JP2011168447A - SiC単結晶の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】種結晶保持部の下端に保持された第1の種結晶を坩堝内の原料融液に浸漬させることにより前記第1の種結晶上にSiC単結晶を成長させるSiC単結晶の製造方法において、前記第1の種結晶以外の部分で、多結晶の成長を促進させる処理が行われることを特徴とするSiC単結晶の製造方法が提供される。
【選択図】図4
Description
(1)種結晶保持部の下端に保持された第1の種結晶を坩堝内の原料融液に浸漬させることにより前記第1の種結晶上にSiC単結晶を成長させるSiC単結晶の製造方法において、前記第1の種結晶以外の部分で、多結晶の成長を促進させる処理が行われることを特徴とする、SiC単結晶の製造方法。
(2)前記多結晶の成長を促進させる処理が、前記原料融液の内部から前記原料融液の液面に向かって温度が低下し、かつ前記原料融液の内部から前記坩堝の底部に向かって温度が低下する温度勾配を形成するものであることを特徴とする、上記(1)に記載の方法。
(3)前記多結晶の成長を促進させる処理が、黒鉛材料若しくは第2の種結晶を備えた黒鉛材料を前記原料融液の自由表面に浸漬させることにより前記黒鉛材料若しくは前記第2の種結晶上に多結晶を成長させるか、及び/又は第2の種結晶を前記坩堝の内壁と前記原料融液の液面の接触部、前記坩堝の内壁底面、若しくはその両方に設置することにより前記第2の種結晶上に多結晶を成長させるものであることを特徴とする、上記(1)に記載の方法。
(4)前記黒鉛材料が黒鉛棒又は黒鉛リングであることを特徴とする、上記(3)に記載の方法。
(5)前記多結晶の成長を促進させる処理が、前記坩堝の内壁面に凹凸部を設けることにより前記凹凸部に多結晶を成長させるものであることを特徴とする、上記(1)に記載の方法。
(6)前記凹凸部が2.0μm超の表面粗さRaを有することを特徴とする、上記(5)に記載の方法。
本実施例では、図1に示すSiC単結晶製造装置を用いて溶液法によるSiC単結晶の製造を実施し、その際、種結晶以外の部分で多結晶の成長を促進させる処理を行った場合の効果について調べた。なお、実験条件は以下のとおりである。
初期原料融液組成:Si/Ti/Al=70/20/10(at%)
高周波コイル
・出力: 上段コイル/下段コイル=30/50(kW)
・周波数: 上段コイル/下段コイル=20/8(kHz)
・電流値: 上段コイル/下段コイル=291.6/356.0(A)
・電流値の比: 上段コイル:下段コイル=1:1.22
種結晶: on−axis n型4H−SiC(0001)
種結晶保持部: 等方性黒鉛軸
圧力: Ar雰囲気30kPa(ゲージ圧)
成長時間: 10時間
坩堝: 黒鉛坩堝(内径150mm)
温度条件: 図3を参照
本比較例では、原料融液の温度分布を図5に示すよう制御したこと、及び成長持間を5時間としたこと以外は実施例1と同様にして、溶液法によるSiC単結晶の製造を実施した。なお、比較例1の詳細な実験条件は以下のとおりである。
初期原料融液組成:Si/Ti/Al=70/20/10(at%)
高周波コイル
・出力: 上段コイル/下段コイル=30/50(kW)
・周波数: 上段コイル/下段コイル=20/8(kHz)
・電流値: 上段コイル/下段コイル=303.1/356.0(A)
・電流値の比: 上段コイル:下段コイル=1:1.17
種結晶: on−axis n型4H−SiC(0001)
種結晶保持部: 等方性黒鉛軸
圧力: Ar雰囲気30kPa(ゲージ圧)
成長時間: 5時間
坩堝: 黒鉛坩堝(内径150mm)
温度条件: 図5を参照
2 坩堝
3 加熱手段
4 種結晶
5 種結晶保持部
6 蓋部
7 断熱材
8 チャンバー
9 黒鉛材料
10 SiC単結晶製造装置
Claims (6)
- 種結晶保持部の下端に保持された第1の種結晶を坩堝内の原料融液に浸漬させることにより前記第1の種結晶上にSiC単結晶を成長させるSiC単結晶の製造方法において、
前記第1の種結晶以外の部分で、多結晶の成長を促進させる処理が行われることを特徴とする、SiC単結晶の製造方法。 - 前記多結晶の成長を促進させる処理が、前記原料融液の内部から前記原料融液の液面に向かって温度が低下し、かつ前記原料融液の内部から前記坩堝の底部に向かって温度が低下する温度勾配を形成するものであることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記多結晶の成長を促進させる処理が、黒鉛材料若しくは第2の種結晶を備えた黒鉛材料を前記原料融液の自由表面に浸漬させることにより前記黒鉛材料若しくは前記第2の種結晶上に多結晶を成長させるか、及び/又は第2の種結晶を前記坩堝の内壁と前記原料融液の液面の接触部、前記坩堝の内壁底面、若しくはその両方に設置することにより前記第2の種結晶上に多結晶を成長させるものであることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記黒鉛材料が黒鉛棒又は黒鉛リングであることを特徴とする、請求項3に記載の方法。
- 前記多結晶の成長を促進させる処理が、前記坩堝の内壁面に凹凸部を設けることにより前記凹凸部に多結晶を成長させるものであることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記凹凸部が2.0μm超の表面粗さRaを有することを特徴とする、請求項5に記載の方法。
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