底板4上的硅片进行喷淋清洗，驱动组件工作时首 先会带动两个底板4绕转动轴转动一定角度，两个底板4转动时上 方堆叠的硅片在底板4倾斜的作用下会顺着底板4倾斜的方向向弧 形顶板6下方滑动，弧形板5的厚度大于一个硅片的厚度，硅片向 弧形顶板6下方滑动时底层的硅片会与弧形板5接触，而弧形顶板6 则会对底层硅片上方堆叠的硅片进行一个推动的作用，从而使底层 的硅片与上方堆叠的硅片进行分离，防止硅片出现向覆盖的情况， 驱动组件工作时会带动连接杆7与若干个分离板8沿着底板4向上 移动，分离板8移动时会推动上层的硅片移动，从而使上层的硅片 向底板4后方移动，当移动到空隙的位置时上层的硅片直接落入到 空隙之中，防止硅片堆叠，但是有的硅片堆叠时可能是处于倾斜状 态的，即倾斜堆叠的硅片的表面是顺着分离板8移动的方向或者是 与分离板8移动方向相反的；
当倾斜堆叠的硅片的表面与分离板8表面方向相同时，分离板8 推动不了硅片移动，而是沿着倾斜的硅片移动，并且在分离板8移 动时会向连接杆7内部滑动，直到分离板8越过倾斜堆叠的硅片， 当倾斜堆叠的硅片表面与分离板8移动方向相反时，分离板8会推动倾斜堆叠的硅片的外圈，并且推动硅片移动，直到硅片移动到空 隙位置或底板4后方的余量空间位置时硅片则会直接的贴合在底板 4表面，驱动组件驱动底板4绕转动轴向下倾斜到极限位置后驱动组 件会带动底板4复位，底板4复位的过程中连接杆7与分离板8不 会移动，底板4复位后连接杆7与分离板8则会靠近底板4两侧的 位置进行停留，而后驱动组件带动底板4向上转动，此时连接杆7 与分离板8则会沿着底板4向上移动，分离板8移动时会将分离板8 第一次推动不了的硅片进行推动，即底板4向下转动与向上转动时 分离板8的移动方向相反，并且能够推动的倾斜堆叠的硅片也相反， 从而在两者的作用下使堆叠的硅片能够顺利地分离，提高清洗时的 效率；
底板4向下转动与向上转动时分离板8的移动方向相反，并且 能够推动的倾斜堆叠的硅片也相反，从而在两者的作用下使堆叠的 硅片能够顺利地分离，提高清洗时的效率，通过弧形板5与弧形顶 板6能够使硅片与弧形板5接触时向两侧散开，防止硅片集中在一 处区域时造成分离板8难以推动硅片的现象，分离板8与连接杆7 滑动连接，在硅片堆积难以推动时，分离板8会沿着连接杆7向上 滑动，从而使分离板8越过硅片，防止分离板8挤压硅片造成硅片 损坏。

Claims (8)

1.一种用于硅片清洗机的传送装置，包括清洗槽(1)，所述清洗槽(1)顶部固定连接有若干个喷头(2)，其特征在于：所述清洗槽(1)内部设置有框体(3)，所述框体(3)转动连接有两个底板(4)，两个所述底板(4)关于框体(3)对称布置，所述框体(3)与底板(4)均开设有若干个通孔，两个所述底板(4)顶面均固定连接有弧形板(5)，所述弧形板(5)顶面固定连接有弧形顶板(6)，两个所述底板(4)上方均设置有连接杆(7)，两个所述连接杆(7)分别两个所述底板(4)滑动连接，所述连接杆(7)滑动连接有若干个分离板(8)，所述分离板(8)均为弧形，所述分离板(8)底端均开设有倾斜面，所述清洗槽(1)前后方均设置有驱动组件，所述驱动组件用于驱动两个底板(4)同时绕转动轴进行上下方向的转动，所述框体(3)左右两侧均设置有直线驱动组，所述直线驱动组用于驱动框体(3)在清洗槽(1)之中升降与固定。
2.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗机的传送装置，其特征在于：所述驱动组件包括电机(9)与两个驱动杆(13)，所述电机(9)固定连接有往复丝杆(10)，所述往复丝杆(10)螺纹连接有连接件(11)，所述连接件(11)与框体(3)侧壁滑动连接，所述连接件(11)固定连接有两个L型杆(12)，两个所述驱动杆(13)均与框体(3)转动连接，两个所述驱动杆(13)均滑动连接有连接块(14)，两个所述连接块(14)分别与两个所述连接杆(7)端部转动连接，两个所述L型杆(12)一侧均设置有传动组，所述传动组用于在连接件(11)下降和上升时分别驱动两个驱动杆(13)左右摆动，连接件(11)底部固定连接有横杆(15)，所述横杆(15)左右两端均固定连接有转轴(16)，两个所述转轴(16)均转动连接有滑块(17)，两个所述滑块(17)分别与两个所述底板(4)侧壁滑动连接；两个所述滑块(17)均固定连接有用于其复位的弹簧(18)。
3.根据权利要求2所述的一种用于硅片清洗机的传送装置，其特征在于：所述传动组包括第一固定杆(19)与第二固定杆(20)，所述第一固定杆(19)与第二固定杆(20)固定连接，所述第一固定杆(19)转动连接有若干个第一棘爪(21)，所述第二固定杆(20)转动连接有若干个第二棘爪(22)，所述第一棘爪(21)啮合有第一棘轮(23)，所述第一棘轮(23)固定连接有第二棘轮(24)，所述第二棘轮(24)与驱动杆(13)的转动轴固定连接，若干个所述第二棘爪(22)均能够与第二棘轮(24)啮合。
4.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗机的传送装置，其特征在于：所述直线驱动组包括固定片(25)，所述固定片(25)固定与框体(3)固定连接，所述固定片(25)滑动连接有支撑片(26)，所述支撑片(26)底部与清洗槽(1)之间固定连接有两个气缸(27)。
5.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗机的传送装置，其特征在于：所述框体(3)顶部固定连接有两个把手(28)。
6.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗机的传送装置，其特征在于：所述弧形顶板(6)开设有通槽。
7.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗机的传送装置，其特征在于：两个所述底板(4)均呈U型。
8.根据权利要求2所述的一种用于硅片清洗机的传送装置，其特征在于：所述电机(9)为步进电机。
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