CN204178123U - 一种具有脱泡功能的显影装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种具有脱泡功能的显影装置,能有效去除显影液中的气泡,提高光刻胶清洗效果,从而提升芯片的生长良率。该显影装置包括依次设置的高压气源、气体管路、储液瓶及其出液管路;气体管路上安装有第一阀门,储液瓶的出液管路上安装有第二阀门;其特殊之处在于:储液瓶的出液管路的出口端伸入一封闭的缓冲瓶内,经该缓冲瓶的出液管路流出显影液对光刻胶进行涂覆;所述缓冲瓶上设置有与外部大气联通的气体支管,该气体支管上安装有第三阀门,缓冲瓶的出液管路上安装有第四阀门。
Description
技术领域:
本实用新型涉及一种在半导体元器件制作过程中采用的显影装置。
背景技术:
曝光显影技术是芯片领域中非常重要的环节,是当今用来制备精密器件微纳米图形最常用的手法。其基本工作原理是,首先在清洗洁净的衬底表面均匀涂布一层光刻胶;然后利用掩膜曝光技术,通过紫外光的照射,使受到紫外光照射的光刻胶部分性状发生改变;最后通过显影液的清洗,将人们所需要的光刻胶图形保留下来,完成微纳米图形的设计。
光刻胶一般分为正光刻胶和负光刻胶两种。以正光刻胶为例,当光刻胶受到紫外光照射时,其分子结构发生变化,由油溶性变为水溶性,当其遇到显影液时能迅速溶解到显影液中,而未被照射的光刻胶部分将不会溶解,从而制备出所需图形。
传统的显影方法是,首先将显影液盛放在密闭钢瓶中(如图1所示),然后开启阀门1向密闭钢瓶中冲入氮气或者压缩空气,使钢瓶内的气压大于外界气压,然后控制阀门2的开启时间,即可控制喷涂显影液的量。然而,在实际生产过程中,经常会出现由显影液中的气泡产生的缺陷,即含有气泡的显影液被直接涂覆在光刻胶上,使光刻胶和显影液发生隔离,原本受到紫外光照射,应被显影液溶解的光刻胶,由于未能有效接触到显影液而保留下来,造成图形失真,严重影响产品的质量。这些气泡大多是在向钢瓶中添加显影液时产生的。由于钢瓶中的气压超过大气压,且显影液的粘性阻滞作用较大,都不利于显影液中的气泡的有效释放。实际生产时,这些气泡会直接通过管道到达光刻胶表面,产生缺陷。
实用新型内容:
本实用新型提供了一种新的显影装置,能有效去除显影液中的气泡,提高光刻胶清洗效果,从而提升芯片的生长良率。
本实用新型的技术方案如下:
一种具有脱泡功能的显影装置,包括依次设置的高压气源、气体管路、储液瓶及其出液管路;气体管路上安装有第一阀门,储液瓶的出液管路上安装有第二阀门;其特殊之处在于:储液瓶的出液管路的出口端伸入一封闭的缓冲瓶内,经该缓冲瓶的出液管路流出显影液对光刻胶进行涂覆;所述缓冲瓶上设置有与外部大气联通的气体支管,该气体支管上安装有第三阀门,缓冲瓶的出液管路上安装有第四阀门。
另外,本实用新型还将储液瓶的出液管路的出口端设计为多孔喷头形式。这样,通过多孔喷头的喷淋,来自储液瓶的显影液中存在的气泡会破裂,从显影液中释放出来。
本实用新型具有以下优点:
本实用新型采用两级出液,设置缓冲瓶,通过缓冲瓶的大气联通环境使得显影液中的气泡得到有效释放;而且,采用多孔喷头作为缓冲瓶内的入液端口,喷淋过程也将显影液中存在的气泡进行初步释放。最终,能够使得显影液无气隙地涂覆在光刻胶上,清洗质量高,从而提升芯片的生长良率。
附图说明:
图1为传统显影装置图。
图2为本实用新型的结构示意图。
附图标号说明:
1-氮气瓶;2-储液瓶(密闭钢瓶);3-缓冲瓶;
11-第一阀门;12-第二阀门;13-第三阀门;14-第四阀门。
具体实施方式:
如图2所示,本实用新型中,储液瓶2的出液管路的出口端采用多孔喷头的结构形式,该出口端伸入一封闭的缓冲瓶3内,经该缓冲瓶3的出液管路流出显影液对光刻胶进行涂覆;所述缓冲瓶3上设置有与外部大气联通的气体支管,该气体支管上安装有第三阀门,缓冲瓶3的出液管路上安装有第四阀门。
采用本实用新型,可按照以下步骤操作:
一,补液:首先打开第一阀门11和第二阀门12,关闭第三阀门13和第四阀门14,在压强差的作用下,显影液会从储液瓶2流入缓冲瓶中,完成补液,通常要求缓冲瓶3中显影液的缓冲量超过缓冲瓶容积的三分之二。在这个过程中,显影液经过多孔喷头,对气泡进行初步释放。
二,静置:打开第三阀门13,关闭第二阀门12和第四阀门14,此时,缓冲瓶3中的气压为大气压,增加显影液中气泡的释放。
三,涂液:关闭第一阀门11和第二阀门12,打开第三阀门13和第四阀门14,通过控制第四阀门14的开启时间,即可控制显影液的涂布量。
四,补液:关闭第三阀门13和第四阀门14,此时,缓冲瓶中为大气压,打开第二阀门12,显影液会由于压强差,自动从钢瓶流入缓冲瓶中,完成补液。
Claims (2)
1.一种具有脱泡功能的显影装置,包括依次设置的高压气源、气体管路、储液瓶及其出液管路;气体管路上安装有第一阀门,储液瓶的出液管路上安装有第二阀门;其特征在于:储液瓶的出液管路的出口端伸入一封闭的缓冲瓶内,经该缓冲瓶的出液管路流出显影液对光刻胶进行涂覆;所述缓冲瓶上设置有与外部大气联通的气体支管,该气体支管上安装有第三阀门,缓冲瓶的出液管路上安装有第四阀门。
2.根据权利要求1所述的具有脱泡功能的显影装置,其特征在于:储液瓶的出液管路的出口端采用多孔喷头。
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CN111467046A (zh) * | 2020-03-16 | 2020-07-31 | 中科绿谷(深圳)医疗科技有限公司 | 显影球及其制备方法和应用 |
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- 2014-10-23 CN CN201420617826.8U patent/CN204178123U/zh not_active Expired - Fee Related
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