JP2011017683A5 - - Google Patents
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Claims (16)
- 支持体上に、柱状結晶を含んで構成され、照射された放射線を光に変換するシンチレータと、該シンチレータから放出された光を電気信号に変換する光検出器とを有し、放射線が光検出器、シンチレータの順に入射するように配置した放射線画像検出器であって、
該シンチレータの放射線入射側には柱状結晶領域が存在し、且つ、該シンチレータの放射線の入射側と反対側には非柱状結晶領域が存在する放射線画像検出器。 - 前記シンチレータの放射線入射側に存在する柱状結晶領域の厚みをｔ１とし、シンチレータの放射線の入射側と反対側に存在する非柱状結晶領域の厚みをｔ２としたとき、ｔ１とｔ２との関係が下記式を満たす請求項１記載の放射線画像検出器。
（式） ０．０１≦（ｔ２／ｔ１）≦０．２５ - 前記シンチレータの放射線入射側に存在する柱状結晶領域の厚みをｔ１とし、シンチレータの放射線の入射側と反対側に存在する非柱状結晶領域の厚みをｔ２としたとき、ｔ１とｔ２との関係が下記式ａを満たす請求項１記載の放射線画像検出器。
（式ａ） ０．０２≦（ｔ２／ｔ１）≦０．１ - 前記非柱状結晶領域における非柱状結晶の断面径が０．５μｍ以上７．０μｍ以下である請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の放射線画像検出器。
- 前記非柱状結晶領域における非柱状結晶が、非柱状結晶領域の膜厚方向に対して垂直な断面を観察したときに、非柱状結晶間が互いに癒着している請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の放射線画像検出器。
- 前記柱状結晶領域における柱状結晶の断面径が２μｍ以上１５μｍ以下である請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の放射線画像検出器。
- 前記非柱状結晶領域における非柱状結晶の断面径が１μｍ以上６μｍ以下である請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の放射線画像検出器。
- 前記非柱状結晶領域における非柱状結晶の結晶形状が略球状である請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の放射線画像検出器。
- 前記シンチレータが、Ｃｓｌ及びＴｌを含有する結晶を含んで構成される請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の放射線画像検出器。
- 前記シンチレータが、支持体上に気相堆積法により形成された請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の放射線画像検出器。
- 前記支持体が、金属シートである請求項１０に記載の放射線画像検出器。
- 前記光検出器がガラス基板を含む請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の放射線画像検出器。
- 支持体上に、気相堆積法によりシンチレータを形成する際に、真空度及び支持体温度の少なくとも一方の条件を変更することで、非柱状結晶領域と柱状結晶領域とを順次形成するシンチレータ形成工程を含む請求項１から請求項１２の何れか１項に記載の放射線画像検出器の製造方法。
- 前記シンチレータ形成工程の後に、形成されたシンチレータの柱状結晶領域が存在する側の面と、光検出器とを対向させて密着させる工程を含む請求項１３に記載の放射線画像検出器の製造方法。
- 前記シンチレータ形成工程の後に、形成されたシンチレータの柱状結晶領域が存在する側の面と、光検出器とを、樹脂層を介して対向させることで光学的に結合させる工程を含む請求項１３に記載の放射線画像検出器の製造方法。
- 前記樹脂層の厚みが５μｍ以上３０μｍ以下である請求項１５に記載の放射線画像検出器の製造方法。
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