JP5661426B2 - 放射線検出器及びその製造方法 - Google Patents
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可視光を電気信号に変換する光電変換素子を含む画素が基板上の面方向に多数配列されたセンサーパネルと、前記センサーパネルの前記光電変換素子上に設けられ、放射線を可視光に変換するタリウム賦活ヨウ化セシウム蛍光体層とを有する放射線検出器において、前記蛍光体層は、タリウム賦活ヨウ化セシウムからなり、前記蛍光体層中の膜厚方向のタリウム濃度は、前記センサーパネル側に近づくに従って大きくなっていることを特徴とする。
真空蒸着装置内に、光電変換素子を含む画素が基板上の面方向に多数配列されたセンサーパネルを配置し、前記センサーパネルの蛍光体層形成面に対向して、タリウム賦活ヨウ化セシウム蛍光体層の原料となるヨウ化セシウムとヨウ化タリウムを別々に収納したるつぼを配置し、るつぼを加熱させることにより、前記センサーパネル上にタリウム賦活ヨウ化セシウム蛍光体層を形成する放射線検出器の製造方法において、前記ヨウ化セシウムが収納されているるつぼの底部側には、所定量のヨウ化タリウムが収納され、前記ヨウ化タリウムの上には前記ヨウ化セシウムが収納されることを特徴とする。
2:ガラス基板
3:有機膜
5:センサーパネル
6:CsI/Tl蛍光体層
7:反射膜層
8:防湿層
10:放射線検出器
12:CsI用るつぼ
13:TlI用るつぼ
14:真空蒸着装置
Claims (2)
- 可視光を電気信号に変換する光電変換素子を含む画素が基板上の面方向に多数配列されたセンサーパネルと、前記センサーパネルの前記光電変換素子上に設けられ、放射線を可視光に変換するタリウム賦活ヨウ化セシウム蛍光体層とを有する放射線検出器において、
前記蛍光体層は、タリウム賦活ヨウ化セシウムからなり、
前記蛍光体層中の膜厚方向のタリウム濃度は、前記センサーパネル側に近づくに従って大きくなっていることを特徴とする放射線検出器。 - 真空蒸着装置内に、光電変換素子を含む画素が基板上の面方向に多数配列されたセンサーパネルを配置し、前記センサーパネルの蛍光体層形成面に対向して、タリウム賦活ヨウ化セシウム蛍光体層の原料となるヨウ化セシウムとヨウ化タリウムを別々に収納したるつぼを配置し、るつぼを加熱させることにより、前記センサーパネル上にタリウム賦活ヨウ化セシウム蛍光体層を形成する放射線検出器の製造方法において、
前記ヨウ化セシウムが収納されているるつぼの底部側には、所定量のヨウ化タリウムが収納され、前記ヨウ化タリウムの上には前記ヨウ化セシウムが収納されることを特徴とする放射線検出器の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010245063A JP5661426B2 (ja) | 2010-11-01 | 2010-11-01 | 放射線検出器及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010245063A JP5661426B2 (ja) | 2010-11-01 | 2010-11-01 | 放射線検出器及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012098110A JP2012098110A (ja) | 2012-05-24 |
JP5661426B2 true JP5661426B2 (ja) | 2015-01-28 |
Family
ID=46390193
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010245063A Active JP5661426B2 (ja) | 2010-11-01 | 2010-11-01 | 放射線検出器及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5661426B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5557769B2 (ja) * | 2011-02-14 | 2014-07-23 | 富士フイルム株式会社 | 放射線画像検出装置及びその製造方法 |
JP5928208B2 (ja) * | 2012-07-12 | 2016-06-01 | ソニー株式会社 | 放射線検出器 |
WO2014171343A1 (ja) | 2013-04-15 | 2014-10-23 | 株式会社 東芝 | シンチレータパネルおよびその製造方法並びに放射線検出器およびその製造方法 |
WO2016063357A1 (ja) * | 2014-10-21 | 2016-04-28 | 公立大学法人大阪府立大学 | アルカリハライド系シンチレータ粉末の製造方法及びシンチレータ材料の製造方法 |
JP6591256B2 (ja) * | 2015-10-20 | 2019-10-16 | キヤノン電子管デバイス株式会社 | 放射線検出器およびその製造方法 |
JP6770286B2 (ja) * | 2015-10-20 | 2020-10-14 | キヤノン電子管デバイス株式会社 | シンチレータパネルおよびその製造方法 |
JP2017161408A (ja) | 2016-03-10 | 2017-09-14 | コニカミノルタ株式会社 | シンチレータ、シンチレータパネルおよび放射線画像変換パネル |
JP6433561B1 (ja) | 2017-09-27 | 2018-12-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | シンチレータパネル及び放射線検出器 |
JP6433560B1 (ja) | 2017-09-27 | 2018-12-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | シンチレータパネル及び放射線検出器 |
JP7261919B2 (ja) * | 2018-11-06 | 2023-04-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出器 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH083533B2 (ja) * | 1987-09-05 | 1996-01-17 | 日立化成工業株式会社 | 放射線検出器 |
JP2003050298A (ja) * | 2001-08-06 | 2003-02-21 | Fuji Photo Film Co Ltd | 放射線像変換パネルおよびその製造方法 |
JP2003172799A (ja) * | 2001-12-07 | 2003-06-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | 放射線像変換パネルの製造方法 |
JP2005091146A (ja) * | 2003-09-17 | 2005-04-07 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | 放射線像変換パネル及び放射線像変換パネルの製造方法 |
JP4920994B2 (ja) * | 2006-03-02 | 2012-04-18 | キヤノン株式会社 | シンチレータパネル、放射線検出装置及び放射線検出システム |
JP5089195B2 (ja) * | 2006-03-02 | 2012-12-05 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置、シンチレータパネル、放射線検出システム及び放射線検出装置の製造方法 |
JP2008139156A (ja) * | 2006-12-01 | 2008-06-19 | Fujifilm Corp | 平面放射線画像検出器の製造方法 |
WO2010032503A1 (ja) * | 2008-09-18 | 2010-03-25 | コニカミノルタエムジー株式会社 | 放射線変換パネル |
WO2010032504A1 (ja) * | 2008-09-22 | 2010-03-25 | コニカミノルタエムジー株式会社 | 放射線画像変換パネルとその製造方法 |
JP5557769B2 (ja) * | 2011-02-14 | 2014-07-23 | 富士フイルム株式会社 | 放射線画像検出装置及びその製造方法 |
-
2010
- 2010-11-01 JP JP2010245063A patent/JP5661426B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012098110A (ja) | 2012-05-24 |
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Date | Code | Title | Description |
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RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20130621 |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A521 | Written amendment |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130830 |
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A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140402 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140602 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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|
S533 | Written request for registration of change of name |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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