CN205701298U - 一种涂胶装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种涂胶装置，包括点胶针筒、用于承载硅片的吸盘、用于驱动该吸盘旋转的驱动电机、为吸盘提供吸力的抽气设备、净化工作腔、送气风机和抽气风机，净化工作腔左右端板开设气孔，净化工作腔的左侧端板外设置有散流罩，送气风机的出风口经过空气过滤器连接散流罩的进气口，净化工作腔的右侧端板外设置有集风罩，集风罩的出气口连接抽气风机的进气口，点胶针筒固定在净化工作腔的顶部，吸盘设置于净化工作腔内且位于点胶针筒的正下方。本实用新型将涂胶放置于净化工作腔内进行，不会污染操作环境，保护人员健康；净化工作腔为涂胶过程提供了洁净的环境，空气中的灰尘不会污染涂覆的胶水；吸盘转动时，胶水也不会甩到净化工作腔外部。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种涂胶装置，特别适合用于微电子行业的涂胶工艺。
背景技术
微电子技术作为电子信息产业的核心技术之一，已经成为现代电子信息技术，尤其是计算机和通讯技术发展的驱动力。为了在新的科技革命中迎头赶上西方发达国家，必须在微电子技术领域取得快速的发展。
涂胶是微电子行业十分常用的工艺步骤。目前现有的注胶设备要么结构简陋，自动化程度低，工人劳动强度大；要么结构复杂，成本高昂，不利于推广。
发明内容
本实用新型的目的在于，克服上述现有技术的缺陷，提供一种涂胶装置。
上述目的由下述技术方案来实现：本实用新型提供的涂胶装置，包括点胶针筒、用于承载硅片的吸盘、用于驱动该吸盘旋转的驱动电机和为吸盘提供吸力的抽气设备，其特征在于：还包括净化工作腔、送气风机和抽气风机，所述净化工作腔左右端板开设气孔，净化工作腔的左侧端板外设置有散流罩，送气风机的出风口经过空气过滤器连接散流罩的进气口，所述净化工作腔的右侧端板外设置有集风罩，集风罩的出气口连接抽气风机的进气口，所述点胶针筒固定在净化工作腔的顶部，吸盘设置于净化工作腔内且位于点胶针筒的正下方；吸盘的中轴线位置设有与抽气设备相连的吸气管，吸盘的吸气管顶端周围设置有环形储胶槽，吸盘的吸气管顶端至吸盘上表面的距离为2mm。
本实用新型还具有如下改进：
1、吸盘的横截面呈W型，储胶槽的深度为6mm，靠近吸气管一侧的储胶槽内壁与水平面的夹角为70°，远离吸气管一侧的储胶槽内壁与水平面的夹角为50°。
2、所述空气过滤器为活性炭过滤器。
3、所述点胶针筒的针管下端设有单向阀。
4、所述单向阀为薄膜单向阀。
本实用新型将涂胶放置于净化工作腔内进行，不会污染操作环境，保护人员健康；净化工作腔为涂胶过程提供了洁净的环境，空气中的灰尘不会污染涂覆的胶水；吸盘转动时，胶水也不会甩到净化工作腔外部。此外，本实用新型对吸盘的尺寸进行了改进，使其对硅片具有更好的吸附力。
本实用新型结构简单、设计巧妙，使用方便，且易于维护。本装置的生产成本低，功能可满足实际生产需要，适于在微电子行业广泛运用。
附图说明
图1 是本实用新型涂胶装置的结构示意图。
图中标号示意如下：
1-净化工作腔；2-散流罩；3-集风罩；4-送气风机；5-抽气风机；6-空气过滤器；7-抽气设备；8-吸盘；9-驱动电机；10-点胶针筒；11-单向阀；12-硅片。
具体实施方式
如图1所述，本实施例涂胶装置，包括点胶针筒10、用于承载硅片12的吸盘8、用于驱动该吸盘8旋转的驱动电机9和为吸盘8提供吸力的抽气设备7，净化工作腔1、送气风机4和抽气风机5，点胶针筒10的针管下端设有单向阀11（选用薄膜单向阀），净化工作腔1左右端板开设气孔，净化工作腔1的左侧端板外设置有散流罩2，送气风机4的出风口经过空气过滤器6(本例中，空气过滤器6选用活性炭过滤器)连接散流罩2的进气口，所述净化工作腔1的右侧端板外设置有集风罩3，集风罩3的出气口连接抽气风机5的进气口，所述点胶针筒固定在净化工作腔1的顶部，吸盘8设置于净化工作腔1内且位于点胶针筒的正下方；吸盘8的中轴线位置设有与抽气设备7相连的吸气管，吸盘8的吸气管顶端周围设置有环形储胶槽，吸盘8的吸气管顶端至吸盘8上表面的距离为2mm。如图1所示，吸盘8的横截面呈W型，储胶槽的深度为6mm，靠近吸气管一侧的储胶槽内壁与水平面的夹角为70°，远离吸气管一侧的储胶槽内壁与水平面的夹角为50°。
吸盘带动硅片旋转，从点胶针筒滴下的胶水在离心力的作用下向外移动，从而实现自动匀胶，由于硅片的亲水性，甩至硅片边缘的胶水容易流到吸盘的背面，并且因重力作用向中间聚拢。环形储胶槽能够有效阻挡该部分胶水流入吸气管，从而确保匀胶机的正常运转，提高匀胶效率。
除上述实施例外，本实用新型还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本实用新型要求的保护范围。
Claims (4)
1.一种涂胶装置，包括点胶针筒、用于承载硅片的吸盘、用于驱动该吸盘旋转的驱动电机和为吸盘提供吸力的抽气设备，其特征在于：还包括净化工作腔、送气风机和抽气风机，所述净化工作腔左右端板开设气孔，净化工作腔的左侧端板外设置有散流罩，送气风机的出风口经过空气过滤器连接散流罩的进气口，所述净化工作腔的右侧端板外设置有集风罩，集风罩的出气口连接抽气风机的进气口，所述点胶针筒固定在净化工作腔的顶部，吸盘设置于净化工作腔内且位于点胶针筒的正下方；吸盘的中轴线位置设有与抽气设备相连的吸气管，吸盘的吸气管顶端周围设置有环形储胶槽，吸盘的吸气管顶端至吸盘上表面的距离为2mm；所述空气过滤器为活性炭过滤器。
2.根据权利要求1所述的涂胶装置，其特征在于：吸盘的横截面呈W型，储胶槽的深度为6mm，靠近吸气管一侧的储胶槽内壁与水平面的夹角为70°，远离吸气管一侧的储胶槽内壁与水平面的夹角为50°。
3.根据权利要求1所述的涂胶装置，其特征在于：所述点胶针筒的针管下端设有单向阀。
4.根据权利要求3所述的涂胶装置，其特征在于：所述单向阀为薄膜单向阀。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112680124A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-04-20 | 安徽金龙浩光电科技有限公司 | 一种新型玻璃粘接方法 |
| CN112738305A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-04-30 | 安徽金龙浩光电科技有限公司 | 一种手机后盖及其制备方法 |
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Granted publication date: 20161123 Termination date: 20170420 |
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