JPH08168601A - 溶剤分離装置 - Google Patents
溶剤分離装置Info
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- JPH08168601A JPH08168601A JP7026076A JP2607695A JPH08168601A JP H08168601 A JPH08168601 A JP H08168601A JP 7026076 A JP7026076 A JP 7026076A JP 2607695 A JP2607695 A JP 2607695A JP H08168601 A JPH08168601 A JP H08168601A
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- fluorine
- solvent
- recovery tank
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Abstract
(57)【要約】
【目的】ＰＦＣ、ＨＣＦＣ、ＨＦＣなどのフッ素系溶剤
とＨＣとが混合した混合液から沸点の差を利用してフッ
素系溶剤とＨＣとを分離回収することで、上述の混合液
を連続的に分離回収することができ、充分な分離能力を
確保することができる溶剤分離装置の提供を目的とす
る。 【構成】フッ素系溶剤とＨＣとが混合した混合液ＡＢか
らフッ素系溶剤とＨＣとを分離する溶剤分離装置であっ
て、上記混合液ＡＢを流下させる流下板３の下方にＨＣ
回収槽７を形成し、上記流下板３には該流下板３をフッ
素系溶剤の沸点以上に加熱する加熱手段４，５，Ｗを配
設すると共に、上記流下板３から蒸発したフッ素系溶剤
の蒸気ａを冷却液化する冷却液化手段９を設け、該冷却
液化手段９の下方に上記ＨＣ回収槽７に対して区画形成
されたフッ素系溶剤回収槽８を設けたことを特徴とす
る。
とＨＣとが混合した混合液から沸点の差を利用してフッ
素系溶剤とＨＣとを分離回収することで、上述の混合液
を連続的に分離回収することができ、充分な分離能力を
確保することができる溶剤分離装置の提供を目的とす
る。 【構成】フッ素系溶剤とＨＣとが混合した混合液ＡＢか
らフッ素系溶剤とＨＣとを分離する溶剤分離装置であっ
て、上記混合液ＡＢを流下させる流下板３の下方にＨＣ
回収槽７を形成し、上記流下板３には該流下板３をフッ
素系溶剤の沸点以上に加熱する加熱手段４，５，Ｗを配
設すると共に、上記流下板３から蒸発したフッ素系溶剤
の蒸気ａを冷却液化する冷却液化手段９を設け、該冷却
液化手段９の下方に上記ＨＣ回収槽７に対して区画形成
されたフッ素系溶剤回収槽８を設けたことを特徴とす
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えばワークの洗浄
に供されるＨＣ（ハイドロカーボン）と、ワークに付着
したＨＣの除去に供されるＰＦＣ（基本化学構造Ｃ6 Ｆ
14で示されるパーフロオロカーボンのこと）やＨＣＦＣ
あるいはＨＦＣなどのフッ素系溶剤とが混合した混合液
から上述のフッ素系溶剤とＨＣとを分離するような溶剤
分離装置に関する。
に供されるＨＣ（ハイドロカーボン）と、ワークに付着
したＨＣの除去に供されるＰＦＣ（基本化学構造Ｃ6 Ｆ
14で示されるパーフロオロカーボンのこと）やＨＣＦＣ
あるいはＨＦＣなどのフッ素系溶剤とが混合した混合液
から上述のフッ素系溶剤とＨＣとを分離するような溶剤
分離装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般にＨＣを貯溜したＨＣタンク内にリ
ードフレーム、プリント配線基板、電子部品、金属部品
その他のワークを浸漬洗浄した後には、このワークをＨ
Ｃタンク内から引上げて、次段のフッ素系溶剤（たとえ
ばＰＦＣ）を貯溜したＰＦＣタンクにワークを浸漬し
て、ワークに付着したＨＣをＰＦＣで剥離、除去する操
作が行なわれている。
ードフレーム、プリント配線基板、電子部品、金属部品
その他のワークを浸漬洗浄した後には、このワークをＨ
Ｃタンク内から引上げて、次段のフッ素系溶剤（たとえ
ばＰＦＣ）を貯溜したＰＦＣタンクにワークを浸漬し
て、ワークに付着したＨＣをＰＦＣで剥離、除去する操
作が行なわれている。
【０００３】このため、上述のＰＦＣタンク内にあって
はＰＦＣとＨＣとが混合した混合液が形成される。この
混合液からＰＦＣとＨＣとを分離するに際して、従来に
おいては比重差（ＰＦＣの比重１．６８、ＨＣの比重
０．８１６）を利用して、対流により分離させる手段が
とられていたが、多大な時間を必要とする関係上、充分
な分離能力が得られない問題点があった。この点は上述
のＰＦＣに代えて略同様物性のＨＣＦＣ、ＨＦＣなどの
他のフッ素系溶剤を用いた場合にも同様である。
はＰＦＣとＨＣとが混合した混合液が形成される。この
混合液からＰＦＣとＨＣとを分離するに際して、従来に
おいては比重差（ＰＦＣの比重１．６８、ＨＣの比重
０．８１６）を利用して、対流により分離させる手段が
とられていたが、多大な時間を必要とする関係上、充分
な分離能力が得られない問題点があった。この点は上述
のＰＦＣに代えて略同様物性のＨＣＦＣ、ＨＦＣなどの
他のフッ素系溶剤を用いた場合にも同様である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この発明の請求項１記
載の発明は、ＰＦＣ（パーフロオロカーボン）、ＨＣＦ
Ｃ、ＨＦＣなどのフッ素系溶剤とＨＣ（ハイドロカーボ
ン）とが混合した混合液から沸点の差を利用してフッ素
系溶剤とＨＣとを分離回収することで、上述の混合液を
連続的に分離回収することができ、充分な分離能力を確
保することができる溶剤分離装置の提供を目的とする。
載の発明は、ＰＦＣ（パーフロオロカーボン）、ＨＣＦ
Ｃ、ＨＦＣなどのフッ素系溶剤とＨＣ（ハイドロカーボ
ン）とが混合した混合液から沸点の差を利用してフッ素
系溶剤とＨＣとを分離回収することで、上述の混合液を
連続的に分離回収することができ、充分な分離能力を確
保することができる溶剤分離装置の提供を目的とする。
【０００５】この発明の請求項２記載の発明は、上記請
求項１記載の発明の目的と併せて、流下板下部に形成さ
れた温水タンク内の温水を加熱する温水加熱手段を用い
ることで、流下板全域を所定温度に均等に加熱して、流
下板全域にわたってフッ素系溶剤を良好に蒸発させるこ
とができる溶剤分離装置の提供を目的とする。
求項１記載の発明の目的と併せて、流下板下部に形成さ
れた温水タンク内の温水を加熱する温水加熱手段を用い
ることで、流下板全域を所定温度に均等に加熱して、流
下板全域にわたってフッ素系溶剤を良好に蒸発させるこ
とができる溶剤分離装置の提供を目的とする。
【０００６】この発明の請求項３記載の発明は、上記請
求項１もしくは２記載の発明の目的と併せて、上述の流
下板に混合液の蛇行流路を形成することで、狭小な流下
板投影面積条件下であっても充分なフッ素系溶剤蒸発能
力を確保することができ、装置全体の小型化を図ること
ができる溶剤分離装置の提供を目的とする。
求項１もしくは２記載の発明の目的と併せて、上述の流
下板に混合液の蛇行流路を形成することで、狭小な流下
板投影面積条件下であっても充分なフッ素系溶剤蒸発能
力を確保することができ、装置全体の小型化を図ること
ができる溶剤分離装置の提供を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１記載
の発明は、フッ素系溶剤（ＰＦＣ、ＨＣＦＣ、ＨＦＣな
ど）とＨＣとが混合した混合液からフッ素系溶剤とＨＣ
とを分離する溶剤分離装置であって、上記混合液を流下
させる流下板の下方にＨＣ回収槽を形成し、上記流下板
には該流下板をフッ素系溶剤の沸点以上に加熱する加熱
手段を配設すると共に、上記流下板から蒸発したフッ素
系溶剤の蒸気を冷却液化する冷却液化手段を設け、該冷
却液化手段の下方に上記ＨＣ回収槽に対して区画形成さ
れたフッ素系溶剤回収槽を設けた溶剤分離装置であるこ
とを特徴とする。
の発明は、フッ素系溶剤（ＰＦＣ、ＨＣＦＣ、ＨＦＣな
ど）とＨＣとが混合した混合液からフッ素系溶剤とＨＣ
とを分離する溶剤分離装置であって、上記混合液を流下
させる流下板の下方にＨＣ回収槽を形成し、上記流下板
には該流下板をフッ素系溶剤の沸点以上に加熱する加熱
手段を配設すると共に、上記流下板から蒸発したフッ素
系溶剤の蒸気を冷却液化する冷却液化手段を設け、該冷
却液化手段の下方に上記ＨＣ回収槽に対して区画形成さ
れたフッ素系溶剤回収槽を設けた溶剤分離装置であるこ
とを特徴とする。
【０００８】この発明の請求項２記載の発明は、上記請
求項１記載の発明の構成と併せて、上記加熱手段は、流
下板下部に形成された温水タンク内の温水を所定温度に
加熱する温水加熱手段で構成した溶剤分離装置であるこ
とを特徴とする。
求項１記載の発明の構成と併せて、上記加熱手段は、流
下板下部に形成された温水タンク内の温水を所定温度に
加熱する温水加熱手段で構成した溶剤分離装置であるこ
とを特徴とする。
【０００９】この発明の請求項３記載の発明は、上記請
求項１もしくは２記載の発明の構成と併せて、上記流下
板には混合液の蛇行流路が形成された溶剤分離装置であ
ることを特徴とする。
求項１もしくは２記載の発明の構成と併せて、上記流下
板には混合液の蛇行流路が形成された溶剤分離装置であ
ることを特徴とする。
【００１０】
【発明の作用及び効果】この発明の請求項１記載の発明
によれば、流下板にフッ素系溶剤とＨＣとの混合液を流
下させると、この混合液中のフッ素系溶剤のみが加熱手
段によりその沸点（ＰＦＣの場合は５６℃）以上に加熱
されてフッ素系溶剤の蒸気となる一方、混合液中のＨＣ
はその沸点が１００℃以上であるから液状のまま該流下
板を流下して、その下方のＨＣ回収槽に回収される。
によれば、流下板にフッ素系溶剤とＨＣとの混合液を流
下させると、この混合液中のフッ素系溶剤のみが加熱手
段によりその沸点（ＰＦＣの場合は５６℃）以上に加熱
されてフッ素系溶剤の蒸気となる一方、混合液中のＨＣ
はその沸点が１００℃以上であるから液状のまま該流下
板を流下して、その下方のＨＣ回収槽に回収される。
【００１１】一方、上述のフッ素系溶剤の蒸気は冷却液
化手段にて冷却液化され、その下方のフッ素系溶剤回収
槽に回収される。このようにフッ素系溶剤とＨＣとが混
合した混合液から沸点の差（ＰＦＣの場合は沸点が５６
℃、ＨＣの沸点１００℃以上）を利用して、フッ素系溶
剤とＨＣとを分離回収するので、上述の混合液を連続的
に分離回収することができ、充分な分離能力を確保する
ことができる効果がある。
化手段にて冷却液化され、その下方のフッ素系溶剤回収
槽に回収される。このようにフッ素系溶剤とＨＣとが混
合した混合液から沸点の差（ＰＦＣの場合は沸点が５６
℃、ＨＣの沸点１００℃以上）を利用して、フッ素系溶
剤とＨＣとを分離回収するので、上述の混合液を連続的
に分離回収することができ、充分な分離能力を確保する
ことができる効果がある。
【００１２】この発明の請求項２記載の発明によれば、
上記請求項１記載の発明の効果と併せて、流下板下部に
形成された温水タンク内の温水を加熱する温水加熱手段
を用いるので、例えば流下板下面に直接ヒータ等を取付
けて加熱する他の加熱手段を用いる構成と比較して、流
下板全域を所定温度（ＰＦＣの場合はその沸点以上で例
えば８０℃）に均等に加熱して、流下板全域にわたって
フッ素系溶剤を良好に蒸発処理させることができる効果
がある。
上記請求項１記載の発明の効果と併せて、流下板下部に
形成された温水タンク内の温水を加熱する温水加熱手段
を用いるので、例えば流下板下面に直接ヒータ等を取付
けて加熱する他の加熱手段を用いる構成と比較して、流
下板全域を所定温度（ＰＦＣの場合はその沸点以上で例
えば８０℃）に均等に加熱して、流下板全域にわたって
フッ素系溶剤を良好に蒸発処理させることができる効果
がある。
【００１３】この発明の請求項３記載の発明によれば、
上記請求項１もしくは２記載の発明の効果と併せて、上
述の流下板に混合液の蛇行流路を形成したので、流下板
配設スペースに対して混合液の流下通路を長く形成する
ことができ、この結果、狭小な流下板投影面積条件下で
あっても充分なフッ素系溶剤蒸発能力を確保することが
できて、装置全体の小型コンパクト化を達成することが
できる効果がある。
上記請求項１もしくは２記載の発明の効果と併せて、上
述の流下板に混合液の蛇行流路を形成したので、流下板
配設スペースに対して混合液の流下通路を長く形成する
ことができ、この結果、狭小な流下板投影面積条件下で
あっても充分なフッ素系溶剤蒸発能力を確保することが
できて、装置全体の小型コンパクト化を達成することが
できる効果がある。
【００１４】
【実施例】この発明の一実施例を以下図面に基づいて詳
述する。図面はフッ素系溶剤としてのＰＦＣを用いた場
合の溶剤分離装置を示し、図１において装置本体１を設
け、この装置本体１の底部中間には断面が門型の隔離壁
２を一体的に形成し、装置本体１内の一側上部から該隔
離壁２のトップデッキ面に向けて流下板３を配設すると
共に、この流下板３の下部には温水タンク４を形成し、
この温水タンク４内に温水Ｗを充満させ、かつ該温水Ｗ
をフッ素系溶剤の一例としてのＰＦＣの沸点（５６℃）
以上たとえば８０℃に加熱する加熱ヒータ５を取付けて
いる。
述する。図面はフッ素系溶剤としてのＰＦＣを用いた場
合の溶剤分離装置を示し、図１において装置本体１を設
け、この装置本体１の底部中間には断面が門型の隔離壁
２を一体的に形成し、装置本体１内の一側上部から該隔
離壁２のトップデッキ面に向けて流下板３を配設すると
共に、この流下板３の下部には温水タンク４を形成し、
この温水タンク４内に温水Ｗを充満させ、かつ該温水Ｗ
をフッ素系溶剤の一例としてのＰＦＣの沸点（５６℃）
以上たとえば８０℃に加熱する加熱ヒータ５を取付けて
いる。
【００１５】また上述の流下板３の下方には隔離壁２
と、その上部が流下板３の下流端上方まで延設された断
面略くの字状の仕切板６とで区画されたＨＣ回収タンク
７を形成する一方、このＨＣ回収タンク７の次段には該
ＨＣ回収タンク７に対して区画され、かつ温水タンク４
から離反するフッ素系溶剤回収タンクの一例としてのＰ
ＦＣ回収タンク８を形成している。
と、その上部が流下板３の下流端上方まで延設された断
面略くの字状の仕切板６とで区画されたＨＣ回収タンク
７を形成する一方、このＨＣ回収タンク７の次段には該
ＨＣ回収タンク７に対して区画され、かつ温水タンク４
から離反するフッ素系溶剤回収タンクの一例としてのＰ
ＦＣ回収タンク８を形成している。
【００１６】さらに上述のＰＦＣ回収タンク８の上方に
は、流下板３から蒸発したＰＦＣ蒸気をその体積収縮に
より吸引流動させると共に、該ＰＦＣ蒸気を冷却液化す
る冷却液化手段としての冷却コイル９を配設している。
換言すれば、この冷却コイル９の下方に上述のＰＦＣ回
収タンク８を配置したもので、上述の冷却コイル９は冷
凍装置またはチラーに接続されている。
は、流下板３から蒸発したＰＦＣ蒸気をその体積収縮に
より吸引流動させると共に、該ＰＦＣ蒸気を冷却液化す
る冷却液化手段としての冷却コイル９を配設している。
換言すれば、この冷却コイル９の下方に上述のＰＦＣ回
収タンク８を配置したもので、上述の冷却コイル９は冷
凍装置またはチラーに接続されている。
【００１７】一方、上述の流下板３の上流側には混合液
を吐出する液シャワー装置１０を取付け、この液シャワ
ー装置１０のシャワーノズル１１から上述の流下板３に
混合液を吐出すべく構成している。また上述の装置本体
１の外部に設けられた混合液タンク１２と液シャワー装
置１０との間には、ストレーナ１３、サクションライン
１４、送液ポンプ１５、吐出ライン１６をこの順に接続
している。
を吐出する液シャワー装置１０を取付け、この液シャワ
ー装置１０のシャワーノズル１１から上述の流下板３に
混合液を吐出すべく構成している。また上述の装置本体
１の外部に設けられた混合液タンク１２と液シャワー装
置１０との間には、ストレーナ１３、サクションライン
１４、送液ポンプ１５、吐出ライン１６をこの順に接続
している。
【００１８】さらに上述の流下板３の上面には複数の蛇
行通路形成板１７…を立設固定して、この流下板３上部
に混合液の蛇行通路１８を形成している。なお、図中Ａ
はパーフロオロカーボンＰＦＣ、Ｂはハイドロカーボン
ＨＣ、ＡＢはこれら両者の混合液、ａはパーフロオロカ
ーボンの蒸気を示す。
行通路形成板１７…を立設固定して、この流下板３上部
に混合液の蛇行通路１８を形成している。なお、図中Ａ
はパーフロオロカーボンＰＦＣ、Ｂはハイドロカーボン
ＨＣ、ＡＢはこれら両者の混合液、ａはパーフロオロカ
ーボンの蒸気を示す。
【００１９】図示実施例は上記の如く構成するものにし
て、以下作用を説明する。パーフロオロカーボンＡとハ
イドロカーボンＢとの混合液ＡＢが貯溜された混合液タ
ンク１２から、上述の送液ポンプ１５の駆動により、こ
の混合液ＡＢを各要素１３，１４，１５，１６を介して
液シャワー装置１０に送出して、この液シャワー装置１
０のシャワーノズル１１から流下板３上流端に吐出する
と、この混合液ＡＢが蛇行通路１８を流下する間に、パ
ーフロオロカーボンＡのみが８０℃に加熱された温水Ｗ
により蒸発してＰＦＣ蒸気ａとなり、蒸発しないハイド
ロカーボンＢは流下板３下流端からＨＣ回収タンク７に
分離回収される。
て、以下作用を説明する。パーフロオロカーボンＡとハ
イドロカーボンＢとの混合液ＡＢが貯溜された混合液タ
ンク１２から、上述の送液ポンプ１５の駆動により、こ
の混合液ＡＢを各要素１３，１４，１５，１６を介して
液シャワー装置１０に送出して、この液シャワー装置１
０のシャワーノズル１１から流下板３上流端に吐出する
と、この混合液ＡＢが蛇行通路１８を流下する間に、パ
ーフロオロカーボンＡのみが８０℃に加熱された温水Ｗ
により蒸発してＰＦＣ蒸気ａとなり、蒸発しないハイド
ロカーボンＢは流下板３下流端からＨＣ回収タンク７に
分離回収される。
【００２０】一方、蒸発してＰＦＣ蒸気ａとなったパー
フロオロカーボンの蒸気ａは冷却コイル９による体積収
縮作用で、図１の左方から右方の冷却コイル９配設部位
に吸引流動され、この冷却コイル９で冷却液化されて図
１に矢印ｂで示すようにＰＦＣ回収タンク８内に落下し
て、回収される。なお、このＰＦＣ回収タンク８は温水
タンク４から離反しているので、該ＰＦＣ回収タンク８
内のパーフロオロカーボンＡが再蒸発することはなく、
上述の両タンク７，８にバルブを介設した液取出しパイ
プ（図示せず）を設けて、分離回収されたハイドロカー
ボンＢとパーフロオロカーボンＡとを再利用することが
できる。
フロオロカーボンの蒸気ａは冷却コイル９による体積収
縮作用で、図１の左方から右方の冷却コイル９配設部位
に吸引流動され、この冷却コイル９で冷却液化されて図
１に矢印ｂで示すようにＰＦＣ回収タンク８内に落下し
て、回収される。なお、このＰＦＣ回収タンク８は温水
タンク４から離反しているので、該ＰＦＣ回収タンク８
内のパーフロオロカーボンＡが再蒸発することはなく、
上述の両タンク７，８にバルブを介設した液取出しパイ
プ（図示せず）を設けて、分離回収されたハイドロカー
ボンＢとパーフロオロカーボンＡとを再利用することが
できる。
【００２１】以上要するに、流下板３に混合液ＡＢを流
下させると、この混合液ＡＢ中のパーフロオロカーボン
Ａはその略１００％のものが加熱手段（温水Ｗ参照）に
よりその沸点（５６℃）以上に加熱されてＰＦＣ蒸気ａ
となる一方、混合液ＡＢ中のハイドロカーボンＢはその
沸点が１００℃以上であるから液状のまま該流下板３を
流下して、その下方のＨＣ回収タンク７に回収される。
下させると、この混合液ＡＢ中のパーフロオロカーボン
Ａはその略１００％のものが加熱手段（温水Ｗ参照）に
よりその沸点（５６℃）以上に加熱されてＰＦＣ蒸気ａ
となる一方、混合液ＡＢ中のハイドロカーボンＢはその
沸点が１００℃以上であるから液状のまま該流下板３を
流下して、その下方のＨＣ回収タンク７に回収される。
【００２２】一方、上述のＰＦＣ蒸気ａは、冷却液化手
段（冷却コイル９参照）にて冷却液化され、その下方の
ＰＦＣ回収タンク８に回収される。このようにパーフロ
オロカーボンＡとハイドロカーボンＢとが混合した混合
液ＡＢから沸点の差（ＰＦＣの沸点５６℃、ＨＣの沸点
１００℃以上）を利用して、ＰＦＣとＨＣとを分離回収
するので、上述の混合液ＡＢを連続的に分離回収するこ
とができ、充分な分離能力を確保することができる効果
がある。
段（冷却コイル９参照）にて冷却液化され、その下方の
ＰＦＣ回収タンク８に回収される。このようにパーフロ
オロカーボンＡとハイドロカーボンＢとが混合した混合
液ＡＢから沸点の差（ＰＦＣの沸点５６℃、ＨＣの沸点
１００℃以上）を利用して、ＰＦＣとＨＣとを分離回収
するので、上述の混合液ＡＢを連続的に分離回収するこ
とができ、充分な分離能力を確保することができる効果
がある。
【００２３】また、流下板３下部に形成された温水タン
ク４内の温水Ｗを加熱する温水加熱手段（温水Ｗおよび
ヒータ５参照）を用いるので、例えば流下板３下面に直
接ヒータ等を取付けて加熱する他の加熱手段を用いる構
成と比較して、流下板３全域を所定温度（例えば８０
℃）に均等に加熱して、流下板３全域にわたってパーフ
ロオロカーボンを良好に蒸発処理させることができる効
果がある。
ク４内の温水Ｗを加熱する温水加熱手段（温水Ｗおよび
ヒータ５参照）を用いるので、例えば流下板３下面に直
接ヒータ等を取付けて加熱する他の加熱手段を用いる構
成と比較して、流下板３全域を所定温度（例えば８０
℃）に均等に加熱して、流下板３全域にわたってパーフ
ロオロカーボンを良好に蒸発処理させることができる効
果がある。
【００２４】さらに、上述の流下板３に混合液ＡＢの蛇
行流路１８を形成したので、流下板３配設スペースに対
して混合液ＡＢの流下通路を長く形成することができ、
この結果、狭小な流下板投影面積条件下であっても充分
なＰＦＣ蒸発能力を確保することができて、装置全体の
小型コンパクト化を達成することができる効果がある。
行流路１８を形成したので、流下板３配設スペースに対
して混合液ＡＢの流下通路を長く形成することができ、
この結果、狭小な流下板投影面積条件下であっても充分
なＰＦＣ蒸発能力を確保することができて、装置全体の
小型コンパクト化を達成することができる効果がある。
【００２５】なお、図３に示すように上述の隔離壁２の
トップデッキ面２ａはＨＣ回収タンク７側に傾斜するス
ラント状に形成して、ＨＣ流下能力の向上を図ってもよ
く、また上出の吐出ライン１６にはフィルタ１９を介設
してもよい。
トップデッキ面２ａはＨＣ回収タンク７側に傾斜するス
ラント状に形成して、ＨＣ流下能力の向上を図ってもよ
く、また上出の吐出ライン１６にはフィルタ１９を介設
してもよい。
【００２６】この発明の構成と、上述の実施例との対応
において、この発明のＨＣ回収槽は、実施例のＨＣ回収
タンク７に対応し、以下同様に、加熱手段は、温水Ｗお
よび加熱ヒータ５を有する温水タンク４に対応し、冷却
液手段は、冷却コイル９に対応し、フッ素系溶剤回収槽
は、ＰＦＣ回収タンク８に対応し、フッ素系溶剤は、Ｐ
ＦＣに対応するも、この発明は、上述の実施例の構成の
みに限定されるものではない。
において、この発明のＨＣ回収槽は、実施例のＨＣ回収
タンク７に対応し、以下同様に、加熱手段は、温水Ｗお
よび加熱ヒータ５を有する温水タンク４に対応し、冷却
液手段は、冷却コイル９に対応し、フッ素系溶剤回収槽
は、ＰＦＣ回収タンク８に対応し、フッ素系溶剤は、Ｐ
ＦＣに対応するも、この発明は、上述の実施例の構成の
みに限定されるものではない。
【００２７】例えば、フッ素系溶剤としては上述のＰＦ
Ｃの他に略同様物性のＨＣＦＣ、ＨＦＣを用いてもよ
い。
Ｃの他に略同様物性のＨＣＦＣ、ＨＦＣを用いてもよ
い。
【図１】本発明の溶剤分離装置を示す断面図。
【図２】蛇行流路の説明図。
【図３】本発明の溶剤分離装置の他の実施例を示す断面
図。
図。
３…流下板 ４…温水タンク ５…加熱ヒータ ７…ＨＣ回収タンク ８…ＰＦＣ回収タンク ９…冷却コイル １８…蛇行流路
Claims (3)
- 【請求項１】フッ素系溶剤とＨＣとが混合した混合液か
らフッ素系溶剤とＨＣとを分離する溶剤分離装置であっ
て、上記混合液を流下させる流下板の下方にＨＣ回収槽
を形成し、上記流下板には該流下板をフッ素系溶剤の沸
点以上に加熱する加熱手段を配設すると共に、上記流下
板から蒸発したフッ素系溶剤の蒸気を冷却液化する冷却
液化手段を設け、該冷却液化手段の下方に上記ＨＣ回収
槽に対して区画形成されたフッ素系溶剤回収槽を設けた
溶剤分離装置。 - 【請求項２】上記加熱手段は、流下板下部に形成された
温水タンク内の温水を所定温度に加熱する温水加熱手段
で構成した請求項１記載の溶剤分離装置。 - 【請求項３】上記流下板には混合液の蛇行流路が形成さ
れた請求項１もしくは２記載の溶剤分離装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7026076A JPH08168601A (ja) | 1994-10-19 | 1995-01-20 | 溶剤分離装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6-281415 | 1994-10-19 | ||
| JP28141594 | 1994-10-19 | ||
| JP7026076A JPH08168601A (ja) | 1994-10-19 | 1995-01-20 | 溶剤分離装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08168601A true JPH08168601A (ja) | 1996-07-02 |
Family
ID=26363816
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7026076A Pending JPH08168601A (ja) | 1994-10-19 | 1995-01-20 | 溶剤分離装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08168601A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002370001A (ja) * | 2001-06-13 | 2002-12-24 | Shin Ootsuka Kk | 溶剤分離装置 |
| JP2015188060A (ja) * | 2014-03-13 | 2015-10-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 分離再生装置および基板処理装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6150601A (ja) * | 1984-08-20 | 1986-03-12 | Mitsuo Sohgoh Kenkyusho Kk | 気化促進法とスランプ値調整法 |
| JPS6214901A (ja) * | 1985-07-15 | 1987-01-23 | Sony Corp | フロン蒸気洗浄装置 |
| JPH0177804U (ja) * | 1987-11-09 | 1989-05-25 | ||
| JPH06220490A (ja) * | 1993-01-22 | 1994-08-09 | Canon Inc | パーフルオロカーボンの分離・再生方法 |
-
1995
- 1995-01-20 JP JP7026076A patent/JPH08168601A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6150601A (ja) * | 1984-08-20 | 1986-03-12 | Mitsuo Sohgoh Kenkyusho Kk | 気化促進法とスランプ値調整法 |
| JPS6214901A (ja) * | 1985-07-15 | 1987-01-23 | Sony Corp | フロン蒸気洗浄装置 |
| JPH0177804U (ja) * | 1987-11-09 | 1989-05-25 | ||
| JPH06220490A (ja) * | 1993-01-22 | 1994-08-09 | Canon Inc | パーフルオロカーボンの分離・再生方法 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002370001A (ja) * | 2001-06-13 | 2002-12-24 | Shin Ootsuka Kk | 溶剤分離装置 |
| JP4689084B2 (ja) * | 2001-06-13 | 2011-05-25 | 新オオツカ株式会社 | 溶剤分離装置 |
| JP2015188060A (ja) * | 2014-03-13 | 2015-10-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 分離再生装置および基板処理装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060221 |
|
| A521 | Written amendment |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060516 |