JP2011100946A - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】微細化が進んだ場合であってもトランジスタのカットオフ特性を改善しつつ、選択トランジスタのカットオフ特性のバラツキ及びジャンクションリークを抑制する。
【解決手段】半導体基板100上に形成されるp型ウェル2には、ビット線BLの長手方向に沿って形成されたトレンチ3に素子分離絶縁膜4が埋め込まれている。素子分離絶縁膜4によりp型ウェル2が分離され、メモリトランジスタが形成される素子形成領域2Aが形成される。ドレインコンタクト拡散領域15’の位置における素子分離絶縁膜4の高さは、メモリトランジスタMCの位置における素子分離絶縁膜4の高さよりも高くされている。
【選択図】図4A
【解決手段】半導体基板100上に形成されるp型ウェル2には、ビット線BLの長手方向に沿って形成されたトレンチ3に素子分離絶縁膜4が埋め込まれている。素子分離絶縁膜4によりp型ウェル2が分離され、メモリトランジスタが形成される素子形成領域2Aが形成される。ドレインコンタクト拡散領域15’の位置における素子分離絶縁膜4の高さは、メモリトランジスタMCの位置における素子分離絶縁膜4の高さよりも高くされている。
【選択図】図4A
Description
この発明は、半導体記憶装置に関する。
近年、NAND型フラッシュメモリ等の半導体記憶装置は、多くの電子機器に搭載されている。こうした電子機器の多機能化の要請により、半導体記憶装置は記憶容量の大容量化を要求され、それに伴い、記憶素子の微細化が要求されている。
NAND型フラッシュメモリを例にとって説明すると、NAND型フラッシュメモリでは通常、浮遊ゲートと制御ゲートが積層されたMOSFET構造のメモリトランジスタが用いられる。NAND型フラッシュメモリでは、この様なメモリトランジスタが複数個直列接続されてNANDセルユニットが構成される。NANDセルユニットの一端は、選択ゲートトランジスタを介してビット線に、他端は同様に選択ゲートトランジスタを介してソース線に接続される。
このようなMOSFET構造のメモリにおいては、カットオフ特性の調整の目的のため、チャネル部分に不純物注入がなされる(例えば、特許文献1参照)。メモリトランジスタがn型MOSFETである場合には、p型不純物例えばボロン(B)が注入される。しかし、微細化の進展に伴い、メモリセルトランジスタのカットオフ特性のバラツキを小さくすることが困難になっている。
一方で、選択ゲートトランジスタにおいては、半導体基板へのジャンクションリークをできるだけ低く抑えることが求められる。
本発明は、微細化が進んだ場合であっても、メモリセルトランジスタのカットオフ特性を改善しつつ、選択トランジスタのカットオフ特性のジャンクションリークを抑制することができる半導体記憶装置を提供することを目的とする。
本発明の一態様に係る半導体記憶装置は、半導体基板と、前記半導体基板上に形成される半導体層と、前記半導体層中に形成され、第1方向を長手方向とする素子分離絶縁膜と、前記素子分離絶縁膜により前記半導体層を前記第1方向を長手方向として分離して形成される素子形成領域とを備え、前記素子形成領域上には、直列接続された複数のメモリトランジスタからなるメモリストリング、前記メモリストリングに一端を接続される選択ゲートトランジスタ、及び前記選択ゲートトランジスタの他端に接続されその表面においてコンタクトと接するコンタクト拡散領域が形成され、前記素子分離絶縁膜は、第1領域においては第1の高さを有する一方、第2領域においては前記第1の高さよりも高い第2の高さを有し、少なくとも前記コンタクト拡散領域に隣接する前記素子分離絶縁膜は前記第2領域に存在し、前記メモリトランジスタに隣接する前記素子分離絶縁膜は前記第1領域に存在し、前記素子分離絶縁膜は、第1導電型の不純物を注入されており、前記素子形成領域は、前記素子分離絶縁膜から前記第1導電型の不純物が拡散されて形成された第1導電型の拡散領域を有し、前記第2領域の前記素子分離絶縁膜に隣接する前記素子形成領域における前記第1導電型の不純物の不純物濃度は、前記第1領域の前記素子分離絶縁膜に隣接する前記素子形成領域に形成された前記第1導電型の拡散領域の第1の不純物の不純物濃度よりも低いことを特徴とする。
本発明の一態様に係る半導体記憶装置の製造方法は、素子形成領域上に、複数のメモリトランジスタを直列接続してなるメモリストリング、前記メモリストリングの一端に一端を接続される選択ゲートトランジスタ、及び前記選択ゲートトランジスタの他端に接続されコンタクトと接するコンタクト拡散領域とを備える不揮発性半導体記憶装置の製造方法であって、メモリトランジスタを形成するための半導体層を半導体基板上に形成するステップと、前記半導体層に第1方向を長手方向としてトレンチを形成し、このトレンチに素子分離絶縁膜を形成することにより、前記半導体層を前記素子分離絶縁膜により複数の素子形成領域に分離するステップと、少なくとも前記コンタクト拡散領域が形成されるべき領域をマスクで覆うステップと、前記マスクを用いて前記素子分離絶縁膜をエッチバックするステップと、前記マスクを用いて前記素子分離絶縁膜に不純物を注入するステップと、熱工程により前記不純物を素子分離絶縁膜から前記素子形成領域に向けて拡散させるステップとを備えたことを特徴とする。
この発明によれば、微細化が進んだ場合であっても、メモリセルトランジスタのカットオフ特性を改善しつつ、選択トランジスタのジャンクションリークを抑制することができる半導体記憶装置を提供することができる。
次に、本発明の実施の形態を、図面を参照して詳細に説明する。
[第1の実施の形態]
図1は、この発明の第1の実施の形態によるNAND型フラッシュメモリのメモリセルアレイの概略レイアウトを示している。ワード線(WL)13とビット線(BL)25とが互いに交差して配設され、それらの各交差部にメモリセルMCが形成される。メモリセルトランジスタはメモリセルMCと、ビット線方向においてメモリセルMCを挟むソース・ドレイン拡散層(図3の参照番号15)とにより構成されている。ビット線BL方向に並ぶ複数のメモリセルMCは後述するようにメモリセルトランジスタの拡散層が共通接続されることによりメモリストリングを構成する。メモリストリングの一端は、ドレイン側選択ゲートトランジスタSG1を介してビット線BLに接続される。ビット線BLとドレイン側選択ゲートトランジスタSG1とは、コンタクト22、24を介して接続される。また、NANDセルユニットの他端は、ソース側選択ゲートトランジスタSG2を介して、図示しないソース線SLに接続される。ソース線SLとソース側選択ゲートトランジスタSG2とは、ソース側コンタクト33を介して接続される。
図1は、この発明の第1の実施の形態によるNAND型フラッシュメモリのメモリセルアレイの概略レイアウトを示している。ワード線(WL)13とビット線(BL)25とが互いに交差して配設され、それらの各交差部にメモリセルMCが形成される。メモリセルトランジスタはメモリセルMCと、ビット線方向においてメモリセルMCを挟むソース・ドレイン拡散層(図3の参照番号15)とにより構成されている。ビット線BL方向に並ぶ複数のメモリセルMCは後述するようにメモリセルトランジスタの拡散層が共通接続されることによりメモリストリングを構成する。メモリストリングの一端は、ドレイン側選択ゲートトランジスタSG1を介してビット線BLに接続される。ビット線BLとドレイン側選択ゲートトランジスタSG1とは、コンタクト22、24を介して接続される。また、NANDセルユニットの他端は、ソース側選択ゲートトランジスタSG2を介して、図示しないソース線SLに接続される。ソース線SLとソース側選択ゲートトランジスタSG2とは、ソース側コンタクト33を介して接続される。
ドレイン側選択ゲートトランジスタSG1のゲートは、ワード線WLと平行に配設されたドレイン側選択ゲート線(SGD)13Aに接続される。また、ソース側選択ゲートトランジスタSG2のゲートは、ワード線WLと平行に配設されたソース側選択ゲート線(SGS)13Bに接続される。ここで、ワード線が延びる方向をワード線方向と、ビット線BLが延びる方向をビット線方向と定義する。ビット線方向におけるワード線13と選択ゲート線13A又は13Bとの間の幅Xは、ワード線13間の幅X’よりも広く設定されている。
図2は、図1のワード線WLに沿ったI−I′断面図であり、図3は同じくビット線BLに沿ったII−II′断面図である。図2に示すように、p型シリコン基板100上のセルアレイ領域には、n型ウェル1、p型ウェル2が形成されている。このp型ウェル2には、等間隔にトレンチ3が形成されており、このトレンチ3には素子分離絶縁膜4が形成されている。この素子分離絶縁膜4に挟まれたp型ウェル2には、メモリセルMCが形成される。すなわち、素子分離絶縁膜4に挟まれたp型ウェル2は、メモリトランジスタとなるメモリセルMC、選択ゲートトランジスタSG1、SG2等が形成される素子形成領域2Aとして機能する。
なお、この素子分離絶縁膜4には、p型不純物、例えばボロン(B)が注入されている(符号34で示す)。p型不純物としては、ボロンの他、フッ化ボロン、2フッ化ボロン、ガリウム(Ga)、インジウム(In)等が採用可能である。以下では、ボロン(B)を例にとって説明する。ボロンに代えて他のp型不純物を用いたものは、本発明の範囲に含まれることは言うまでもない。
また、素子形成領域2Aの表面部分にも、この素子分離絶縁膜4からボロン(B)が拡散されて拡散領域32が形成される。素子分離絶縁膜4におけるボロンの不純物濃度は、素子形成領域2Aにおける拡散領域32のボロンの不純物濃度よりも大きい。これは、拡散領域32におけるボロンは、素子分離絶縁膜4から拡散されたものであるためである。
また、素子形成領域2Aの表面部分にも、この素子分離絶縁膜4からボロン(B)が拡散されて拡散領域32が形成される。素子分離絶縁膜4におけるボロンの不純物濃度は、素子形成領域2Aにおける拡散領域32のボロンの不純物濃度よりも大きい。これは、拡散領域32におけるボロンは、素子分離絶縁膜4から拡散されたものであるためである。
次に、図3を参照してメモリセルMC、及びメモリストリングの構成を説明する。素子形成領域2Aにトンネル酸化膜10を介して多結晶シリコン膜からなる浮遊ゲート11が形成され、浮遊ゲート11上にゲート間絶縁膜12(例:ONO膜)を介して制御ゲート13が形成されている。制御ゲート13は、多結晶シリコン膜13aと、例えば、タングステンシリサイド、ニッケルシリサイド、コバルトシリサイトなどのシリサイド膜13bの積層膜により形成される。制御ゲート13は、ワード線方向に連続的にパターニングされて、ワード線WLとなる。なお、選択ゲートトランジスタSG1の領域でも、同一の浮遊ゲート11、制御ゲート13が形成されている。すなわち、選択ゲートトランジスタSG1は、浮遊ゲート11と同層に形成されたゲート電極、制御ゲート13と同層に形成されたゲート電極、及びこれらのゲート電極に挟まれたゲート間絶縁膜を有している。ただし、選択ゲートトランジスタSG1では、ゲート間絶縁膜12がエッチングにより除去されて開口EIが形成され、この開口EIを介して浮遊ゲート11と制御ゲート13が短絡状態とされている。図3では図示を省略しているが、選択ゲートトランジスタSG2も同様の構成を有している。
制御ゲート13と浮遊ゲート11は、シリコン窒化膜(SiN膜)14をマスクとして同時にパターニングされ、これをマスクとしてn型不純物イオンの注入を行って、n型のソース・ドレイン拡散領域15が形成される。拡散領域15は、隣接するメモリセルトランジスタで共有されて、複数のメモリセルMCが直列接続されたメモリストリングが形成され、このメモリストリングの両端に選択ゲートトランジスタSG1、SG2が接続されてNANDセルユニットが形成される。この選択ゲートトランジスタSG1、SG2のメモリセルトランジスタ側と反対側のn型の素子形成領域2A表面にはドレインコンタクト拡散領域15'が形成される。
また、メモリセルMCが形成される素子形成領域2Aの表面(ただし、後述するドレインコンタクト拡散領域15’の形成位置は除く)には、拡散領域15が形成される領域も含め、p型の拡散領域32が形成される。また、複数の浮遊ゲート11、制御ゲート13間は、層間絶縁膜16により埋め込まれ、更にメモリセルストリングを覆うようにSiN膜17が堆積される。
メモリセルアレイ上は、層間絶縁膜20で覆われる。この層間絶縁膜20にコンタクトプラグ21と第1層メタルの、例えば、タングステンなどの配線22が埋め込まれる。コンタクトプラグ21の底面はn型のドレインコンタクト拡散領域15'に接続されている。この層間絶縁膜20上に、更に層間絶縁膜23が積層される。この層間絶縁膜23にコンタクトプラグ24が埋め込まれ、この上に例えば、Al膜またはCu膜などのビット線(BL)25が形成される。図3では、ビット線側のコンタクト部のみ示しており、配線22はビット線のための中継配線となるが、ソース線SLは配線22と同じ膜で形成される。
ビット線25上には、パシベーション膜として、シリコン酸化膜26、プラズマCVDによるSiN膜27及びポリイミド膜28が堆積されている。なお、図3中の破線B4は、後述するIII−III’断面における層間絶縁膜4の表面位置を示している。
図4Aは、図1におけるIII−III′断面図である。このIII−III′断面では、ゲート間絶縁膜12、制御ゲート13となる多結晶シリコン膜13aとシリサイド膜13b、シリコン窒化膜14が、II−II’断面から連続して、図4Aにおける紙面垂直方向に延びるように形成されている。素子分離絶縁膜4において、ドレインコンタクト拡散領域15’が紙面垂直方向に隣接して形成されている領域P15’(すなわち、ドレインコンタクト拡散領域15’と隣接する位置(第2領域)における素子分離絶縁膜4)にはボロン(B)は拡散されておらず、更に、この領域P15’(第2領域)の素子分離絶縁膜4は、その表面の位置hが他の領域P14’(第1領域)の素子分離絶縁膜4の表面の位置h’に比べ高くされている(図4A参照)。すなわち、この領域P15’では、後述するように、マスクMが形成されることにより、素子分離絶縁膜4のエッチバックがなされず、更にそのマスクMの存在のためにボロン(B)の注入がなされない。ここで、位置hは領域P15’の中において、素子分離絶縁膜4の上面の最も高い位置を指し、位置h’はゲート間絶縁膜12と素子分離絶縁膜4の境界の位置を指す。
また、図4Bに示すように、制御ゲート13の加工の際に素子分離絶縁膜4がオーバーエッチングされることにより、制御ゲート13間の素子分離絶縁膜4の上面がゲート間絶縁膜12の下面よりも低くなる場合がある。ここで、位置hは領域P15’の中において、素子分離絶縁膜4の上面の最も高い位置を指し、位置h’は制御ゲート13間の素子分離絶縁膜4の上面の最も低い位置を指す。この場合であっても、領域P15’(第2領域)の素子分離絶縁膜4の表面の位置hが他の領域P14’(第1領域)表面の位置h’に比べ高くされている。なお、位置h’の高さは拡散領域32の下面より低い位置となっていてもよいし、これよりも高い位置でも構わない。また、p型ウェル2の上面より低い位置でも構わない。同様に、位置hも拡散領域32の下面より低くなっていてもよいし、これよりも高くても構わない。または、p型ウェル2の上面より低い位置でも構わない。
また、図4Bに示すように、制御ゲート13の加工の際に素子分離絶縁膜4がオーバーエッチングされることにより、制御ゲート13間の素子分離絶縁膜4の上面がゲート間絶縁膜12の下面よりも低くなる場合がある。ここで、位置hは領域P15’の中において、素子分離絶縁膜4の上面の最も高い位置を指し、位置h’は制御ゲート13間の素子分離絶縁膜4の上面の最も低い位置を指す。この場合であっても、領域P15’(第2領域)の素子分離絶縁膜4の表面の位置hが他の領域P14’(第1領域)表面の位置h’に比べ高くされている。なお、位置h’の高さは拡散領域32の下面より低い位置となっていてもよいし、これよりも高い位置でも構わない。また、p型ウェル2の上面より低い位置でも構わない。同様に、位置hも拡散領域32の下面より低くなっていてもよいし、これよりも高くても構わない。または、p型ウェル2の上面より低い位置でも構わない。
次に、第1の実施の形態の半導体記憶装置の製造工程を、図5〜図10Bを参照して説明する。図5、図6、図8A、図9A、図10A、図10Bは、この製造工程における各ステップにおける図1のI−I´断面の形状を示している。図7は、ボロン注入を行う場合におけるマスクMの形成位置を示している。図8B、9Bはこの製造工程における各ステップにおける図1のIII−III´断面の形状を示している。
まず、図5に示すように、メモリセルMCが形成される領域のp型シリコン基板100上に、n型ウェル1を形成し、更にその上にp型ウェル2を形成する。さらにこのp型ウェル2上に、トンネル酸化膜10となる酸化膜10´を熱酸化により形成する。その後、浮遊ゲート11となる導電膜11´(ポリシリコン膜)、及び絶縁膜31を順に堆積する。なお、この段階ではチャネル部分に不純物を形成するためのイオン注入は行わない。
続いて、図6に示すように、絶縁膜31上にレジストを形成し、このレジストを、フォトリソグラフィ技術を用いて素子分離絶縁膜4の形状に合わせてパターニングし、次いでこのパターニングされたレジストをマスクとした反応性イオンエッチング(RIE)を実行して、絶縁膜31、導電膜11´、酸化膜10´、及びp型シリコン基板100をエッチングする。その結果、絶縁膜31の表面からp型シリコン基板100中のp型ウェル2に達するトレンチ3が複数形成される。なお、このトレンチ3を形成する工程は、いわゆる側壁加工プロセスを使用しても良い。複数のトレンチ3に挟まれたp型ウェル2の領域が、前述の素子形成領域2Aとなる。素子形成領域2Aは、図5、図6、図8A、図9A、図10A、図10Bの、紙面垂直方向を長手方向(換言すれば、ビット線BLの長手方向)として形成される。
続いて、レジストを酸化雰囲気でのアッシングにより剥離した後、このトレンチ3を埋めるように、シリコン基板100上の全面に例えばTEOS膜を堆積させる。その後、絶縁膜31をマスクとしてエッチバック処理を行って、トレンチ内3にのみ素子分離絶縁膜4を形成する。この際、素子分離絶縁膜4の上面は導電膜11’の上面とほぼ等しくする。
その後、絶縁膜31を除去した後、図7に示すように、ドレインコンタクト拡散領域15’付近(すなわち、2本の選択ゲート線SGDの間に挟まれる領域P15’)をレジストMにより覆う。図7は、レジストMの形成位置を理解し易くするため、ワード線13、選択ゲート線13Aは一点鎖線で、コンタクト22、24は実線で図示している。実際にはこれらの配線はレジストMを形成する段階では存在していない。図示は省略するが、周辺回路が形成される周辺回路形成領域もレジストMで覆われている。その後、図8A、図8Bに示すように、更に素子分離絶縁膜4をフォトリソグラフィ及びRIE等を用いてエッチバック処理して、その上面を導電膜11’の上面よりも下方に位置させる。その結果、領域P15’における素子分離絶縁膜4の上面の位置hは、領域P14’における素子分離絶縁膜4の上面の位置h’より高くなる。
次に、図9A、図9Bに示すように、素子分離絶縁膜4に対し例えば、p型の不純物であるボロン(B)を、不純物濃度が1011〜1013cm−3となるように、且つ注入深さが0.1μm程度又はそれより浅くなるように注入する。この注入を、側面拡散インプランテーションと称する。この際、導電層11’がマスクとして機能する。ここでのマスクとは、導電層11’が完全に不純物の通過を防止するのではなく、素子分離絶縁膜4に打ち込まれる不純物の量よりも、素子形成領域2Aに打ち込まれる不純物の量が少ないことを意味する。また、図9Bに示すように、領域P15’の素子分離絶縁膜4にはレジストMがマスクとなることにより、ボロン(B)が打ち込まれない一方、領域P14’の素子分離絶縁膜4にはボロン(B)が打ち込まれることになる。なお、領域P14’の素子分離絶縁膜4に打ち込まれたボロン(B)が、領域P15’の素子分離絶縁膜4に向けて拡散される場合がある。ただし、その拡散量は限定的であり、無視できる程度である。従って、n型のドレインコンタクト拡散領域15’が形成されるべき領域にはボロン(B)が拡散されず、ジャンクションリークの問題は生じない。
素子分離絶縁膜4は、図6、図8A、図9A、図10A、図10Bにおいて紙面垂直方向に延びており、この全域に亘って均一に不純物の注入が行われる。
このときの不純物の注入角度は、後述する素子分離絶縁膜4から素子形成領域2Aへの拡散が有効に実行されるような角度が望ましい。この時点において、素子分離絶縁膜4の上方は、ストライプ状に開口し、かつ、導電膜11’の上面と素子分離絶縁膜4の上面の差は、10nm〜30nmと低いため、不純物注入角度は、従来のようなワード線間のスペースからチャネル部に向けて注入を行う場合(ワード線の上面からp型シリコン基板100の上面までは約100nm程度)に比べ、自由に設定することができる。なお、導電膜11´に対してもこれらの不純物は注入されるが、導電層11´の元々の不純物濃度はこれよりも2桁以上大きいので、この不純物注入の影響は殆どないといってよい。
このときの不純物の注入角度は、後述する素子分離絶縁膜4から素子形成領域2Aへの拡散が有効に実行されるような角度が望ましい。この時点において、素子分離絶縁膜4の上方は、ストライプ状に開口し、かつ、導電膜11’の上面と素子分離絶縁膜4の上面の差は、10nm〜30nmと低いため、不純物注入角度は、従来のようなワード線間のスペースからチャネル部に向けて注入を行う場合(ワード線の上面からp型シリコン基板100の上面までは約100nm程度)に比べ、自由に設定することができる。なお、導電膜11´に対してもこれらの不純物は注入されるが、導電層11´の元々の不純物濃度はこれよりも2桁以上大きいので、この不純物注入の影響は殆どないといってよい。
また、導電層11´の上面より素子分離絶縁膜4の上面が低くなっている状態で側面拡散インプランテーションを行うことにより、導電層11´のマスクとしての機能を高めつつ、素子分離絶縁膜4中に素子形成領域2Aの上面より深い位置に不純物を打ち込むことができる。
その後、レジストMを剥離した後、図10Aに示すように、500℃〜1100℃の熱工程を施し、これにより素子分離絶縁膜4に注入されたボロンを、素子形成領域2Aのp型ウェル3にまで拡散させ、拡散領域32を形成する。この時、素子形成領域2Aのワード線方向の両側面に接する素子分離絶縁膜4からほぼ均等にボロンが拡散する。その結果、素子形成領域2Aの左右両側に形成された素子分離絶縁膜4から、素子形成領域2Aの中央付近に向けてp型不純物が拡散し、ついには左右から拡散したp型不純物が素子形成領域2Aの中央付近において互いに繋がる。また、素子形成領域2Aと素子分離絶縁膜4はビット線方向に延びているので、NANDセルユニットを構成するメモリセルMC、及び選択ゲートトランジスタSG1、SG2の素子領域2A全てに拡散領域32が形成される。前述したように、マスクMの影響により、拡散領域32は、ドレインコンタクト拡散領域15’が形成されるべき領域P15’には形成されない。ただし、領域P14’のボロンが若干拡散され、僅かなボロンは存在することはあり得る。しかし、その場合であっても、領域P15’の素子領域2Aにおけるボロンの不純物濃度は、領域P14’ の素子領域2Aにおける拡散領域32に比べれば非常に小さい。
その後、図10Bに示すように、導電層11´の上面に、ゲート間絶縁膜12となるONO膜12´を形成し、さらにその上に制御ゲート13となる多結晶シリコン膜とタングステンシリサイド(WSi)膜の積層膜13´を形成する。次に、導電層11´、ONO膜12´及び積層膜13をワード線WL及び選択ゲート線SGDの形状に加工する(ゲート電極加工)。このゲート電極加工において、ワード線WL及び選択ゲート線SGDのパターン以外の領域にある素子分離絶縁膜4も同時にエッチングされ、その上面が低くなる場合がある。その結果、図4Bのように、ワード線WL間、ワード線WLと選択ゲート線SGD間及び選択ゲート線SGD間の素子分離絶縁膜4の上面がゲート間絶縁膜12の下面よりも低くなる場合がある。次に、ワード線WL及び選択ゲート線SGDをマスクとしてイオンインプランテーションを行うことにより、メモリセルMC間、メモリセルMCと選択ゲートトランジスタSG1、選択ゲートトランジスタSG1間に拡散領域15、15’を形成する。以後、NAND型フラッシュメモリの周知の製造方法により、図1〜図4に示すNAND型フラッシュメモリが完成する。
なお、上記の製造方法では、一旦素子分離絶縁膜4の上面の高さを導電膜11´の上面の高さよりも小さくするエッチング工程(図8A)の実行後に、前述のp型不純物の注入動作(図9A)を行っている。しかし、このp型不純物の注入動作は、図8Aの工程の実行前に行われても良い。その場合、導電層11´に加えて絶縁膜31もマスクとして使用することができるので、導電層11´への不純物の注入によるメモリセルトランジスタの特性変動を押さえることができる。さらに、導電層11´に注入される不純物が減るため、注入する不純物の不純物濃度を高くすることができる。その結果、チャネル拡散層32の不純物濃度を高くすることができる。
また、図10Aにおいて、素子分離絶縁膜4に注入されたp型不純物を熱工程により拡散させる工程を実行しているが、このようなp型不純物拡散のための特別な熱工程を実行する代わりに、例えば、その他の膜生成工程等で生じる熱により、この不純物を拡散させるようにしてもよい。例えば、ゲート間絶縁膜12となるONO膜12´を形成する場合に実行される熱工程や、その他の拡散層、例えば、ソース・ドレイン拡散層の形成時に実行される熱工程により、この拡散を生じさせるようにしてもよい。その結果、工程を省略することができる。
この実施の形態では、素子分離絶縁膜4にボロンを注入し、その後これを熱拡散により素子形成領域2Aに向けて拡散させてチャネル部の表面に拡散領域32を形成する。ここで、従来技術においては、チャネル部分へのボロンの注入は、メモリセルのゲート電極の形成後、ワード線WL間のスペースから斜めイオン注入により行っていた。しかし、この方法では、注入される不純物の濃度のバラツキが生じやすい。この問題を以下に詳説する。
図11A、Bは図1のII−II‘線に沿った断面図のメモリセルMCと、メモリセルMCに隣接する選択ゲートトランジスタSG1の断面図に相当する。図11Aは、比較例としてワード線WL間、及びワード線WLと選択ゲート線SGDとの間のスペースから、イオン注入によりメモリセルのチャネル部にチャネルインプランテーションを実行した場合における不純物濃度の分布のシミュレーション結果を示している。なお、図中の太い線がn型不純物とp型不純物の境界(pnジャンクション境界)であり、細い線はp型不純物の濃度が等しい位置を示している。
この例では、選択ゲートトランジスタSG1に隣接するメモリセルMCとその他のメモリセルMCのチャネル部である図11Aの地点A、Bに示すように、チャネル部の下のp型の不純物濃度がビット線方向において一定ではない。また、メモリセルMC間のスペースが製造バラツキにより異なったものとなれば、メモリセルMC毎にチャネル部の不純物濃度が異なる結果となり、このためメモリセルMCの特性のバラツキが生じ、信頼性を低下させる虞がある。微細化が進展すれば、この傾向は更に顕著なものとなる。
この例では、選択ゲートトランジスタSG1に隣接するメモリセルMCとその他のメモリセルMCのチャネル部である図11Aの地点A、Bに示すように、チャネル部の下のp型の不純物濃度がビット線方向において一定ではない。また、メモリセルMC間のスペースが製造バラツキにより異なったものとなれば、メモリセルMC毎にチャネル部の不純物濃度が異なる結果となり、このためメモリセルMCの特性のバラツキが生じ、信頼性を低下させる虞がある。微細化が進展すれば、この傾向は更に顕著なものとなる。
一方、図11Bは、本実施の形態のように、側面拡散インプランテーション(図9A〜図9B)を用いてメモリセルMCのチャネル部にチャネルインプランテーションを実行した場合における不純物濃度の分布を示している。この例では、選択ゲートトランジスタSG1に隣接するメモリセルMCとその他のメモリセルMCのチャネル部を見比べても、ほとんど不純物濃度に差はなく、ビット線方向において不純物濃度の分布はほぼ均一である(図11Bの位置C、位置Dを参照すれば、不純物濃度曲線は、複数のメモリセルMCのチャネル部のいずれの箇所においても、ビット線方向に沿って平行に且つ等間隔に延びている)。従って、この実施の形態によれば、メモリセルMCの特性のバラツキは生じず、メモリデバイスの信頼性を高めることができる。
また、素子分離絶縁膜4の形成前にチャネル部分に不純物を注入する場合では、一旦メモリセルMCのチャネル領域に注入した不純物が偏析により熱工程等を経ることにより素子分離絶縁膜4へ流出し、素子形成領域のワード線方向における側壁の不純物濃度が薄まってしまう。その結果、チャネル部の不純物濃度分布が変化し(チャネルプロファイルが乱れ)、これによりメモリセルMCや選択ゲートトランジスタのカットオフ特性が劣化するという問題がある。
しかし、本実施の形態では、素子分離絶縁膜4に対しp型不純物を注入して、この素子分離絶縁膜4からの拡散によりメモリセルMCのチャネル領域(素子形成領域2A)にp型不純物を導入するので、従来技術のような問題は生じない。その理由は、拡散原理により、素子分離絶縁膜4の不純物濃度は常に素子形成領域2Aの不純物濃度よりも高くなるからである。素子分離絶縁膜4の不純物濃度の方が素子形成領域2A(メモリセルMCのチャネル部を含む)の不純物濃度よりも高いため、チャネル部の不純物濃度分布を高くしても、素子形成領域2Aのp型不純物がその後の素子分離絶縁膜形成工程及び熱工程による偏析で素子形成領域2A外に吸い出される可能性は、従来に比べ著しく低くされている。
また、図3に示すように、この実施の形態では、ドレインコンタクト拡散領域15’(n型の不純物拡散領域)の位置における素子形成領域2Aには、p型の不純物拡散領域である拡散領域32は形成されていない。すなわち、拡散領域32はドレインコンタクト拡散領域15’と互いに分離して形成されているといえる。拡散領域32をドレインコンタクト拡散領域15’の形成位置においても形成する場合、ドレインコンタクト拡散領域15’のpnジャンクションの境界付近における不純物濃度の変化曲線が急峻となり、ジャンクションリークを増加させる原因となる。本実施の形態では上述のように、ドレインコンタクト拡散領域15’(n型の不純物拡散領域)の形成位置では、p型の不純物拡散領域である拡散領域32を形成しないので、pnジャンクションにおける不純物濃度の変化曲線を緩やかにすることができ、結果としてジャンクションリークを低減することができる。
また、ドレインコンタクト拡散領域15’が形成される領域P15’の素子分離絶縁膜4を、マスクMを施すことによりエッチバックされないようにすることは、次のような効果も生じさせる。すなわち、この領域P15’で素子分離絶縁膜4がエッチバックされると、ゲート電極加工において、選択ゲート線SGD間の素子分離絶縁膜4から露出された浮遊ゲート11の側壁にエッチング残渣が生じやすくなる。このエッチング残渣は、選択ゲートトランジスタSG1のソース・ドレイン拡散層の形成のためのイオン注入において、イオン注入の障害となり得る。そして、このエッチング残渣の大きさが選択ゲートトランジスタ間でバラつくと、イオン注入量にも差が生じ、選択ゲートトランジスタの特性にも差が生じてしまう。本実施の形態のように、ドレインコンタクト拡散領域15’付近の素子分離絶縁膜4のエッチバックが回避されていることにより、上記のようなエッチング残渣が生じにくくなり、これにより、選択ゲートトランジスタSG1の特性のバラツキが生じることを回避することができる。
また、ドレインコンタクト拡散領域15’が形成される領域P15’での素子分離絶縁膜4を、マスクMを施すことによりエッチバックされないようにすることは、次のような別の効果も生じさせる。ドレインコンタクト拡散領域15’は、コンタクト抵抗の低減のため、他の拡散領域に比べ不純物濃度(本実施の形態の場合はn型の不純物濃度)が高くされる。このとき、ドレインコンタクト拡散領域15’の領域P15’において、素子分離絶縁膜4がエッチバックされ素子形成領域2Aの上部が素子分離絶縁膜4から露出していると、熱拡散によりドレインコンタクト拡散領域15’が膨張し、結晶欠陥が生じるなどの不具合が生じる場合がある。
しかし、本実施の形態では、この領域P15'において素子分離絶縁膜4はエッチバックされておらず、素子分離絶縁膜4の上面の位置は、浮遊ゲート11の上面と同じ位置とされている(図4Aの場合)。このため、素子分離絶縁膜4は、熱拡散によりドレインコンタクト拡散領域15における素子形成領域2Aが膨張することを阻止するライナー膜として機能し、結晶欠陥を抑制することができる。
しかし、本実施の形態では、この領域P15'において素子分離絶縁膜4はエッチバックされておらず、素子分離絶縁膜4の上面の位置は、浮遊ゲート11の上面と同じ位置とされている(図4Aの場合)。このため、素子分離絶縁膜4は、熱拡散によりドレインコンタクト拡散領域15における素子形成領域2Aが膨張することを阻止するライナー膜として機能し、結晶欠陥を抑制することができる。
[第2の実施の形態]
次に、本発明の第2の実施の形態を、図12〜図14を参照して説明する。この実施の形態のメモリセルアレイ部分の構成は、平面レイアウト構造及びI−I’断面に関しては、第1の実施の形態と同様である(図1、図2)。ただし、II−II’断面、III−III’断面の構造は第1の実施の形態とは異なっている。
具体的には、図12のII−II’断面図に示されるように、拡散領域32は、ドレインコンタクト拡散領域15’付近だけでなく、ドレイン側選択ゲートトランジスタSG1直下の大半の領域においても形成されていない。この点、第1の実施の形態は、ドレイン側選択ゲートトランジスタSG1のチャネル部にも拡散領域32が形成されている点で、第2の実施の形態と異なっている。
次に、本発明の第2の実施の形態を、図12〜図14を参照して説明する。この実施の形態のメモリセルアレイ部分の構成は、平面レイアウト構造及びI−I’断面に関しては、第1の実施の形態と同様である(図1、図2)。ただし、II−II’断面、III−III’断面の構造は第1の実施の形態とは異なっている。
具体的には、図12のII−II’断面図に示されるように、拡散領域32は、ドレインコンタクト拡散領域15’付近だけでなく、ドレイン側選択ゲートトランジスタSG1直下の大半の領域においても形成されていない。この点、第1の実施の形態は、ドレイン側選択ゲートトランジスタSG1のチャネル部にも拡散領域32が形成されている点で、第2の実施の形態と異なっている。
選択ゲートトランジスタSG1の直下の拡散領域32は、開口EIよりもメモリセルMC側の位置に僅かに形成されているのみである。そして、素子分離絶縁膜4の表面の高さは、図12の破線B4、及び図13に示すように、ドレインコンタクト拡散領域15’と選択ゲートトランジスタSG1が形成される領域P16(開口EIの直下に形成された素子分離絶縁膜4も、この領域P16の内部に含まれる)において、他の領域(メモリセルMCが形成される領域)に比べ高くされている。換言すれば、素子分離絶縁膜4は領域P16においてはエッチバックされておらず、その他の領域(メモリセルMC、ソース側選択ゲートトランジスタSG2を含む領域)ではエッチバックされている。
このような構成は、図14に示すように、マスクMを、ドレインコンタクト拡散領域15’、及び選択ゲート線SGDの大部分(メモリセルMC側の一部を除く)が覆われるように形成することにより得られる。その他の製造工程は、図5〜図10Bで説明したのと略同一でよい。
本実施の形態は、第1の実施の形態と同様の効果を有する。これに加え、次のような効果も有する。すなわち、本実施の形態では、選択ゲート線SGDも大部分がマスクMで覆われ、開口EIが形成される部分もこのマスクMで覆われる。従って、開口EIが形成される位置においては、素子分離絶縁膜4はエッチバックされず、ワード線方向(図13の紙面垂直方向)において、ゲート間絶縁膜12及び開口EIの高さ方向の位置は不変である(図15参照)。
この開口EIの位置において素子分離絶縁膜EIが第1の実施の形態のようにエッチバックされた場合、ゲート間絶縁膜12は、図15のIV−IV’断面において、素子分離絶縁膜4の位置で凹んだ凸凹の形状となり、従って、開口EIの高さ方向の位置も一定でなくなり、水平方向でうねりを有することになる。このような開口EIは、所望の幅に形成することが困難で、歩留まりを低下させる虞がある。この点、本実施の形態では、IV−IV’断面で開口EIの高さが一定であり(平坦であり)、上記のような問題は生じない。
本実施の形態は、第1の実施の形態と同様の効果を有する。これに加え、次のような効果も有する。すなわち、本実施の形態では、選択ゲート線SGDも大部分がマスクMで覆われ、開口EIが形成される部分もこのマスクMで覆われる。従って、開口EIが形成される位置においては、素子分離絶縁膜4はエッチバックされず、ワード線方向(図13の紙面垂直方向)において、ゲート間絶縁膜12及び開口EIの高さ方向の位置は不変である(図15参照)。
この開口EIの位置において素子分離絶縁膜EIが第1の実施の形態のようにエッチバックされた場合、ゲート間絶縁膜12は、図15のIV−IV’断面において、素子分離絶縁膜4の位置で凹んだ凸凹の形状となり、従って、開口EIの高さ方向の位置も一定でなくなり、水平方向でうねりを有することになる。このような開口EIは、所望の幅に形成することが困難で、歩留まりを低下させる虞がある。この点、本実施の形態では、IV−IV’断面で開口EIの高さが一定であり(平坦であり)、上記のような問題は生じない。
[第3の実施の形態]
次に、本発明の第3の実施の形態を、図16〜図18を参照して説明する。この実施の形態のメモリセルアレイ部分の構成は、平面レイアウト構造、I−I’断面は、前述の実施の形態と同様である(図1、図2)。ただし、II−II’断面、III−III’断面の構造は前述の実施の形態とは異なっている。
具体的には、図16のII−II’断面図に示されるように、拡散領域32は、ドレインコンタクト拡散層15’に加え、選択ゲートトランジスタSG1がメモリセルMCと共有するソース・ドレイン拡散領域15の一部においても形成されていない点で、前述の実施の形態と異なっている。すなわち、拡散領域32はメモリセルMCと選択ゲートトランジスタSG1との間のソース・ドレイン拡散領域15のメモリセルMC側の一部(左側)にのみ形成され、選択ゲートトランジスタSG1側(右側)には形成されていない。さらに、拡散領域32は選択ゲートトランジスタSG1のチャネルと接していない。そして、素子分離絶縁膜4の表面の高さは、図16の破線B4、及び図17に示すように、ドレインコンタクト拡散領域15’と選択ゲートトランジスタSG1の全体を含む領域P17において、他の領域に比べ高くされている。換言すれば、メモリセルMC、ソース側選択ゲートトランジスタSG2の領域においては、素子分離絶縁膜4はエッチバックされているが、領域P17においては、エッチバックされていない。
次に、本発明の第3の実施の形態を、図16〜図18を参照して説明する。この実施の形態のメモリセルアレイ部分の構成は、平面レイアウト構造、I−I’断面は、前述の実施の形態と同様である(図1、図2)。ただし、II−II’断面、III−III’断面の構造は前述の実施の形態とは異なっている。
具体的には、図16のII−II’断面図に示されるように、拡散領域32は、ドレインコンタクト拡散層15’に加え、選択ゲートトランジスタSG1がメモリセルMCと共有するソース・ドレイン拡散領域15の一部においても形成されていない点で、前述の実施の形態と異なっている。すなわち、拡散領域32はメモリセルMCと選択ゲートトランジスタSG1との間のソース・ドレイン拡散領域15のメモリセルMC側の一部(左側)にのみ形成され、選択ゲートトランジスタSG1側(右側)には形成されていない。さらに、拡散領域32は選択ゲートトランジスタSG1のチャネルと接していない。そして、素子分離絶縁膜4の表面の高さは、図16の破線B4、及び図17に示すように、ドレインコンタクト拡散領域15’と選択ゲートトランジスタSG1の全体を含む領域P17において、他の領域に比べ高くされている。換言すれば、メモリセルMC、ソース側選択ゲートトランジスタSG2の領域においては、素子分離絶縁膜4はエッチバックされているが、領域P17においては、エッチバックされていない。
このような構成は、図18に示すように、マスクMを、選択ゲート線SGDの全体、及びドレインコンタクト拡散領域15’の全体が覆われるように形成することにより得られる。その他の製造工程は、図5〜図10Bで説明したのと略同一でよい。
この実施の形態によれば、第1、第2の実施の形態と同様の効果が得られる。加えて、選択ゲート線SG1が完全にマスクMで覆われるので、選択ゲートトランジスタSG1のチャネル領域に拡散層32が形成されることを防ぐことができる。すなわち、選択ゲートトランジスタSG1のチャネル領域に拡散層32が形成されると、拡散層32の端部の位置により選択ゲートトランジスタSG1の閾値電圧がバラつく。ゆえに、選択ゲート線SG1が完全にマスクMで覆うことにより、選択ゲートトランジスタSG1の閾値電圧がバラツキを抑制することができる。また、選択ゲートトランジスタSG1においてp型の拡散層32を形成することは、所謂GIDL電流を増加させ、誤書込み等の可能性を増大させる虞があるが、本実施の形態によれば、p型の拡散層32は選択ゲートトランジスタSG1の直下には形成されないので、GIDL電流の発生は抑制されている。従って、書き込み禁止のメモリセルに対し誤書き込みがされたり、逆に誤消去がされたりする虞を低減することができる。
この実施の形態によれば、第1、第2の実施の形態と同様の効果が得られる。加えて、選択ゲート線SG1が完全にマスクMで覆われるので、選択ゲートトランジスタSG1のチャネル領域に拡散層32が形成されることを防ぐことができる。すなわち、選択ゲートトランジスタSG1のチャネル領域に拡散層32が形成されると、拡散層32の端部の位置により選択ゲートトランジスタSG1の閾値電圧がバラつく。ゆえに、選択ゲート線SG1が完全にマスクMで覆うことにより、選択ゲートトランジスタSG1の閾値電圧がバラツキを抑制することができる。また、選択ゲートトランジスタSG1においてp型の拡散層32を形成することは、所謂GIDL電流を増加させ、誤書込み等の可能性を増大させる虞があるが、本実施の形態によれば、p型の拡散層32は選択ゲートトランジスタSG1の直下には形成されないので、GIDL電流の発生は抑制されている。従って、書き込み禁止のメモリセルに対し誤書き込みがされたり、逆に誤消去がされたりする虞を低減することができる。
[第4の実施の形態]
次に、本発明の第4の実施の形態を、図19〜図22を参照して説明する。この実施の形態のメモリセルアレイ部分の構成は、平面レイアウト構造及びI−I’断面の構造は、前述の実施の形態と同様である(図1、図2)。ただし、II−II’断面、III−III’断面の構造は前述の実施の形態とは異なっている。
次に、本発明の第4の実施の形態を、図19〜図22を参照して説明する。この実施の形態のメモリセルアレイ部分の構成は、平面レイアウト構造及びI−I’断面の構造は、前述の実施の形態と同様である(図1、図2)。ただし、II−II’断面、III−III’断面の構造は前述の実施の形態とは異なっている。
加えて、本実施の形態では、選択ゲートトランジスタSG1、SG2に隣接するメモリトランジスタは、データ記憶に用いられないダミートランジスタ(ダミーセル)DMCとされ、選択ゲート線SGD,SGSに隣接するワード線は、ダミートランジスタDMCに接続されたダミーワード線DWLとされている。
このようなダミートランジスタDMCを有するメモリストリングのデータ読み出しにおいては、ダミートランジスタDMCのダミーワード線DWLに大きな読み出しパス電圧を印加せずとも正確な読み出しが出来るのが望ましい。すなわち、ダミートランジスタDMCの閾値電圧は低い方が好ましい。ダミーワード線DWLに大きな読み出しパス電圧を印加する場合には、その影響で隣接するメモリセルMCの見かけの閾値電圧が上昇し、誤読み出しを生じさせる虞がある。
このため、ダミートランジスタDMCの閾値電圧を下げるために、上述の拡散領域32はダミートランジスタDMCの直下には形成しないようにするのが好適である。このため、本実施の形態では、ダミートランジスタDMCの位置における素子分離絶縁膜4のエッチバックは行わず、従ってダミートランジスタDMCが形成される位置を含む領域P18における素子分離絶縁膜4の高さは、他の通常の(データ記憶に用いられる)メモリトランジスタMCの位置における素子分離絶縁膜4の高さよりも高くされている(図20、図21参照)。このため、図20に示すように、拡散領域32は、ドレインコンタクト拡散領域15’の形成される領域、選択ゲートトランジスタSG1の形成される領域だけでなく、ダミートランジスタDMCが形成される領域においても形成されていない。拡散領域32は、通常のメモリトランジスタMCが形成される領域、ソース側選択トランジスタSG2が形成される領域においてのみ形成されている。
このような構成は、図22に示すように、マスクMを、選択ゲート線SGDの全体、及びドレインコンタクト拡散領域15’の全体、及びダミーワード線DWLの形成されるべき領域の全体が覆われるように形成することにより得られる。その他の製造工程は、図5〜図10Bで説明したのと略同一でよい。
以上、発明の実施の形態を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更、追加等が可能である。例えば、上記第1〜第4の実施の形態は、マスクMの境界位置がそれぞれ異なっているが、各実施の形態で具体的に図示したマスクMの境界位置の間の位置にマスクMの境界位置を設定したものも、ドレインコンタクト拡散領域15’がマスクMで覆われている限り、本発明に含まれ得る。
また、上記の実施の形態では、ドレインコンタクト拡散領域15’を含む素子形成領域2Aと、ドレインコンタクト拡散領域15’の位置における素子分離絶縁膜4をマスクMで覆うことにより、少なくともドレインコンタクト拡散領域15’に隣接する素子分離絶縁膜4がエッチバックされないようにするとともに、少なくともドレインコンタクト拡散領域15’において拡散領域32が形成されないようにしていた。しかし、本実施の形態は、ドレインコンタクト拡散領域15’だけでなく、ソース側コンタクト33と接するソースコンタクト拡散領域(図示せず)においても、拡散領域32が形成されないようにすることが可能である。その場合、図23Aに示すように、ソースコンタクト拡散領域を覆うようにマスクMを形成することができる。或いは、図23Bに示すように、ソース側コンタクト拡散領域だけでなくソース側選択ゲートトランジスタSG2をマスクMで覆うこともできるし、また、図23Cに示すように、これらに加えてソース側のダミーメモリセルDMCをマスクMで覆うこともできる。図23Aのようにした場合、ソースコンタクト拡散領域と接する素子分離絶縁膜4はエッチバックされず、ソースコンタクト拡散領域が形成されるべき位置に拡散領域32は形成されない(図24、図25の断面図)。図23Bのようにした場合には、ソース側選択ゲートトランジスタSG2においても拡散領域32が形成されず、選択ゲートトランジスタSG2の閾値電圧がバラツキを抑制することができる。図23Cのようにした場合には、ダミーセルDMCにおいても拡散領域32が形成されず、ダミーセルDMCの閾値電圧の上昇を抑制することができる。
図26〜図29に、それぞれ第1、第3、第4の実施の形態の製造方法、及び比較例の製造方法を実行した場合に得られる素子形成領域2Aの不純物濃度の分布を内製シミュレータでシミュレーションした結果を示している。ここで、比較例(図29)は領域P15’にマスクMを形成せず、このために素子分離絶縁膜4の高さが全域に亘って同じである場合のシミュレーション結果である。なお、便宜上、図26は領域P15’の境界を選択ゲートトランジスタSG1の中央部分にしている。
ここで、図26〜図29の濃度曲線A,B,C,Dは、それぞれある不純物濃度の濃度曲線を示している。それぞれの濃度曲線上の領域は、等しい不純物濃度を有している。濃度曲線Aにおける不純物濃度は濃度曲線Bにおける不純物濃度よりも大きい。また、濃度曲線Dは、濃度曲線Cよりも更に小さい不純物濃度を表している。
まず、図26と図29を参照して、ドレインコンタクト拡散領域15’の選択ゲートトランジスタSG1側の端部を含む領域A1を比較する。図26と図29の領域A1において、ドレインコンタクト拡散領域15’の境界から線Bまでの距離は、図26の方が図29よりも大きい。すなわち、比較例に比べて第1の実施の形態は、ドレインコンタクト拡散領域15’の境界における不純物濃度の傾斜が緩やかである。従って、ドレインコンタクト拡散領域15’から半導体基板へのジャンクションリークを減らすことができる。
次に、図26と図27を参照して、選択ゲートトランジスタSG1の直下領域である領域B1を比較する。図26では領域B1を複数の濃度曲線が通過し、領域B1内に不純物濃度の傾斜が存在する一方で、図27の領域B1では、濃度曲線が通過せず、領域B1での不純物濃度分布はほぼ一定である。すなわち、第3の実施の形態においては、第1の実施の形態に加えて選択ゲートトランジスタSG1の閾値電圧のバラツキをより小さくすることができる。
次に、図26と図27を参照して、選択ゲートトランジスタSG1とメモリセルMCとの間の拡散領域15の選択ゲートトランジスタSG1に近い側の領域である領域C1での不純物濃度を比較する。図26においては、領域C1に濃度曲線C、Dが接近しているのに対し、図27においては、領域C1は濃度曲線C、Dとは離間している。従って、図27の領域C1から半導体基板へ伸びる空乏層は、図26の領域C1から半導体基板へ伸びる空乏層よりも大きい。すなわち、第3の実施の形態においては、第1の実施の形態に比べ、書き込み動作における非選択メモリセルストリングのGIDL電流を小さくすることができる。
次に、図27と図28において、選択ゲートトランジスタSG1とメモリセルMC(ダミーセルDMC)との間に位置する拡散領域15のメモリセルMC側の端部を含む領域D1を比較する。図27の領域D1のダミーセルDMCのチャネル領域は、濃度曲線CとDの間の不純物濃度を有している。これに対し、図28においては、ダミーセルDMCのチャネル領域は、濃度曲線CとDの間ではなく、濃度曲線Dよりも更に小さい不純物濃度を有している。従って、図28では、図27に比べ、ダミーセルDMCのチャネル領域における不純物濃度を減らすことができる。従来においては、ダミーセルDMCの閾値電圧はメモリセルMCの閾値電圧よりも高くなる傾向にあったが、第4実施形態においては、ダミーセルMDCの閾値電圧とメモリセルMCの閾値電圧をほぼ同じにすることができる。よって、読み出し動作時におけるダミーセルDMCのパス電圧(メモリセルMCに蓄えられた電荷の量によらずメモリセルトランジスタがオンする電圧)を他のメモリセルMCのパス電圧と同一化できる。その結果、回路動作を簡略化することができ、読み出し動作を高速化することができる。
1…シリコン基板、2…p型ウェル、2A…素子形成領域、3…トレンチ、4…素子分離絶縁膜、10…トンネル酸化膜、11…浮遊ゲート、12…ゲート間絶縁膜、13…制御ゲート(ワード線)、14…シリコン窒化膜、15…拡散層、16…絶縁膜、17…シリコン窒化膜、20…層間絶縁膜、21…コンタクトプラグ、22…W配線、23…層間絶縁膜、24…コンタクトプラグ、25…ビット線、26…シリコン酸化膜、27…シリコン窒化膜、28…ポリイミド膜、31…絶縁膜、32…拡散領域。
Claims (5)
- 半導体基板と、
前記半導体基板上に形成される半導体層と、
前記半導体層中に形成され、第1方向を長手方向とする素子分離絶縁膜と、
前記素子分離絶縁膜により前記半導体層を前記第1方向を長手方向として分離して形成される素子形成領域と
を備え、
前記素子形成領域上には、直列接続された複数のメモリトランジスタからなるメモリストリング、前記メモリストリングに一端を接続される選択ゲートトランジスタ、及び前記選択ゲートトランジスタの他端に接続されその表面においてコンタクトと接するコンタクト拡散領域が形成され、
前記素子分離絶縁膜は、第1領域においては第1の高さを有する一方、第2領域においては前記第1の高さよりも高い第2の高さを有し、
少なくとも前記コンタクト拡散領域に隣接する前記素子分離絶縁膜は前記第2領域に存在し、
前記メモリトランジスタに隣接する前記素子分離絶縁膜は前記第1領域に存在し、
前記素子分離絶縁膜は、第1導電型の不純物を注入されており、
前記素子形成領域は、前記素子分離絶縁膜から前記第1導電型の不純物が拡散されて形成された第1導電型の拡散領域を有し、
前記第2領域の前記素子分離絶縁膜に隣接する前記素子形成領域における前記第1導電型の不純物の不純物濃度は、前記第1領域の前記素子分離絶縁膜に隣接する前記素子形成領域に形成された前記第1導電型の拡散領域の第1の不純物の不純物濃度よりも低い
ことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 前記メモリトランジスタは、ゲート絶縁膜を介してチャネル領域上に形成され保持データに対応する電荷を蓄積する第1ゲート電極と、ワード線として機能する第2ゲート電極と、前記第1ゲート電極及び前記第2ゲート電極の間に形成される第1ゲート間絶縁膜とを備え、
前記選択ゲートトランジスタは、前記第1ゲート電極と同層に形成される第3ゲート電極と、前記第2ゲート電極と同層に形成される第4ゲート電極と、前記第3ゲート電極及び前記第4ゲート電極の間に形成される第2ゲート間絶縁膜と、前記第3ゲート電極と前記第4ゲート電極とを短絡させるために前記第2ゲート間絶縁膜に形成された開口とを備え、
前記開口は、前記第2領域内に存在することを特徴とする請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記選択ゲートトランジスタに接続される前記メモリトランジスタはデータ記憶に用いられないダミートランジスタであり、
前記ダミートランジスタは、前記第2領域の前記素子分離絶縁膜と隣接することを特徴とする請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記第1導電型の拡散領域と前記コンタクト拡散領域は互いに分離して形成されていることを特徴とする請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 素子形成領域上に、複数のメモリトランジスタを直列接続してなるメモリストリング、前記メモリストリングの一端に一端を接続される選択ゲートトランジスタ、及び前記選択ゲートトランジスタの他端に接続されコンタクトと接するコンタクト拡散領域とを備える不揮発性半導体記憶装置の製造方法であって、
メモリトランジスタを形成するための半導体層を半導体基板上に形成するステップと、
前記半導体層に第1方向を長手方向としてトレンチを形成し、このトレンチに素子分離絶縁膜を形成することにより、前記半導体層を前記素子分離絶縁膜により複数の素子形成領域に分離するステップと、
少なくとも前記コンタクト拡散領域が形成されるべき領域をマスクで覆うステップと、
前記マスクを用いて前記素子分離絶縁膜をエッチバックするステップと、
前記マスクを用いて前記素子分離絶縁膜に不純物を注入するステップと、
熱工程により前記不純物を素子分離絶縁膜から前記素子形成領域に向けて拡散させるステップと
を備えたことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009256366A JP2011100946A (ja) | 2009-11-09 | 2009-11-09 | 半導体記憶装置 |
US12/886,225 US8283717B2 (en) | 2009-11-09 | 2010-09-20 | Semiconductor storage device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009256366A JP2011100946A (ja) | 2009-11-09 | 2009-11-09 | 半導体記憶装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011100946A true JP2011100946A (ja) | 2011-05-19 |
Family
ID=43973514
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009256366A Abandoned JP2011100946A (ja) | 2009-11-09 | 2009-11-09 | 半導体記憶装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8283717B2 (ja) |
JP (1) | JP2011100946A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11195844B2 (en) | 2019-09-04 | 2021-12-07 | Kioxia Corporation | Semiconductor memory device and method of manufacturing the same |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009158622A (ja) | 2007-12-25 | 2009-07-16 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP2011003614A (ja) * | 2009-06-16 | 2011-01-06 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
KR101660243B1 (ko) * | 2010-06-14 | 2016-09-27 | 삼성전자 주식회사 | 비휘발성 메모리 장치 및 그 제조방법 |
JP2012199313A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-18 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2013254537A (ja) * | 2012-06-06 | 2013-12-19 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置及びコントローラ |
CN109979993B (zh) * | 2017-12-28 | 2022-05-27 | 无锡华润上华科技有限公司 | 高压mos器件及其制作方法、电子装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5086008A (en) * | 1988-02-29 | 1992-02-04 | Sgs-Thomson Microelectronics S.R.L. | Process for obtaining high-voltage N channel transistors particularly for EEPROM memories with CMOS technology |
US6376341B1 (en) * | 2000-06-09 | 2002-04-23 | Advanced Micro Devices, Inc. | Optimization of thermal cycle for the formation of pocket implants |
JP2002009173A (ja) * | 2000-06-26 | 2002-01-11 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP4717283B2 (ja) * | 2001-08-10 | 2011-07-06 | 三洋電機株式会社 | ゲート絶縁膜の形成方法 |
JP2003297950A (ja) | 2002-03-29 | 2003-10-17 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP4321076B2 (ja) | 2003-02-28 | 2009-08-26 | 株式会社デンソー | 半導体装置の製造方法 |
KR100490288B1 (ko) * | 2003-06-30 | 2005-05-18 | 주식회사 하이닉스반도체 | 플래쉬 메모리 소자 제조 방법 |
JP4802040B2 (ja) * | 2006-01-23 | 2011-10-26 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
US7354824B2 (en) * | 2006-05-03 | 2008-04-08 | Macronix International Co., Ltd. | Fabrication method of non-volatile memory |
US7790568B2 (en) * | 2006-08-29 | 2010-09-07 | Oki Semiconductor Co., Ltd. | Method for fabricating semiconductor device |
KR100780658B1 (ko) * | 2006-12-27 | 2007-11-30 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 소자의 제조 방법 |
JP2009158622A (ja) * | 2007-12-25 | 2009-07-16 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
-
2009
- 2009-11-09 JP JP2009256366A patent/JP2011100946A/ja not_active Abandoned
-
2010
- 2010-09-20 US US12/886,225 patent/US8283717B2/en not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11195844B2 (en) | 2019-09-04 | 2021-12-07 | Kioxia Corporation | Semiconductor memory device and method of manufacturing the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20110108901A1 (en) | 2011-05-12 |
US8283717B2 (en) | 2012-10-09 |
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