CN208453951U - 一种硅片料盒旋转装置 - Google Patents
一种硅片料盒旋转装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN208453951U CN208453951U CN201821110793.2U CN201821110793U CN208453951U CN 208453951 U CN208453951 U CN 208453951U CN 201821110793 U CN201821110793 U CN 201821110793U CN 208453951 U CN208453951 U CN 208453951U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- silicon wafer
- rotating device
- clamping
- wafer box
- fixed plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种硅片料盒旋转装置,它包括从上至下依次设置的上旋转固定板、升降装置、旋转装置和夹紧装置;其中,升降装置固定于上旋转固定板底部,旋转装置通过固定座与升降装置连接,夹紧装置通过旋转固定板与旋转装置连接。与现有技术相比,本实用新型结构紧凑,运行稳定、成本低、寿命高,实际生产中已得到验证,设备碎片率降低到0.02%,新型装置机动率在100%;可以在导片机上使用。
Description
技术领域
本实用新型属于机械领域,具体涉及一种硅片料盒旋转装置。
背景技术
硅片料盒旋转在硅片生产工艺中有很广泛的运用,如刻蚀工艺需要对硅片料盒旋转进行收集和取放硅片,所以硅片料盒旋转机构设计影响到生产工艺要求和设备产能。
现有技术中,主要依靠人工进行翻转装配,效率低下,浪费人力,而且容易造成硅片的破损。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种硅片料盒旋转装置,以解决现有技术存在的效果不佳等问题。
为解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案如下:
一种硅片料盒旋转装置,它包括从上至下依次设置的上旋转固定板、升降装置、旋转装置和夹紧装置;其中,升降装置固定于上旋转固定板底部,旋转装置通过固定座与升降装置连接,夹紧装置通过旋转固定板与旋转装置连接。
其中,所述的升降装置包括升降气缸和加强支撑板。
其中,升降气缸设置于上旋转固定板底面,加强支撑板固定于升降气缸侧面和旋转固定板底面。
其中,所述的旋转装置包括1个旋转气缸。
其中,所述的夹紧装置包括夹紧板、夹紧座、夹紧气缸。
其中,所述的夹紧装置包括2个夹紧气缸,左右各一个,可以同时动作。
有益效果:
与现有技术相比,本实用新型结构紧凑,运行稳定、成本低、寿命高,实际生产中已得到验证,设备碎片率降低到0.02%,新型装置机动率在100%;可以在导片机上使用。
附图说明
图1为本实用新型的正视图;
图2为本实用新型的侧视图。
具体实施方式
实施例1
如图1和图2所示的硅片料盒旋转装置,料盒被输送进入夹紧座8下方,升降气缸2伸出带动旋转装置和夹紧装置同时下降,升降气缸2伸出到位后,左右两个夹紧气缸7同时缩回带动夹紧板与夹紧座动作把料盒夹紧,升降气缸2缩回带动旋转装置和夹紧装置同时上升,升降气缸2缩回到位后,旋转气缸2旋转伸出带动料盒旋转90度,升降气缸2伸出带动旋转装置和夹紧装置同时下降,升降气缸2伸出到位后,左右两个夹紧气缸7同时伸出带动夹紧板与夹紧座动作把料盒松开,升降气缸2缩回带动旋转装置和夹紧装置同时上升,升降气缸2缩回到位后,旋转气缸2旋转缩回,等待下一个料盒。
本实施例结构紧凑,运行稳定、成本低、寿命高,实际生产中已得到验证,设备碎片率降低到0.02%,新型装置机动率在100%;可以在导片机上使用。
Claims (6)
1.一种硅片料盒旋转装置,其特征在于,它包括从上至下依次设置的上旋转固定板(1)、升降装置、旋转装置和夹紧装置;其中,升降装置固定于上旋转固定板(1)底部,旋转装置通过固定座(3)与升降装置连接,夹紧装置通过旋转固定板(5)与旋转装置连接。
2.根据权利要求1所述的硅片料盒旋转装置,其特征在于,所述的升降装置包括升降气缸(2)和加强支撑板(10)。
3.根据权利要求2所述的硅片料盒旋转装置,其特征在于,升降气缸(2)设置于上旋转固定板(1)底面,加强支撑板(10)固定于升降气缸(2)侧面和旋转固定板(1)底面。
4.根据权利要求1所述的硅片料盒旋转装置,其特征在于,所述的旋转装置包括1个旋转气缸(4)。
5.根据权利要求1所述的硅片料盒旋转装置,其特征在于,所述的夹紧装置包括夹紧板(6)、夹紧座(8)、夹紧气缸(7)。
6.根据权利要求1所述的硅片料盒旋转装置,其特征在于,所述的夹紧装置包括2个夹紧气缸(7)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201821110793.2U CN208453951U (zh) | 2018-07-13 | 2018-07-13 | 一种硅片料盒旋转装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201821110793.2U CN208453951U (zh) | 2018-07-13 | 2018-07-13 | 一种硅片料盒旋转装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN208453951U true CN208453951U (zh) | 2019-02-01 |
Family
ID=65171634
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201821110793.2U Active CN208453951U (zh) | 2018-07-13 | 2018-07-13 | 一种硅片料盒旋转装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN208453951U (zh) |
-
2018
- 2018-07-13 CN CN201821110793.2U patent/CN208453951U/zh active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN203955454U (zh) | 一种微电子行业用自动涂胶装置 | |
CN208009010U (zh) | 一种用于成衣生产中的纽扣定位送料装置 | |
CN202935909U (zh) | 一种清洗机硅片上料装置 | |
CN208453951U (zh) | 一种硅片料盒旋转装置 | |
CN201979364U (zh) | 有机马赛克磨边机 | |
CN204896734U (zh) | 一种用于汽车玻璃生产线的交叉旋转换线机 | |
CN204137921U (zh) | 一种采用回转夹具的料盒自动放置装置 | |
CN203411071U (zh) | 一种三轴吸取机构 | |
CN105819221A (zh) | 一种空调底托自动化下线系统 | |
CN203756685U (zh) | 自动贴片机 | |
CN206767095U (zh) | 一种推收板机pcb挡杆自动抽出装置 | |
CN206356830U (zh) | 割草机机头部分组装机的轴承上料机构 | |
CN204711852U (zh) | 砂轮生产芯环分拣抓取装置 | |
CN109950186A (zh) | 一种石墨框装片装置 | |
CN203903465U (zh) | 一种垛板机 | |
CN204711863U (zh) | 砂轮生产纤维网片放置吸盘 | |
CN208544833U (zh) | 一种硬质胸卡装配用旋转取料装置 | |
CN104291106B (zh) | 输送棒材钢筋设备的自动导料转送装置 | |
CN201914702U (zh) | 一种废烟支自动排序机 | |
CN202359290U (zh) | 一种纺织机的收卷装置 | |
CN207712960U (zh) | 一种花篮上料机用上料机构 | |
CN206615767U (zh) | 薄膜自动收片机 | |
CN109110514A (zh) | 散瓶码垛复合夹具 | |
CN104440625B (zh) | 一种砂轮生产芯环分拣抓取系统 | |
CN204400279U (zh) | 工件分类输出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |