CN210647111U - 一种供胶装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种供胶装置，涉及半导体晶圆加工领域，针对现有软瓶反复上下颠倒，造成光刻胶涂覆后有气泡、滴胶量不可控，从而造成产品的外观和电性不良的问题，现提出如下方案，其包括容胶缸，所述容胶缸内安装活塞，所述活塞上侧面中部固定连接顶杆，所述顶杆上端贯穿容胶缸顶端表面，所述顶杆上端固定连接气缸，所述容胶缸上端面一侧固定连接排气管，所述排气管顶端安装排气阀，所述容胶缸外侧面底部设置出胶管，所述出胶管一端与容胶缸连通，所述出胶管另一端安装出胶阀，本实用新型构造简单，降低了造价成本，同时能够避免出胶气泡的产生，保证产品质量，实现定量连续供胶。

Description

一种供胶装置

技术领域

本实用新型涉及半导体晶圆加工领域，尤其涉及一种供胶装置。

背景技术

目前半导体芯片的光刻工序中，均采用甩涂光刻胶工艺。而往往采用将光刻胶倒入软瓶中后再手工挤压软瓶从软瓶的滴管中滴出光刻胶，在挤压时软瓶后放开软瓶，而且软瓶反复上下颠倒，造成光刻胶涂覆后有气泡、滴胶量不可控，从而造成产品的外观和电性不良，为此，提高一种供胶装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中软瓶反复上下颠倒，造成光刻胶涂覆后有气泡、滴胶量不可控，从而造成产品的外观和电性不良的问题，而提出的一种供胶装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种供胶装置，包括容胶缸，所述容胶缸内安装活塞，所述活塞上侧面中部固定连接顶杆，所述顶杆上端贯穿容胶缸顶端表面，所述顶杆上端固定连接气缸，所述容胶缸上端面一侧固定连接排气管，所述排气管顶端安装排气阀，所述容胶缸外侧面底部设置出胶管，所述出胶管一端与容胶缸连通，所述出胶管另一端安装出胶阀。

优选的，所述容胶缸与活塞横截面均为圆形，所述活塞外周面上固定连接胶圈，所述胶圈外侧面与容胶缸内壁贴合。

优选的，所述顶杆与容胶缸接合处安装O型密封圈。

优选的，所述排气管下端贯穿活塞，所述排气管上端延伸至容胶缸顶端表面上侧。

本实用新型的有益效果为：

1，通过气缸以及顶杆的设置，能够对活塞提供连续稳定的压力，便于容胶缸内胶液的稳定输送，同时提高胶液输送时的均匀性，通过活塞、排气管以及排气阀的设置，能够在活塞一端过程中，使容胶缸内的气体通过排气管以及排气阀排出，使容胶缸内保持真空状态，避免了胶液产生气泡，提高产品的质量。

2，通过出胶管以及出胶阀的设置，能够调节出胶阀的流量大小，进而控制胶液的出胶量，实现了胶液的定量输出功能，避免了胶液的浪费。

本实用新型构造简单，降低了造价成本，同时能够避免出胶气泡的产生，保证产品质量，实现定量连续供胶。

附图说明

图1为本实用新型的剖面结构示意图。

图中标号：1-气缸、2-顶杆、3-排气阀、4-排气管、5-活塞、6-胶圈、7-容胶缸、8-出胶管、9-出胶阀。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1，一种供胶装置，包括容胶缸7，所述容胶缸7内安装活塞5，所述活塞5上侧面中部固定连接顶杆2，所述顶杆2上端贯穿容胶缸7顶端表面，所述顶杆2上端固定连接气缸1，通过气缸1以及顶杆2带动活塞5移动，气缸1以及顶杆2提供连续稳定的压力，使出胶均匀，所述容胶缸7上端面一侧固定连接排气管4，所述排气管4顶端安装排气阀3，能够通过排气管4以及排气阀3将容胶缸7内的气体排出，避免了出胶气泡的情况发生，所述容胶缸7外侧面底部设置出胶管8，所述出胶管8一端与容胶缸7连通，所述出胶管8另一端安装出胶阀9，能够通过出胶阀9控制出胶量。

本实施例中，所述容胶缸7与活塞5横截面均为圆形，所述活塞5外周面上固定连接胶圈6，所述胶圈6外侧面与容胶缸7内壁贴合，提高了活塞5与容胶缸7内壁的贴合度，进而保证了活塞5与容胶缸7内壁的密封性。

本实施例中，所述顶杆2与容胶缸7接合处安装O型密封圈，提高了顶杆2与容胶缸7之间的密封性，避免了外部气体进入容胶缸7内情况发生。

本实施例中，所述排气管4下端贯穿活塞5，所述排气管4上端延伸至容胶缸7顶端表面上侧，便于活塞5沿着排气管4移动，同时便于容胶缸7内气体的排出。

本实施例中，所述出胶阀9通过数据线与时间控制器双向连接，通过时间控制器来出胶阀9的出胶量，提高出胶量的精确性。

工作原理：本实用新型在使用时，首先取出气缸1、顶杆2、排气管4、排气阀3、活塞5和胶圈6，将光刻胶倒入容胶缸7中，胶圈6套在活塞5上，胶圈6和活塞5放入容胶缸7内，活塞5套上气缸1、顶杆2、排气管4和排气阀3，并组装在容胶缸7内，然后打开出胶阀9，打开排气阀3，向下推动气缸1，气缸1带动使顶杆2向下移动，顶杆2向下移动带动活塞5向下移，活塞5向下移动在气压作用下，使光刻胶从出胶管8排出，并同时容胶缸7内的气体在压力作用下，输送至排气管4内，再从排气阀3排出，最后关闭排气阀3。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种供胶装置，包括容胶缸(7)，其特征在于，所述容胶缸(7)内安装活塞(5)，所述活塞(5)上侧面中部固定连接顶杆(2)，所述顶杆(2)上端贯穿容胶缸(7)顶端表面，所述顶杆(2)上端固定连接气缸(1)，所述容胶缸(7)上端面一侧固定连接排气管(4)，所述排气管(4)顶端安装排气阀(3)，所述容胶缸(7)外侧面底部设置出胶管(8)，所述出胶管(8)一端与容胶缸(7)连通，所述出胶管(8)另一端安装出胶阀(9)。

2.根据权利要求1所述的一种供胶装置，其特征在于，所述容胶缸(7)与活塞(5)横截面均为圆形，所述活塞(5)外周面上固定连接胶圈(6)，所述胶圈(6)外侧面与容胶缸(7)内壁贴合。

3.根据权利要求1所述的一种供胶装置，其特征在于，所述顶杆(2)与容胶缸(7)接合处安装O型密封圈。

4.根据权利要求1所述的一种供胶装置，其特征在于，所述排气管(4)下端贯穿活塞(5)，所述排气管(4)上端延伸至容胶缸(7)顶端表面上侧。

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