JP2011223036A - 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】露光装置EXは、投影光学系PLと液体とを介して基板Pを露光する。投影光学系PLは、その像面に最も近い第1光学素子LS1と、第1光学素子LS1に次いで像面に近い第2光学素子LS2とを有している。第1光学素子LS1は、基板Pの表面と対向するように配置された下面T1と、第2光学素子LS2と対向するように配置された上面T2とを有している。そして、上面T2のうち露光光ELが通過する領域AR’を含む一部の領域のみが液浸領域となるように第1光学素子LS1の上面T2と第2光学素子LS2との間が第2液体LQ2で満たされ、第1光学素子LS1の下面T1側の第1液体LQ1と上面T2側の第2液体LQ2とを介して基板P上に露光光ELを照射することで基板Pが露光される。
【選択図】図1
Description
また、露光を行う際には、解像度と同様に焦点深度(DOF)も重要となる。解像度R、及び焦点深度δはそれぞれ以下の式で表される。
δ=±k2・λ/NA2 … (2)
ここで、λは露光波長、NAは投影光学系の開口数、k1、k2はプロセス係数である。(1)式、(2)式より、解像度Rを高めるために、露光波長λを短くして、開口数NAを大きくすると、焦点深度δが狭くなることが分かる。
図1は本実施形態の露光装置を示す概略構成図である。
基板ホルダPHは、例えば真空吸着等により基板Pを保持する。基板ステージPSTの下面には非接触軸受である気体軸受(エアベアリング)88が複数設けられている。基板ステージPSTは、エアベアリング88により基板定盤6の上面(ガイド面)に対して非接触支持されている。基板定盤6は、ベースBP上に防振装置89を介して支持されている。また、防振装置89によって、ベースBP(床面)やメインコラム9の振動が、基板ステージPSTを支持する基板定盤6に伝わらないように、基板定盤6とメインコラム9及びベースBP(床面)とが振動的に分離されている。
すなわち、第1回収口22に設けられた多孔部材25は、基板ステージPSTに支持された基板Pの表面と対向する斜面(下面)26を有している。第1液体LQ1は、第1回収口22に配置された多孔部材25の斜面26を介して回収される。すなわち第1回収口22は斜面26に形成された構成となっている。また、第1回収口22は、露光光ELが照射される投影領域ARを囲むように形成されているため、その第1回収口22に配置された多孔部材25の斜面26は、露光光ELが照射される投影領域ARを囲むように形成された構成となっている。
このうち、投影領域ARに対してX軸方向(走査方向)両側のそれぞれに配置されている多孔部材25A、25Cは、その表面とXZ平面とを直交させつつ、光軸AXから離れるにつれて基板Pの表面との間隔が大きくなるように配置されている。また、投影領域ARに対してY軸方向の両側のそれぞれに配置されている多孔部材25B、25Dは、その表面とYZ平面とを直交させつつ、光軸AXから離れるにつれて基板Pの表面との間隔が大きくなるように配置されている。
そして、斜面26(多孔部材25)の外縁部の外側には、側板部71Aの下部の一部の領域によって形成された壁部76が設けられている。壁部76は、多孔部材22(斜面26)を囲むように、その周縁に設けられたものであって、投影領域ARに対して第1回収口22の外側に設けられており、第1液体LQ1の漏出を抑制するためのものである。
またバッファ流路部14Hを複数の流路に分割して、スリット状の液体供給口12の位置に応じて異なる量の液体LQを供給できるようにしてもよい。
回収部材45の内部には、第2液体LQ2が流れる回収流路46が形成されている。回収部材45(回収流路46)に対する第2回収流路44の接続部は、鏡筒PKの内側面PKCにおいて第2空間K2の近傍に設けられている。
また、ランド面75と斜面26とは連続的に形成されている。その場合において、図8(a)に示す初期状態(ランド面75と基板Pとの間に第1液体LQ1の第1液浸領域LR1が形成されている状態)から、基板Pを第1液浸領域LR1に対して+X方向に所定速度で所定距離だけスキャン移動した場合、図8(b)に示すような状態となる。図8(b)に示すようなスキャン移動後の所定状態においては、第1液浸領域LR1の第1液体LQ1には、斜面26に沿って斜め上方に移動する成分F1と、水平方向に移動する成分F2とが生成される。その場合、第1液浸領域LR1の第1液体LQ1とその外側の空間との界面(気液界面)LGの形状は維持される。また、たとえ第1液浸領域LR1に対して基板Pを高速に移動したとしても、界面LGの形状の大きな変化を抑制できる。
また、単位時間あたりの第2液体LQ2の供給量及び回収量が不安定になった場合、第2液浸領域LR2が枯渇し、露光精度が劣化する不都合が生じる。そのため、第2空間K2に対する第2液体LQ2の交換を間欠的に行うことで、第2液浸領域LR2を所望状態に形成し、上記不都合の発生を防止することができる。
本実施形態においても液体LQ1の厚さは3mm程度であり、ランド面75と基板Pとの距離は1mm程度である。本実施形態においては、第1光学素子LS1の厚みH1は15mm程度であるが、これに限らず、15mm〜20mm程度の範囲で設定することができる。
そして、図12等を参照して説明した実施形態同様、第1光学素子LS1は鏡筒PKより下方に露出(突出)しており、ノズル部材70は第1光学素子LS1に近接して配置されている。
(4×γ×cosθ)/d ≧ (Pa−Pb) …(3)
の条件が成立する場合、図15に示すように、多孔部材25の第1孔25Haの下側(基板P側)に気体空間が形成されても、多孔部材25の下側の空間の気体が孔25Haを介して多孔部材25の上側の空間に移動(侵入)することを防止することができる。すなわち、上記(3)式の条件を満足するように、接触角θ、孔径d、液体LQの表面張力γ、圧力Pa、Pbを最適化することで、液体LQと気体との界面が多孔部材25の孔25Ha内に維持され、第1孔25Haからの気体の侵入を抑えることができる。一方、多孔部材25の第2孔25Hbの下側(基板P側)には液体空間が形成されているので、第2孔25Hbを介して液体LQのみを回収することができる。
Claims (64)
- 複数のエレメントを含む投影光学系と液体とを介して基板上に露光光を照射して、前記基板を露光する露光装置において、
前記投影光学系は、前記投影光学系の像面に最も近い第1エレメントと、前記第1エレメントに次いで前記像面に近い第2エレメントとを有し、
前記第1エレメントは、前記基板の表面と対向するように配置され、前記露光光が通過する第1面と、第2エレメントと対向するように配置され、前記露光光が通過する第2面とを有し、
前記第1エレメント及び前記第2エレメントは、前記投影光学系の光軸に対してほぼ静止状態で支持され、
前記第1エレメントの第2面のうち前記露光光が通過する領域を含む一部の領域のみが液浸領域となるように、前記第1エレメントの第2面と前記第2エレメントとの間が液体で満たされ、
前記第1エレメントの前記第1面側の第1液体と前記第2面側の第2液体とを介して前記基板上に前記露光光を照射して、前記基板を露光することを特徴とする露光装置。 - 前記第1エレメントと前記第2エレメントとの間の液体は表面張力によって保持されることを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 前記第1エレメントと対向する前記第2エレメントの面の外径が、前記第1エレメントの第2面の外径よりも小さいことを特徴とする請求項1又は2記載の露光装置。
- 複数のエレメントを含む投影光学系と液体とを介して基板上に露光光を照射して、前記基板を露光する露光装置において、
前記投影光学系は、前記投影光学系の像面に最も近い第1エレメントと、前記第1エレメントに次いで前記像面に近い第2エレメントとを有し、
前記第1エレメントは、前記基板の表面と対向するように配置され、前記露光光が通過する第1面と、第2エレメントと対向するように配置され、前記露光光が通過する第2面とを有し、
前記第1エレメントと対向する前記第2エレメントの面の外径が、前記第1エレメントの第2面の外径よりも小さく、
前記第1エレメント及び前記第2エレメントは、前記投影光学系の光軸に対してほぼ静止状態で支持され、
前記第1エレメントの前記第1面側の第1液体と前記第2面側の第2液体とを介して前記基板上に前記露光光を照射して、前記基板を露光することを特徴とする露光装置。 - 前記第1エレメントの前記第1面と前記第2面とは略平行であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記投影光学系の光軸上における前記第1エレメントの前記第1面と前記第2面との距離は15mm以上であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第1エレメントの第2面のうち前記液浸領域となる一部の領域を第1領域とし、その周囲の領域を第2領域として、
前記第1領域の表面の前記第2液体との親和性は、前記第2領域の表面の前記第2液体との親和性よりも高いことを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記第2領域の表面は、前記第2液体に対して撥液性であることを特徴とする請求項7記載の露光装置。
- 前記第1エレメントの第1面と前記基板との間を前記第1液体で満たすための第1液浸機構と、
前記第1エレメントと前記第2エレメントとの間を第2液体で満たすための第2液浸機構とを備えたことを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記第1液浸機構及び前記第2液浸機構のそれぞれは、液体の供給口と回収口とを有することを特徴とする請求項9記載の露光装置。
- 前記第1液体と前記第2液体とは同一の液体であることを特徴とする請求項9又は10記載の露光装置。
- 前記第2液浸機構は、前記第1エレメントの第2面に形成される液浸領域を囲むように配置された液体回収口を有することを特徴とする請求項9〜11のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第1液浸機構は、前記基板の表面と対向するように形成された斜面を有し、
前記第1液浸機構の液体回収口が、前記斜面に形成されていることを特徴とする請求項9〜12のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記斜面は、前記露光光の光軸から離れるにつれて、前記基板の表面との間隔が大きくなるように形成されていることを特徴とする請求項13記載の露光装置。
- 前記斜面は、前記露光光が照射される投影領域を囲むように形成され、
前記第1液浸機構の液体回収口は、前記露光光が照射される投影領域を囲むように配置されていることを特徴とする請求項13又は14記載の露光装置。 - 前記第1液浸機構の液体回収口には多孔部材が配置されていることを特徴とする請求項13〜15のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第1液浸機構は、前記露光光が照射される投影領域と前記斜面との間に、前記基板の表面と略平行となるように、且つ前記斜面と連続的に形成された平坦部を有し、
前記平坦部は、前記投影領域を囲むように形成されていることを特徴とする請求項13〜16のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記第1液浸機構の平坦部は、前記第1エレメントの第1面と前記基板との間に配置されることを特徴とする請求項17記載の露光装置。
- 前記第1液浸機構は、前記基板の表面と対向するように、且つ前記基板の表面と略平行となるように形成された平坦部を有し、
前記平坦部は、前記第1エレメントの第1面と前記基板との間であって、前記露光光が照射される投影領域を囲むように配置されていることを特徴とする請求項9〜12のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記第1液浸機構の液体回収口は、前記投影領域に対して前記平坦部の外側で、且つ前記平坦部を囲むように配置されていることを特徴とする請求項19記載の露光装置。
- 前記第1液浸機構の液体回収口は、前記露光光が照射される投影領域に対して前記平坦部の外側に配置されていることを特徴とする請求項17〜20のいずれか一項記載の露光装置。
- 複数のエレメントを含む投影光学系と第1液体とを介して基板上に露光光を照射して、前記基板を露光する露光装置において、
前記第1液体を供給するための第1液浸機構を備え、
前記投影光学系は、前記投影光学系の像面に最も近い第1エレメントと、前記第1エレメントに次いで前記像面に近い第2エレメントとを有し、
前記第1エレメントは、前記基板の表面と対向するように配置され、前記露光光が通過する第1面と、前記第2エレメントと対向するように配置され、前記第1面と略平行な第2面とを有し、
前記第1エレメントの第2面の外径は、前記第1エレメントの前記第1面の外径より大きく、
前記第1エレメントと前記基板との間の第1液体を介して前記基板上に前記露光光を照射して、前記基板を露光することを特徴とする露光装置。 - 前記第1エレメントと前記第2エレメントとの間が第2液体で満たされており、
前記第1液体と前記第2液体とを介して前記基板上に前記露光光を照射して、前記基板を露光することを特徴とする請求項22記載の露光装置。 - 前記第2エレメントの前記第1エレメントの第2面と対向する面の外径が、前記第1エレメントの第2面の外径より小さいことを特徴とする請求項22又は23記載の露光装置。
- 前記第1エレメントと前記第2エレメントとの間を第2液体で満たすための第2液浸機構を更に備えたことを特徴とする請求項22〜24のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第2液体は前記第1液体と同一であることを特徴とする請求項25記載の露光装置。
- 前記第2液浸機構は、前記第2液体を供給するための供給口と、前記第2液体を回収するための回収口とを有することを特徴とする請求項25又は26記載の露光装置。
- 前記第2液浸機構は、前記第1エレメントの第2面のうちの一部の領域のみに液浸領域を形成することを特徴とする請求項25〜27のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第1エレメントの第2面の外径は、前記第1エレメントの前記第1面の外径の2倍以上である請求項22〜28のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記投影光学系の光軸上における前記第1エレメントの前記第1面と前記第2面との距離は15mm以上であることを特徴とする請求項22〜29のいずれか一項記載の露光装置。
- 複数のエレメントを含む投影光学系と液体とを介して基板上に露光光を照射して、前記基板を露光する露光装置において、
第1液体を基板上にもたらす第1液浸機構を備え、
前記投影光学系は、前記投影光学系の像面に最も近い第1エレメントと、前記第1エレメントに次いで前記像面に近い第2エレメントとを有し、
前記第1エレメントは、第1面が前記基板の表面と対向するように、且つ第2面が前記第2エレメントと対向するように配置され、
前記投影光学系の光軸上における前記第1エレメントの前記第1面と前記第2面との距離は15mm以上であり、
前記第1エレメントの前記第1面側の第1液体と前記第2面側の第2液体とを介して前記基板上に前記露光光を照射して、前記基板を露光することを特徴とする露光装置。 - 前記第1面と前記第2面とは略平行であることを特徴とする請求項31記載の露光装置。
- 前記第1液浸機構は、前記基板の表面と対向するように形成された斜面を有し、
前記第1液浸機構の液体回収口が、前記斜面に形成されていることを特徴とする請求項22〜32のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記斜面は、前記露光光の光軸から離れるにつれて、前記基板の表面との間隔が大きくなるように形成されていることを特徴とする請求項33記載の露光装置。
- 前記第1液浸機構の液体回収口には多孔部材が配置されていることを特徴とする請求項33又は34記載の露光装置。
- 前記斜面は、前記露光光が照射される投影領域を囲むように形成されていることを特徴とする請求項33〜35のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第1液浸機構は、前記露光光が照射される投影領域と前記斜面との間に、前記基板の表面と略平行となるように、且つ前記斜面と連続的に形成された平坦部を有し、
前記平坦部は、前記投影領域を囲むように形成されていることを特徴とする請求項36記載の露光装置。 - 前記第1液浸機構は、前記基板の表面と対向するように、且つ前記基板の表面と略平行となるように形成された平坦部を有し、
前記平坦部は、前記露光光が照射される投影領域を囲むように配置されていることを特徴とする請求項22〜32のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記第1液浸機構の平坦部は、前記第1エレメントの第1面と前記基板との間で前記基板の表面と対向するように配置されていることを特徴とする請求項37又は38記載の露光装置。
- 前記第1液浸機構の液体供給口は、前記露光光が照射される投影領域に対して前記平坦部の外側に配置されていることを特徴とする請求項37〜39のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第1液浸機構は、第1エレメントと基板との間に配置され、露光光が通過するための開口が形成されたプレートを有し、
前記平坦部が、その開口の周囲に形成されている請求項37〜40のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記第1液浸機構の液体回収口は、前記露光光が照射される投影領域を囲むように配置されることを特徴とする請求項22〜41のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記投影領域を囲むように形成された前記第1液浸機構の液体回収口の外径が、前記第1エレメントの第2面の外径よりも小さいことを特徴とする請求項42記載の露光装置。
- 前記第1液浸機構の液体回収口は、前記第1エレメントと前記基板との間で前記基板の表面と対向するように、前記第1エレメントの第1面の周囲に配置されていることを特徴とする請求項42又は43記載の露光装置。
- 前記第1エレメントは、前記第1面の周囲に形成された第3面を有し、
前記第1エレメントの第1面と第2面との距離が、前記第1エレメントの第2面と第3面との距離よりも長いことを特徴とする請求項22〜44のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記第1エレメントと対向する前記第2エレメントの面が、前記第1エレメントの第2面よりも小さいことを特徴とする請求項22〜45のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記投影光学系の光軸上において、第1エレメントの第1面と第2面との距離が、第1エレメントの第1面と基板との距離よりも大きい請求項22〜46のいずれか一項記載の露光装置。
- 第1液体を介して基板上に露光光を照射して基板を露光する露光装置であって、
第1液体を基板上にもたらす第1液浸機構と、
像面に最も近い第1エレメントと、第1エレメントに次いで像面に近い第2エレメントとを含む複数のエレメントを有する投影光学系とを備え、
第1エレメントは、基板の表面と対向するように配置され、露光光が通過する第1面と、第2エレメントと対向するように配置され、露光光が通過する第2面とを有し、
前記投影光学系の光軸上における前記第1エレメントの前記第1面と前記第2面との距離は、前記投影光学系の光軸上における前記第1エレメントの第1面と基板の表面との距離よりも大きく、
第1エレメントの第1面と基板との間の第1液体と、第1エレメントの第2面と第2エレメントとの間の第2液体とを介して基板上に露光光が照射されて、基板が露光される露光装置。 - 前記第1液浸機構は、前記基板の表面と対向するように、且つ前記基板の表面と略平行となるように形成された平坦部を有し、
前記平坦部が、前記第1エレメントの第1面と前記基板との間で、前記露光光の光路を囲むように配置されている請求項48記載の露光装置。 - 前記第1液浸機構は、第1エレメントと基板との間に配置され、露光光が通過するための開口が形成されたプレートを有し、
前記平坦部が、その開口の周囲に形成されている請求項49記載の露光装置。 - 前記第1液浸機構とは独立に、前記第1エレメントと前記第2エレメントとの間に第2液体をもたらす第2液浸機構を備える請求項48〜50のいずれか一項記載の露光装置。
- 第1液体を介して基板上に露光光を照射して基板を露光する露光装置であって、
像面に最も近い第1エレメントと、第1エレメントに次いで像面に近い第2エレメントとを含む複数のエレメントを有する投影光学系と、
第1エレメントと基板との間に第1液体をもたらす第1液浸機構と、
第1液浸機構とは独立して、第1エレメント第2エレメントとの間に第2液体をもたらす第2液浸機構とを備え、
第1エレメントは、基板の表面と対向するように配置され、露光光が通過する第1面と、第2エレメントと対向するように配置され、露光光が通過する第2面とを有し、
第1液浸機構は、基板の表面と対向するように配置された液体接触面を有し、その液体接触面は、第1エレメントの第1面と基板との間で露光光の光路を囲むように配置され、
第1エレメントの第1面と基板との間の第1液体と、第1エレメントの第2面と第2エレメントとの間の第2液体とを介して基板上に露光光が照射されて、基板が露光される露光装置。 - 前記第1液浸機構は、第1エレメントと基板との間に配置され、露光光が通過するための開口が形成されたプレートを有し、
前記液体接触面が、その開口の周囲に形成されている請求項52記載の露光装置。 - 前記第1液浸機構は、前記第1エレメントと前記基板との間の空間近傍に、第1液体を供給するための供給口と、前記基板の上方から第1液体を回収する回収口とを有し、
前記第2液浸機構は、前記第1エレメントと前記第2エレメントとの間の空間近傍に、第2液体を供給するための供給口を有する請求項51〜53のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記第1エレメントと対向する前記第2エレメントの面が、前記第1エレメントの第2面よりも小さい請求項48〜54のいずれか一項記載の露光装置。
- 第1エレメントと第2エレメントとの間の空間と、第1エレメントと基板との間の空間との間で液体の行き来が阻止されている請求項1〜55のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第1エレメントと前記第2エレメントとが、同一の支持部材で支持されていることを特徴とする請求項1〜56のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第1エレメントは無屈折力であることを特徴とする請求項1〜57のいずれか一項記載の露光装置。
- 請求項1〜請求項58のいずれか一項記載の露光装置を用いることを特徴とするデバイス製造方法。
- 像面に最も近い第1エレメントと第1エレメントに次いで像面に近い第2エレメントとを含む投影光学系及び液体を介して基板上に露光光を照射して基板を露光する露光方法であって、
第1エレメントの基板と対向する第1面は、第1エレメントの第2エレメントと対向する第2面よりも小さく、
第2エレメントの第1エレメントと対向する面は、第1エレメントの第2面よりも小さく、
第1エレメントの第1面と基板との間に第1液体をもたらし、
第1エレメントと第2エレメントとの間に第2液体をもたらし、
第1液体と第2液体とを介して基板上に露光光を照射して基板を露光することを含む露光方法。 - さらに、基板の露光中に、第1液体を第1エレメントの第1面と基板との間で供給及び回収することを含む請求項60記載の露光方法。
- 基板の露光中に、第1エレメントと第2エレメントとの間の空間への第2液体の供給を停止することを含む請求項61記載の露光方法。
- 基板の露光中に、第1エレメントと第2エレメントとの間の空間からの第2液体の回収を停止することを含む請求項61又は62記載の露光方法。
- 請求項60〜63のいずれか一項記載の露光方法で基板を露光することを含むデバイス製造方法。
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