JP6342343B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
パターン倒れは、ウエハ表面に残った液体を乾燥させる際に、パターンを形成する凹凸の例えば凸部の左右(言い替えると凹部内)に残っている液体が不均一に乾燥することにより、この凸部を左右に引っ張る表面張力のバランスが崩れて液体の多く残っている方向に凸部が倒れる現象である。
<基板処理装置>
まず本発明による分離再生装置が組込まれた基板処理装置について説明する。基板処理装置の一例として、基板であるウエハW(被処理体)に各種処理液を供給して液処理を行う液処理ユニット2と、液処理後のウエハWに付着している乾燥防止用の液体を超臨界流体(高圧流体)と接触させて除去する超臨界処理ユニット3(高圧流体処理ユニット)とを備えた液処理装置1について説明する。
ハロゲンランプ413の下端部には、電源部412が接続されており、電源部412から供給される電力によりハロゲンランプ413を発熱させ、主にその輻射熱を利用してスパイラル管411を加熱する。電源部412は、スパイラル管411に設けられた不図示の温度検出部と接続されており、この検出温度に基づいてスパイラル管411に供給する電力を増減し、予め設定した温度にスパイラル管411内を加熱することができる。
次に基板処理装置に組み込まれた本実施の形態による分離再生装置について図5乃至図9により説明する。
次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
スパイラル管411内の超臨界処理用のフッ素含有有機溶剤は、処理容器3Aに供給された際に、臨界圧力、臨界温度を維持することが可能な温度、圧力まで昇温、昇圧される。
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく種々変形可能である。例えば、上記実施の形態においては、液処理ユニット2において、第1のフッ素含有有機溶剤がウエハWに供給され、その後第2のフッ素含有有機溶剤がウエハWに供給されるものを示したが、これに限るものではない。液処理ユニット2において、第2のフッ素含有有機溶剤がウエハWに供給され、その後第1のフッ素含有有機溶剤がウエハWに供給されるものであってもよく、液処理ユニット2から超臨界処理ユニット3へと搬送される間に、ウエハWの表面からの揮発するフッ素含有有機溶剤量を低減することができ、第1のフッ素含有有機溶剤と第2のフッ素含有有機溶剤が高い親和性をもって溶解するものであればよい。
使用したフッ素含有有機溶剤の分離再生を向上させるため、下記の3つの機能を追加する。
次に図10により、本発明の変形例について説明する。
図10に示す変形例は、混合排液タンク31に撹拌機構31Bを設けるとともに、混合排液タンク31,バッファタンク33,第1のタンク35および第2のタンク36に蓋体31A、33A、35A、36Aを設け、さらに供給ライン49に予熱ヒータ49Aを設けたものである。他の構成は図1乃至図8に示す実施の形態と略同一である。
1 液処理装置
2 液処理ユニット
3 超臨界処理ユニット
3A 処理容器
4A 超臨界流体供給部
5 制御部
30 分離再生装置
31 混合排液タンク
31A 蓋体
31B 撹拌機構
32 油水分離器
33 バッファタンク
33A 蓋体
34 蒸留タンク
34a ヒータ
35 第1のタンク
35A 蓋体
36 第2のタンク
36A 蓋体
38 第1の供給ライン
42 第2の供給ライン
49 供給ライン
49A 予熱ヒータ
Claims (10)
- 被処理体に第1沸点をもつ第1のフッ素含有有機溶剤と、第1沸点より高い第2沸点をもつ第2のフッ素含有有機溶剤を供給して液処理を行う液処理ユニットと、
液処理後の被処理体に付着しているフッ素含有有機溶剤の液体をフッ素含有有機溶剤の超臨界流体と接触させて除去する超臨界処理ユニットと、
前記液処理ユニットで液処理された被処理体を前記超臨界処理ユニットへ搬送する基板搬送ユニットと、を備え、
前記液処理ユニットに分離再生装置が組み込まれている、基板処理装置おいて、
前記分離再生装置は、
第1沸点をもつ第1のフッ素含有有機溶剤と、第1沸点より高い第2沸点をもつ第2のフッ素含有有機溶剤とを有する混合液を生成する混合液生成部と、
前記混合液を前記第1沸点と前記第2沸点との間の温度に加熱するヒータを含み、前記混合液を気体状の前記第1のフッ素含有有機溶剤と液体状の前記第2のフッ素含有有機溶剤とに分離する蒸留タンクと、
前記蒸留タンクから送られる気体状の前記第1のフッ素含有有機溶剤を液化して貯留する第1のタンクと、
前記蒸留タンクから送られる液体状の前記第2のフッ素含有有機溶剤を貯留する第2のタンクとを備え、
前記蒸留タンクは前記混合液生成部における混合液の混合比率に対応した分離比率で、前記混合液を前記第1のフッ素含有有機溶剤を多く含む液体と前記第2のフッ素含有有機溶剤を多く含む液体とに分離することを特徴とする基板処理装置。 - 被処理体に対して前記第1のフッ素含有有機溶剤と前記第2のフッ素含有有機溶剤を供給して液処理を施す液処理ユニットを更に備えたことを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。
- 前記液処理ユニットと前記蒸留タンクとの間に、前記混合液生成部を構成するバッファタンクを設けたことを特徴とする請求項2記載の基板処理装置。
- 前記液処理ユニットが前記混合液生成部を構成することを特徴とする請求項2記載の基板処理装置。
- 前記第1のタンクと前記液処理ユニットとの間に、前記第1のフッ素含有有機溶剤を供給する第1の供給ラインが設けられ、前記第2のタンクと前記液処理ユニットとの間に、前記第2のフッ素含有有機溶剤を供給する第2の供給ラインが設けられていることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか記載の基板処理装置。
- 前記第1の供給ラインに前記第1のフッ素含有有機溶剤の濃度を測定する第1の濃度計が設けられ、前記第2の供給ラインに前記第2のフッ素含有有機溶剤の濃度を測定する第2の濃度計が設けられていることを特徴とする請求項5記載の基板処理装置。
- 前記第1のタンクに新規の第1のフッ素含有有機溶剤を供給する第1の新液供給ラインが設けられ、
前記第2のタンクに新規の第2のフッ素含有有機溶剤を供給する第2の新液供給ラインが設けられていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか記載の基板処理装置。 - 前記混合液生成部は、混合排液タンクからなり、この混合排液タンクに混合液を撹拌する撹拌機構が設けられていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか記載の基板処理装置。
- 前記混合液生成部は、混合排液タンクからなり、この混合排液タンク、前記第1のタンク、前記第2のタンクのうち少なくとも一つのタンクに、液面に浮きかつこの液面を覆う蓋体が設けられていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか記載の基板処理装置。
- 前記混合液生成部と前記蒸留タンクとの間に、混合液を予備加熱する予熱ヒータが設けられていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか記載の基板処理装置。
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