JP2011063509A - フィルム状グラファイトとその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
厚さ12.5μm以上125μm以下、複屈折が0.12以上のポリイミドフィルムを2800℃以下又は3000℃以下で熱処理することにより、熱伝導率が大きい人造のフィルム状グラファイトを得る。
【選択図】 なし
Description
図1と図2において、複屈折の具体的な測定方法が図解されている。図1の平面図において、フィルム1から細いくさび形シート2が測定試料として切り出される。このくさび形シート2は一つの斜辺を有する細長い台形の形状を有しており、その一底角が直角である。このとき、その台形の底辺はX方向と平行な方向に切り出される。図2は、このようにして切り出された測定試料2を斜視図で示している。台形試料2の底辺に対応する切り出し断面に直角にナトリウム光4を照射し、台形試料2の斜辺に対応する切り出し断面側から偏光顕微鏡で観察すれば、干渉縞5が観察される。この干渉縞の数をnとすれば、フィルム面内X方向の複屈折Δnxは、
Δnx=n×λ/d
で表される。ここで、λはナトリウムD線の波長589nmであり、dは試料2の台形の高さに相当する試料の幅3である。
4,4’−オキシジアニリンの1当量を溶解したDMF溶液に、ピロメリット酸二無水物の1当量を溶解して、ポリアミド酸を18.5wt%含む溶液が得られた。
(比較例2)
比較例2においては、デュポン社製で商品名カプトンHで販売されている種々の厚さのポリイミドフィルムが、実施例5の場合と同様の方法でグラファイト化された。
2 くさび形シート
3 幅
4 ナトリウム光
5 干渉縞
Claims (31)
- ポリイミドフィルムを2800℃以下の温度で熱処理して得られる人造のフィルム状グラファイトであって、熱伝導率が1305W/m・K以上であることを特徴とするフィルム状グラファイト。
- ポリイミドフィルムを3000℃以下の温度で熱処理して得られる人造のフィルム状グラファイトであって、熱伝導率が1725W/m・K以上であることを特徴とするフィルム状グラファイト。
- 厚さ12.5μm以上のポリイミドフィルムを熱処理して得られる人造のフィルム状グラファイトであって、熱伝導率が1767W/m・K以上であることを特徴とするフィルム状グラファイト。
- ポリイミドフィルムを熱処理して得られる人造のフィルム状グラファイトであって、4.9μm以上の厚さを有し、熱伝導率が1767W/m・K以上であることを特徴とするフィルム状グラファイト。
- 厚さ25μm以上のポリイミドフィルムを熱処理して得られる人造のフィルム状グラファイトであって、熱伝導率が1760W/m・K以上であることを特徴とするフィルム状グラファイト。
- ポリイミドフィルムを熱処理して得られる人造のフィルム状グラファイトであって、10.6μm以上の厚さを有し、熱伝導率が1760W/m・K以上であることを特徴とするフィルム状グラファイト。
- 厚さ50μm以上のポリイミドフィルムを熱処理して得られる人造のフィルム状グラファイトであって、熱伝導率が1725W/m・K以上であることを特徴とするフィルム状グラファイト。
- ポリイミドフィルムを熱処理して得られる人造のフィルム状グラファイトであって、20μm以上の厚さを有し、熱伝導率が1725W/m・K以上であることを特徴とするフィルム状グラファイト。
- 厚さ75μm以上のポリイミドフィルムを熱処理して得られる人造のフィルム状グラファイトであって、熱伝導率が1500W/m・K以上であることを特徴とするフィルム状グラファイト。
- ポリイミドフィルムを熱処理して得られる人造のフィルム状グラファイトであって、33μm以上の厚さを有し、熱伝導率が1500W/m・K以上であることを特徴とするフィルム状グラファイト。
- 厚さ125μm以上のポリイミドフィルムを熱処理して得られる人造のフィルム状グラファイトであって、熱伝導率が1486W/m・K以上であることを特徴とするフィルム状グラファイト。
- ポリイミドフィルムを熱処理して得られる人造のフィルム状グラファイトであって、55μm以上の厚さを有し、熱伝導率が1486W/m・K以上であることを特徴とするフィルム状グラファイト。
- ポリイミドフィルムを熱処理して得られる人造のフィルム状グラファイトであって、32.5μm以上の厚さを有し、熱伝導率が1536W/m・K以上であることを特徴とするフィルム状グラファイト。
- 厚さ12.5μm以上25μm以下のポリイミドフィルムを3000℃以下で熱処理することにより、熱伝導率が1767W/m・K以上の人造のフィルム状グラファイトを得ることを特徴とするフィルム状グラファイトの製造方法。
- ポリイミドフィルムを3000℃以下で熱処理することにより、4.9μm以上10.6μm以下の厚さを有し、熱伝導率が1767W/m・K以上の人造のフィルム状グラファイトを得ることを特徴とするフィルム状グラファイトの製造方法。
- 厚さ12.5μm以上25μm以下のポリイミドフィルムを2800℃以下で熱処理することにより、熱伝導率が1481W/m・K以上の人造のフィルム状グラファイトを得ることを特徴とするフィルム状グラファイトの製造方法。
- ポリイミドフィルムを2800℃以下で熱処理することにより、5.0μm以上10.3μm以下の厚さを有し、熱伝導率が1481W/m・K以上の人造のフィルム状グラファイトを得ることを特徴とするフィルム状グラファイトの製造方法。
- 厚さ25μm以上50μm以下のポリイミドフィルムを3000℃以下で熱処理することにより、熱伝導率が1760W/m・K以上の人造のフィルム状グラファイトを得ることを特徴とするフィルム状グラファイトの製造方法。
- ポリイミドフィルムを3000℃以下で熱処理することにより、10.6μm以上20μm以下の厚さを有し、熱伝導率が1760W/m・K以上の人造のフィルム状グラファイトを得ることを特徴とするフィルム状グラファイトの製造方法。
- 厚さ25μm以上50μm以下のポリイミドフィルムを2800℃以下で熱処理することにより、熱伝導率が1398W/m・K以上の人造のフィルム状グラファイトを得ることを特徴とするフィルム状グラファイトの製造方法。
- ポリイミドフィルムを2800℃以下で熱処理することにより、10.3μm以上21μm以下の厚さを有し、熱伝導率が1398W/m・K以上の人造のフィルム状グラファイトを得ることを特徴とするフィルム状グラファイトの製造方法。
- 厚さ50μm以上75μm以下のポリイミドフィルムを3000℃以下で熱処理することにより、熱伝導率が1725W/m・K以上の人造のフィルム状グラファイトを得ることを特徴とするフィルム状グラファイトの製造方法。
- ポリイミドフィルムを3000℃以下で熱処理することにより、20μm以上32.5μm以下の厚さを有し、熱伝導率が1725W/m・K以上の人造のフィルム状グラファイトを得ることを特徴とするフィルム状グラファイトの製造方法。
- 厚さ50μm以上75μm以下のポリイミドフィルムを2800℃以下で熱処理することにより、熱伝導率が1500W/m・K以上の人造のフィルム状グラファイトを得ることを特徴とするフィルム状グラファイトの製造方法。
- ポリイミドフィルムを2800℃以下で熱処理することにより、21μm以上33μm以下の厚さを有し、熱伝導率が1500W/m・K以上の人造のフィルム状グラファイトを得ることを特徴とするフィルム状グラファイトの製造方法。
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- 厚さ12.5μm以上125μm以下のポリイミドフィルムを2800℃以下の温度で熱処理することにより、熱伝導率が1305W/m・K以上の人造のフィルム状グラファイトを得ることを特徴とするフィルム状グラファイトの製造方法。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017094802A1 (ja) * | 2015-11-30 | 2017-06-08 | 株式会社カネカ | エネルギーデグレーダ、及びそれを備えた荷電粒子線照射システム、並びにグラファイト膜の製造方法 |
WO2017188117A1 (ja) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 株式会社カネカ | ビーム強度変換膜、及びビーム強度変換膜の製造方法 |
WO2020262765A1 (ko) * | 2019-06-28 | 2020-12-30 | 피아이첨단소재 주식회사 | 그라파이트 시트용 폴리이미드 필름 및 이의 제조방법 |
WO2020262764A1 (ko) * | 2019-06-28 | 2020-12-30 | 피아이첨단소재 주식회사 | 그라파이트 시트 및 이의 제조방법 |
US11239003B2 (en) | 2016-04-21 | 2022-02-01 | Kaneka Corporation | Support substrate for radioisotope production, target plate for radioisotope production, and production method for support substrate |
Citations (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63197628A (ja) * | 1987-02-13 | 1988-08-16 | Toshio Kunugi | 高強力ポリイミドフイルムの製造方法 |
JPH0375211A (ja) * | 1989-05-10 | 1991-03-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | フィルム状グラファイトの製造方法 |
JPH04149012A (ja) * | 1990-10-11 | 1992-05-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | グラファイトフィルムの製造方法 |
JPH04149014A (ja) * | 1990-10-11 | 1992-05-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | グラファイトブロックおよびその製造方法 |
JPH05132360A (ja) * | 1991-11-08 | 1993-05-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | グラフアイトフイルムの製造方法 |
JPH05237928A (ja) * | 1991-10-30 | 1993-09-17 | Du Pont Toray Co Ltd | ポリイミドフィルムの製造方法 |
JPH06100367A (ja) * | 1992-09-16 | 1994-04-12 | Osaka Gas Co Ltd | 異方性炭素−炭素複合材料およびその製造方法 |
JPH07503813A (ja) * | 1992-02-14 | 1995-04-20 | マテリアルズ・サイエンシズ・コーポレイション | 熱統御のための高伝導性ハイブリッド材料 |
JPH07109171A (ja) * | 1993-10-15 | 1995-04-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | グラファイト熱伝導体およびそれを用いたコールドプレート |
JPH08119613A (ja) * | 1994-10-28 | 1996-05-14 | Nippon Carbon Co Ltd | 高配向性黒鉛体の製造法 |
JP2000044220A (ja) * | 1999-05-27 | 2000-02-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | グラファイトフィルムの製造方法 |
JP2000063543A (ja) * | 1998-08-25 | 2000-02-29 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | ポリイミドフィルムおよびその製造方法 |
JP2001079977A (ja) * | 1999-09-14 | 2001-03-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 複合体及びその製造方法 |
JP2002274827A (ja) * | 2001-03-16 | 2002-09-25 | Ube Ind Ltd | 高配向グラファイト層状シ−ト物及びその製造方法 |
JP2002308611A (ja) * | 2001-04-06 | 2002-10-23 | Ube Ind Ltd | グラファイト層状シ−ト物及びその製造方法 |
JP2003073473A (ja) * | 2001-06-07 | 2003-03-12 | Du Pont Toray Co Ltd | ポリイミドフィルム、その製造方法および用途 |
JP2003165715A (ja) * | 2001-11-29 | 2003-06-10 | Du Pont Toray Co Ltd | 炭素フィルムの製造方法およびそれから得られる炭素フィルム |
JP2004500692A (ja) * | 1997-09-19 | 2004-01-08 | アドバンスド セラミックス コーポレイション | 可撓性を有する伝熱装置およびその製造方法 |
-
2010
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Patent Citations (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63197628A (ja) * | 1987-02-13 | 1988-08-16 | Toshio Kunugi | 高強力ポリイミドフイルムの製造方法 |
JPH0375211A (ja) * | 1989-05-10 | 1991-03-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | フィルム状グラファイトの製造方法 |
JPH04149012A (ja) * | 1990-10-11 | 1992-05-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | グラファイトフィルムの製造方法 |
JPH04149014A (ja) * | 1990-10-11 | 1992-05-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | グラファイトブロックおよびその製造方法 |
JPH05237928A (ja) * | 1991-10-30 | 1993-09-17 | Du Pont Toray Co Ltd | ポリイミドフィルムの製造方法 |
JPH05132360A (ja) * | 1991-11-08 | 1993-05-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | グラフアイトフイルムの製造方法 |
JPH07503813A (ja) * | 1992-02-14 | 1995-04-20 | マテリアルズ・サイエンシズ・コーポレイション | 熱統御のための高伝導性ハイブリッド材料 |
JPH06100367A (ja) * | 1992-09-16 | 1994-04-12 | Osaka Gas Co Ltd | 異方性炭素−炭素複合材料およびその製造方法 |
JPH07109171A (ja) * | 1993-10-15 | 1995-04-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | グラファイト熱伝導体およびそれを用いたコールドプレート |
JPH08119613A (ja) * | 1994-10-28 | 1996-05-14 | Nippon Carbon Co Ltd | 高配向性黒鉛体の製造法 |
JP2004500692A (ja) * | 1997-09-19 | 2004-01-08 | アドバンスド セラミックス コーポレイション | 可撓性を有する伝熱装置およびその製造方法 |
JP2000063543A (ja) * | 1998-08-25 | 2000-02-29 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | ポリイミドフィルムおよびその製造方法 |
JP2000044220A (ja) * | 1999-05-27 | 2000-02-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | グラファイトフィルムの製造方法 |
JP2001079977A (ja) * | 1999-09-14 | 2001-03-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 複合体及びその製造方法 |
JP2002274827A (ja) * | 2001-03-16 | 2002-09-25 | Ube Ind Ltd | 高配向グラファイト層状シ−ト物及びその製造方法 |
JP2002308611A (ja) * | 2001-04-06 | 2002-10-23 | Ube Ind Ltd | グラファイト層状シ−ト物及びその製造方法 |
JP2003073473A (ja) * | 2001-06-07 | 2003-03-12 | Du Pont Toray Co Ltd | ポリイミドフィルム、その製造方法および用途 |
JP2003165715A (ja) * | 2001-11-29 | 2003-06-10 | Du Pont Toray Co Ltd | 炭素フィルムの製造方法およびそれから得られる炭素フィルム |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JPN6013025193; 田尾本 昭: '熱伝導性に優れた柔軟性のあるスーパーグラファイトシート' 機能材料 Vol.19,No.11, 199911, 第27〜33ページ * |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017094802A1 (ja) * | 2015-11-30 | 2017-06-08 | 株式会社カネカ | エネルギーデグレーダ、及びそれを備えた荷電粒子線照射システム、並びにグラファイト膜の製造方法 |
JPWO2017094802A1 (ja) * | 2015-11-30 | 2018-09-20 | 株式会社カネカ | エネルギーデグレーダ、及びそれを備えた荷電粒子線照射システム |
US10420959B2 (en) | 2015-11-30 | 2019-09-24 | Kaneka Corporation | Energy degrader, charged particle beam emission system provided with same, and method of producing graphite film |
US11239003B2 (en) | 2016-04-21 | 2022-02-01 | Kaneka Corporation | Support substrate for radioisotope production, target plate for radioisotope production, and production method for support substrate |
WO2017188117A1 (ja) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 株式会社カネカ | ビーム強度変換膜、及びビーム強度変換膜の製造方法 |
JPWO2017188117A1 (ja) * | 2016-04-28 | 2018-12-06 | 株式会社カネカ | ビーム強度変換膜、及びビーム強度変換膜の製造方法 |
US11177116B2 (en) | 2016-04-28 | 2021-11-16 | Kaneka Corporation | Beam intensity converting film, and method of manufacturing beam intensity converting film |
WO2020262765A1 (ko) * | 2019-06-28 | 2020-12-30 | 피아이첨단소재 주식회사 | 그라파이트 시트용 폴리이미드 필름 및 이의 제조방법 |
WO2020262764A1 (ko) * | 2019-06-28 | 2020-12-30 | 피아이첨단소재 주식회사 | 그라파이트 시트 및 이의 제조방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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